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多层膜闪耀光栅衍射的运动学研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用 X射线运动学理论对软 X射线多层膜闪耀光栅的衍射特性进行了详细的研究 ,得到了衍射规律的一般表达式 ,讨论了产生衍射极大值的条件、光谱特性 ,不同于光栅和多层膜的色散特性。以及用作软 X射线单色器的一般性问题。发现只要选择合适的光栅参数 ,便可以将衍射光的大部分能量集中到某一个非零衍射级上。 相似文献
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在矩形不栅上镀制软X射线多层膜,得到了多层膜光栅组合式结构,报道用CuKa线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用X射线运动学理论进行了分析,得到两个衍射条件,分别对应决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉格定理,发现光栅级效率受多层膜反射调制。 相似文献
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本文采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定的评价因子,设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软X射线多层膜制备,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性,所得结果说明多层膜的结构完整,周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软X射线半反半透分束镜;分析了Ag和Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响,并对衰减系数进行了修正,为实验提供优质的衰减膜。 相似文献
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本文研究了Pd2Si的生成对周期性Pd/Si多层膜X射线衍射性能的影响。X射线衍射强度的测量数据表明Pd2Si的生成对长周期多层膜的衍射强度影响不大,但对短周期多层膜衍射强度的影响较大。在引入折射率修正后,我们不仅用单个峰的位置计算了多层膜的周期,而且还用了以两个峰的位置联立消去折射率修正的方法计算了多层膜的周期,前者的误差大于后者。模拟计算的结果说明:均匀Pd2Si层的生成不足以解释Pd/Si多层膜衍射强度随退火温度的变化,界面的平整化或粗糙化是影响衍射强度的另一个要素。
关键词: 相似文献
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软X射线透射光栅制作技术 总被引:6,自引:0,他引:6
金透射光栅广泛用于真空紫外、X射线、物质波的衍射和光谱测量。分别介绍了美国麻省理工学院空间微结构实验室和中国科学技术大学国家同步辐射实验室的透射光栅制作技术及其新进展。麻省理工学院空间微结构实验室为完成 AXAF巨型空间天文台上的高能透射光栅谱仪经历了近 2 0年的发展 ,其光栅制作工艺日趋成熟 ,代表了当前世界最高水平。中国科学技术大学国家同步辐射实验室为了满足惯性约束核聚变实验研究的需要 ,在国内较早地开展了透射光栅的研制工作 ,在提高光栅质量的同时不断提高线密度 相似文献
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Optical properties of sliced multilayer gratings 总被引:1,自引:0,他引:1
Fabrication, calculation and optical properties of gratings fabricated by bevel cutting multilayer structures are discussed. Such gratings have very short period (about 100 nm) and provide high angular dispersion as compared to ruled, holographic or multilayer coated gratings without reduction of diffraction efficiency. Using graded multilayers it is possible to produce sliced multilayer gratings (SMG) with graded period (GSMG), which can focus radiation in one direction. Examples of SMG for various wavelengths in the interval 2–20 nm are considered. 相似文献
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Computations with the rigorous differential method show that single gratings made by ion implantation have a diffraction efficiency in the +1 transmitted order under TE illumination of only 0.78%. The insertion of such gratings into multilayer dielectric Fabry-Perot cavities leads to an enhancement of the free-space diffraction efficiency. Different designs for the multilayer are considered. An 18.8% efficiency is reached with 11-layer mirrors. This result is obtained by optimization of the thickness of the spacer of the Fabry-Perot cavity that contains the grating and centering of the wavelength of the mirrors. The dependence of optical properties of the structure on the various optogeometrical parameters of the structure is discussed. 相似文献
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Comparative analysis is given for the properties of deterministic aperiodic diffraction gratings and multilayer structures based on one-dimensional quasicrystal models. Quantitative relation is established between the self-similarity of their structures and the scaling of the spectral characteristics. Some applications of aperiodic devices are discussed. 相似文献
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文章对布拉格衍射效应在半导体光电子材料和光电子器件,特别是在光纤通信中的光电子器件的应用和发展进行了详细的介绍.文中以布拉格光栅衍射效应的光反馈和选模功能为主线,逐一介绍了X射线双晶布拉格衍射技术在半导体材料、特别是在量子阱和应变量子阱超薄层晶体生长和质量控制方面的作用,介绍了内建布拉格光栅对光通信用光信号源的发展所起的重要作用,波导光栅在复用和解复用过程中的作用,以及光纤布拉格光栅在全光纤通信系统中的应用及发展等. 相似文献