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1.
用sol-gel工艺直接在 (111)Pt/Ti/SiO2/Si衬底上分别制备了62%a/b轴择优、65%(014)/(104) 择优、高c轴择优取向生长的 Bi3.15Nd0.85Ti3O12 (BNdT) 铁电薄膜.发现BNdT薄膜的铁电、介电和压电性能强烈依赖于晶粒的择优取向,从而证实BNdT中自发极化矢量Ps靠近a轴.透射电镜观察表明,非c轴取向薄膜中的柱状晶粒从底电极Pt表面一直延伸到薄膜上表面,而c轴择优取向薄膜中的晶粒细小且主要呈等轴状.讨论了含Bi层状钙钛矿型铁电薄膜在金属电极上的择优取向生长机制. 相似文献
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采用sol-gel工艺,在分层快速退火的工艺条件下成功地制备了高质量Si基BiTi3O12铁电薄膜.研究了Si基Bi4Ti3O12薄膜的生长行为、铁电性能、C-V特性和疲劳特性.研究表明:Si基Bi4Ti3O12薄膜具有随退火温度升高沿c轴择优生长的趋势;退火温度通过影响薄膜的晶粒尺寸、生长取向和薄膜中载流子的浓度来改变Si基Bi4Ti3O12薄膜的铁电性能;Ag/Bi4Ti3O12/p-Si异质结的C-V特性曲线呈现顺时针回滞,可以实现极化存储;109次极化反转后Bi4Ti3O12薄膜的剩余极化仅下降12%,具有较好的疲劳特性. 相似文献
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采用溶胶凝胶工艺在p-Si衬底上制备了SrBi2Ta2O9/Bi4Ti3O12复合铁电薄膜. 研究了SrBi2Ta2O9/Bi4Ti3O12复合薄膜的微观结构与生长行为、铁电性能和疲劳特性. 研究表明: Si衬底Bi4Ti3O12薄膜易于沿c轴择优生长,并有利于SrBi2Ta2O9/Bi4Ti3O12复合薄膜的生长.合理的SrBi2Ta2O9/Bi4Ti3O12厚度配比能获得较好的铁电性能和优良的抗疲劳特性,SrBi2Ta2O9/Bi4Ti3O12厚度配比为1∶3的复合薄膜的剩余极化强度和矫顽电场分别为8.1 μC/cm2 和 130 kV/cm,其无疲劳极化开关次数达1011以上. 相似文献
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采用sol-gel法在Pt/TiO2/SiO2/p-Si(100)衬底上制备了Bi3.25La0 75Ti3O12(BLT)铁电薄膜,研究了在750 ℃时不同退火气压(Po2:10-4-3 atm)对薄膜微观结构和电学性能的影响.XRD和拉曼光谱结果表明在10-4和3 atm氧气压下退火的薄膜晶化度明显降低.同时,XRD结果反映出10-1atm氧气压下退火的薄膜具有a轴择优取向.FSEM截面形貌显示0.1 atm氧气压下退火的薄膜由与a轴取向相对应的柱状晶粒构成,1 atm氧气压下退火的薄膜为由随机取向相对应的斜杆状晶粒构成.薄膜的微观结构最终影响了其铁电性能.0.1 atm氧气压下退火的薄膜具有最大的剩余极化值(Pr=17.8 Μc/cm2和最小的矫顽场强(Ec=73.6 Kv/cm),以及良好的抗疲劳特性. 相似文献
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采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺在Pt/TiO2/SiO2/p-Si(100)衬底上制备出Bi4Ti3O12(BIT)和Bi3.25La0.75Ti2.97V0.03O12(BLTV)铁电薄膜,研究了La,V共掺杂对BIT薄膜的晶体结构和电学性能的影响.BIT薄膜为c轴择优取向,BLTV薄膜为随机取向,拉曼光谱分析表明V掺杂降低了TiO6(或VO6)八面体的对称性,也增强了Ti—O键(或V—O键)杂化.BLTV薄膜的剩余极化Pr为25.4μC/cm2,远大于BIT薄膜的9.2μC/cm2,表现出良好的铁电性能.疲劳、漏电流测试显示BLTV薄膜具有优良的抗疲劳特性和漏电流特性,表明La,V共掺杂能有效地降低薄膜中的氧空位. 相似文献
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在溶胶-凝胶工艺获得高质量Bi4Ti3O12薄膜的基础上,制备了Ag/Bi4Ti3O12栅n沟道铁电场效应晶体管. 研究了Si基Bi4Ti3O12薄膜的生长特性及其对铁电薄膜/硅的界面状态和铁电场效应晶体管存储特性的影响. 研究表明,在合理的工艺条件下可以获得具有较高c-轴择优取向的纯钙钛矿相Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜并有利于改善Bi4Ti3O12/Si之间的界面特性; 顺时针回滞的C-V特性曲线和C-T曲线表明Ag/Bi4Ti3O12栅n沟道铁电场效应晶体管具有极化存储效应和一定的极化电荷保持能力; 器件的转移(Isd-VG)特性曲线显示Ag/Bi4Ti3O12栅n沟道铁电场效应晶体管具有明显的栅极化调制效应. 相似文献
