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| 亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究 | |
| 引用本文： | 袁利祥,范正修,殷功杰,邵建达,易葵,崔明启,刘丽冰,缪建伟,陈光辉,沈孝良.亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究[J].物理学报,1995,44(2):184-188. |
| 作者姓名： | 袁利祥 范正修 殷功杰 邵建达 易葵 崔明启 刘丽冰 缪建伟 陈光辉 沈孝良 |
| 作者单位： | (1)复旦大学分析测试中心,上海200433; (2)中国科学院高能物理研究所,北京100039; (3)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划资助的课题. |
| 摘 要： | 简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.
关键词： |
| 关 键 词： | 软X射线 多层膜光栅 衍射效率 亚微米周期 |
| 收稿时间： | 3/1/1994 12:00:00 AM |
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