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1.
高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项"卡脖子"关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd18+—Gd27+离子最外层4d壳层的4p-4d和4d-4f能级之间跃迁、以及Gd14+—Gd17+离子最外层4f壳层的4d-4f能级之间跃迁对波长为6.7 nm附近极紫外光的贡献.其后开展实验研究,结果表明,随着双脉冲之间延时的逐渐增加,波长为6.7 nm附近的极紫外光辐射强度呈现先减弱、后增加、之后再减弱的变化趋势,在双脉冲延时为100 ns处产生的极紫外光辐射最强.并且,在延时为100 ns处产生的光谱效率最高,相比于单脉冲激光产生的光谱效率提升了33%.此外,发现双激光脉冲打靶技术可以有效地减弱等离子体的自吸收效应,获得的6.7 nm附近极紫外光谱宽度均小于单激光脉冲打靶的情形,且在脉冲延时为30 ns时刻所产生的光谱宽度最窄,约为单独主脉冲产生极紫外光谱宽度的1/3.同时...  相似文献   
2.
通过改装多旋翼无人机(UAV)和搭载各类载荷以及联合地基观测设备对大柴旦地区大气、环境以及气溶胶参数进行测量。利用获得的数据资料,对该地区近地层气溶胶粒子数浓度(即单位体积空气中气溶胶粒子的数目)、消光系数以及气象要素等特征进行了分析。结果表明,在大柴旦地区,近地层气溶胶粒子数浓度日变化显著,呈现双峰形态,气溶胶粒子数浓度的变化范围为75~220 cm-3,消光系数的变化范围为0.004~0.038 km-1;当风速小于6 m/s时,气溶胶粒子数浓度与风速呈负相关关系;当风速大于6 m/s时,二者呈正相关关系;相对湿度对气溶胶粒子的影响较小,这可能是由于该地区以沙尘型气溶胶为主,吸湿性较弱。本研究基于多旋翼无人机探测平台,可以有效地获得近地层精细化大气、环境结构,有助于研究人员了解该地区气溶胶的结构、变化特征以及建立气溶胶模式,同时也为气溶胶及大气环境参数探测方法提供了技术支撑及思路拓展。  相似文献   
3.
Yin  Qingqing  Xu  Fen  Sun  Lixian  Li  Yaying  Liao  Lumin  Wang  Tao  Guan  Yanxun  Xia  Yongpeng  Zhang  Chenchen  Wei  Sheng  Zhang  Huanzhi  Li  Bin 《Journal of Thermal Analysis and Calorimetry》2022,147(12):6583-6592
Journal of Thermal Analysis and Calorimetry - Polyethylene glycol (PEG) is widely used as phase change materials (PCMs). However, the leakage and low thermal conductivity issues restrict its...  相似文献   
4.
5.
Zhang  Jia-Rui  Zhang  Jia-Qi  Zheng  Zhao-Lin  Lin  Da  Shen  Yu-Jia 《Nonlinear dynamics》2022,108(2):1005-1026
Nonlinear Dynamics - Parametrically excited oscillators are used in several domains, in particular to improve the dynamical behaviour of systems like in the case of the parametric amplification or...  相似文献   
6.
7.
Journal of Thermal Analysis and Calorimetry - Thermal runaway phenomena of the Panasonic 21,700 LiNi0.8Co0.15Al0.05O2 lithium-ion batteries with 100, 50 and 25% capacity were studied under thermal...  相似文献   
8.
Liang  Guiming  Huang  Yunbao  Li  Haiyan  Lin  Jingliang 《Nonlinear dynamics》2021,105(4):3393-3407
Nonlinear Dynamics - The modal truncation is usually used in the dynamic response analysis of flexible multibody systems, in which, appropriate selection of modal shapes is very critical to achieve...  相似文献   
9.
International Journal of Theoretical Physics - In this paper, we will consider the exact calculation of differential entropy of induced random state ensemble by partial tracing a subsystem over...  相似文献   
10.
低维硅锗材料是制备纳米电子器件的重要候选材料,是研发高效率、低能耗和超高速新一代纳米电子器件的基础材料之一,有着潜在的应用价值。采用密度泛函紧束缚方法分别对厚度相同、宽度在0.272 nm~0.554 nm之间的硅纳米线和宽度在0.283 nm~0.567 nm之间的锗纳米线的原子排布和电荷分布进行了计算研究。硅、锗纳米线宽度的改变使原子排布,纳米线的原子间键长和键角发生明显改变。纳米线表层结构的改变对各层内的电荷分布产生重要影响。纳米线中各原子的电荷转移量与该原子在表层内的位置相关。纳米线的尺寸和表层内原子排列结构对体系的稳定性产生重要影响。  相似文献   
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