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分别采用99.99%的多晶铜片和99.95%的磷脱氧铜片作为沉积金刚石薄膜的基片,通过热丝化学汽相沉积法在两种基片上都获得了大面积、自支撑的多晶金刚石膜.使用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜、Raman光谱和X射线衍射比较分析了两种铜基片上的金刚石膜.脱氧铜上的金刚石膜质量并不亚于多晶铜上的金刚石膜,而且它的成核密度、生长速率以及应力都高于多晶铜上金刚石膜的同类参数.特别采用了退火工艺和优化的生长条件来获得大面积的连续金刚石膜.
关键词: 相似文献
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MPCVD金刚石的Raman光谱分析 总被引:3,自引:1,他引:2
用微波等离子体化学气相淀积法(MPCVD)在Si基片上生长了金刚石薄膜,通过对其进行Raman光谱分析,一次表征了金刚石的结构,纯度及应力状况等材料性能,同时并研究了生长过程中微波功率与金刚石性质的关系。研究表明,微波等离子体化学气相溶积法生长的金刚石薄膜,除了金刚石成分的生长外,还会有部分非金刚石成分的生长,金刚石的纯度与微波功率的关系不明显,另外此种方法生长的金刚石薄膜主要表现为张应力。 相似文献
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由测量高温超导体Y-Ba-Cu-O低磁场的交流磁化曲线和高强脉冲磁场中的R-H关系,得到该体系的H_(c_1)(T)和H_(c_2)(T)。实验给出H_(c_)(77K)=115G,dH_(c_2)/dT|T_c=2.2T/K,并由此而得出H_(c_1)(0)=525G,H_(c_2)(0)=135T,H_c(0)=1.63T,k=54.7,ξ(0)=15.6A,λ(0)=855A。这些结果说明Y-Ba-Cu-O是一种典型的H类超导体。 相似文献
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