| 双激光脉冲打靶形成Gd等离子体的极紫外光谱辐射 |
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| 引用本文： | 谢卓,温智琳,司明奇,窦银萍,宋晓伟,林景全.双激光脉冲打靶形成Gd等离子体的极紫外光谱辐射[J].物理学报,2022(3):213-220. |
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| 作者姓名： | 谢卓 温智琳 司明奇 窦银萍 宋晓伟 林景全 |
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| 作者单位： | 长春理工大学物理学院;长春理工大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年科学基金(批准号:62005021,62105040);国家自然科学基金(批准号:62175018);重庆市自然科学基金(批准号:cstc2021jcyj-msxmX0735);吉林省科技发展计划重点研发项目(批准号:20200401052GX);吉林省教育厅项目(批准号:JJKH20210799KJ);吉林省超快与极紫外光学重点实验室(批准号:YDZJ202102CXJD028)资助的课题. |
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| 摘 要： | 高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项"卡脖子"关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd18+—Gd27+离子最外层4d壳层的4p-4d和4d-4f能级之间跃迁、以及Gd14+—Gd17+离子最外层4f壳层的4d-4f能级之间跃迁对波长为6.7 nm附近极紫外光的贡献.其后开展实验研究,结果表明,随着双脉冲之间延时的逐渐增加,波长为6.7 nm附近的极紫外光辐射强度呈现先减弱、后增加、之后再减弱的变化趋势,在双脉冲延时为100 ns处产生的极紫外光辐射最强.并且,在延时为100 ns处产生的光谱效率最高,相比于单脉冲激光产生的光谱效率提升了33%.此外,发现双激光脉冲打靶技术可以有效地减弱等离子体的自吸收效应,获得的6.7 nm附近极紫外光谱宽度均小于单激光脉冲打靶的情形,且在脉冲延时为30 ns时刻所产生的光谱宽度最窄,约为单独主脉冲产生极紫外光谱宽度的1/3.同时...
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| 关 键 词： | 极紫外光源 双脉冲 激光Gd等离子体 光谱效率 |
Characteristics of extreme ultraviolet emission from Gd plasma produced by dual pulse laser |
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| Xie Zhuo,Wen Zhi-Lin,Si Ming-Qi,Dou Yin-Ping,Song Xiao-Wei,Lin Jing-Quan.Characteristics of extreme ultraviolet emission from Gd plasma produced by dual pulse laser[J].Acta Physica Sinica,2022(3):213-220. |
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| Authors: | Xie Zhuo Wen Zhi-Lin Si Ming-Qi Dou Yin-Ping Song Xiao-Wei Lin Jing-Quan |
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| Institution: | (School of Physics,Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China;Key Laboratory of Ultrafast and Extreme Ultraviolet Optics of Jilin Province,Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | extreme ultraviolet source dual pulse laser laser produce Gd plasma spectrum efficiency |
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