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采用溶胶-凝胶法,在保持薄膜结晶温度和有机物分解温度相同情况下,发现烘烤温度(即溶剂的挥发温度)对镧掺杂钛酸铋薄膜的晶体结构、表面形貌和铁电性质均产生重要影响.在较低烘烤温度下得到的薄膜(117)择优取向明显.但随着烘烤温度增加,薄膜的(117)择优取向逐渐减弱.薄膜的表面晶粒形貌则从棒状逐渐转变为盘状.还测量了薄膜的铁电性质,发现在250℃烘烤温度下得到的薄膜具有最大的剩余极化强度,2Pr为28.4μC/cm2.对实验现象进行了定性解释.
关键词:
溶胶-凝胶法
烘烤温度
铁电薄膜 相似文献
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通过MOD法在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上制备出LaNiO3 ( LNO)薄膜.再通过修 正的Sol-gel法,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si,LNO/Si(100)和LNO/Pt/Ti/SiO2< /sub>/Si三种衬底上 制备出具有择优取向的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜. 经XRD分析表明,L NO薄膜具有(100)择优取向的类钙钛矿结构;PZT薄膜均具有钙钛矿结构,且在Pt(111)/Ti/S iO2/Si衬底上的薄膜以(110)择优取向,在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si和LN O/Si(100)衬底上的 薄膜以(100)择优取向.经场发射SEM分析和介电、铁电性能测试表明,在LNO/Si和LNO/Pt/Ti /SiO2/Si衬底上的PZT薄膜的平均粒径、介电常数以及剩余极化强度均比以Pt/T i/SiO2/Si为衬底的薄膜大.
关键词:
3薄膜')" href="#">LaNiO3薄膜
PZT铁电薄膜
择优取向
剩余极化强度 相似文献
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谈谈"理为工之本,工为理之用"--在高工院校教物理、建物理系的历史经验和体会 总被引:1,自引:0,他引:1
从建国以来,高等工业院校物理教师从事物理教育和科学研究的历史经验来看,一个十分重要的问题是要牢记“物理学是自然科学的主导”;“理为工之本、工为理之用”;“没有第一流的理学院,就没有第一流的理工学院”这三句话,并把它们作为指导思想,落实到从事物理教育和建设物理系的工作中去. 相似文献
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太空物理学当代前沿及其交叉特点 总被引:1,自引:0,他引:1
文章对21世纪太空物理学的发展趋势及其与物理学交叉的特点作了论述,主要内容包括:(1)太空物理学的地位和作用;(2)21世纪太空物理学的发展趋势和前沿问题;(3)物理学与太空物理学交叉的特点(包括太空物理探测与物理学的交叉,太空物理与等离子体物理的交叉,太空物理与高能物理的交叉,太空开发利用与物理学的交叉)。 相似文献
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本探讨了情景式物理教学过程中,不同教育媒体的有机结合,以达到多媒体结构的优化设计,发挥其最大效能。 相似文献
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不确定度表示的进展及其对实验教学的要求 总被引:8,自引:0,他引:8
以提纲形式综述、分析了近年来不确定度表示体系方面的研究进展和特点,提出物理实验教学中推广该体系的必要性、规范化要求及应注意的几个问题 相似文献
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我国大气物理研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
简单介绍了建国50年来我国大气物理学的研究进展,我国大气物理研究的进展紧密结合国家和社会发展的需求,又与国际前沿科技发展处于国际前沿、文还分别是介绍了云和水物理和大气电学、大气边界层物理和大气湍流、大气辐射物理、大气遥感物理、大气自氧和中层大气物理。 相似文献
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介绍在北京邮电大学新生中进行高中物理课程选修情况的调查统计结果,从中可以看到大学物理课程执行《非物理类理工学科大学物理课程教学基本要求》的必要性. 相似文献