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为了获得准确的面形测量,提出了一种相移电子散斑干涉技术测量物体面形的测量方法.利用电子散斑干涉产生载波条纹,该载波条纹受到物体表面高度的调制变得弯曲,引起载波条纹相位的变化,可运用相移技术提取物体的相位信息,最后根据高度和相位之间的关系得到物体的面形.介绍了该方法的原理,利用该方法对球冠物体进行了面形测量,证明该方法测量物体面形是可行性的.由于是采用散斑干涉的方法产生干涉条纹,因此该方法测量物体面形具有灵敏度高的优点. 相似文献
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利用电子散斑相移技术测量物体三维面形的方法 总被引:5,自引:5,他引:0
为了获得准确的面形测量,提出了一种相移电子散斑干涉技术测量物体面形的测量方法.利用电子散斑干涉产生载波条纹,该载波条纹受到物体表面高度的调制变得弯曲,引起载波条纹相位的变化,可运用相移技术提取物体的相位信息,最后根据高度和相位之间的关系得到物体的面形.介绍了该方法的原理,利用该方法对球冠物体进行了面形测量,证明该方法测量物体面形是可行性的.由于是采用散斑干涉的方法产生干涉条纹,因此该方法测量物体面形具有灵敏度高的优点. 相似文献
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在物体变形场的测量中,云纹干涉的载频调制技术有重要作用.在云纹干涉中,对称光照明产生的衍射光沿试件栅表面的法线传播并产生干涉.通过改变照明光的入射角度,可实现变形条纹场的空间调制.通过光程差的分析说明了载波条纹产生的机理,得出了载波频率与照明光入射角度变化之间的关系式.利用三点弯曲加载结合二维载频调制实验,给出了实验结果.证明了在初始条纹较少的情况下,载频调制技术能有效地测量物体的位移场. 相似文献
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用于微观场小应变测量的云纹干涉载波条纹法 总被引:1,自引:0,他引:1
在云纹干涉法的基础上,研究了一种新的测量方法——云纹干涉载波条纹法,利用初始载波条纹根据物体变形前后的变化对应变进行分析。实验证明:在结合适当的数字图像处理技术情况下,应用频率为1200lp/mm的试件栅,测量试件(微观场)变形产生的应变时,精度基本控制在±10με的范围内。对该方法的研究表明:其灵敏度可在1με以下。方法可给出U场诸行、V场诸列的平均应变值,使研究微观场小应变及微观场临近区域微小应变的不同成为可能。这一技术为MEMS研究中对相关力学内容的分析提供了技术支持。 相似文献
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本文报道了一项称为载波相移全息干涉计量的自动相位估算的新技术。该技术的主要特点是不同相移的条纹图案可用双曝光全息重视。这样即可用来对与时间相关的问题进行自动相位估算。 相似文献
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在阐述形貌影栅云纹法的虚云纹原理的基础上,利用计算机模拟了各种光场中的全场仿真影栅云纹图,结合相移技术创建了以精确解答为基准的数字相移形貌影栅云纹仿真系统,并且讨论了点照射—点观测光场设置下使用相移法必然会引入系统初始误差的普遍现象。通过对点照射—点观测光场中参数差异所带来不同的系统初始误差进行分析和评估,得到了降低这种光场系统误差所应遵循的准则。这些新的工作对规范、合理设计数字形貌影栅云纹仪实验系统和对特殊的光场设置进行误差分析将有所帮助,进一步对研究工作的前期准备具有启发和指导作用。 相似文献
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本文详细讨论了试件在空间六个自由度中产生刚体运动时所形成的云纹图特性,定量地分析了各种刚体运动形式对云纹干涉法的影响。经分析表明:在用云纹干涉法测量变形位移场时,只有当试件绕坐标轴刚体转动时才会影响所测变形位移场。 相似文献
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为实现仅用一幅离轴数字全息图便能直接恢复相位,提出一种利用空间载波相移技术(spatial carrier phase shift, SCPS)和线性回归相结合的离轴数字全息去载波相位恢复算法.首先,利用SCPS将一幅离轴数字全息图分为四幅含有载波相移的全息图,其中载波相移由沿行、列两个方向的正交载波所引入;然后,将四幅载波相移全息图作为输入,将所求物体相位和两个正交的载波作为未知量,结合最小二乘法和线性回归同时求出载波和相位信息.相较于已有的去载波技术,本算法无需背景全息图作为参考,便可准确地去除载波,实现高质量的相位重建.本文结合数值仿真和具体实验结果验证本算法的有效性和优越性. 相似文献
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基于Mirau相移干涉法,在实验室环境下对微透镜阵列的微表面形貌进行了轮廓测量.实验使用He-Ne激光器作为光源,干涉成像系统由Mirau干涉物镜和其他光学元件组成.在实验中使用压电陶瓷执行器作为相移器,通过5步相移法计算待测表面形貌.实验结果表明,基于Mirau相移干涉法对微透镜阵列面形的测量,水平分辨率达到1.1 μm,垂直测量准确度达到6.33 nm,垂直测量范围为5 μm.对于微透镜阵列的面形测量,通过将微透镜阵列划分为若干微小区域以保证局部面形最大高度小于5 μm,然后辅以精密平移机构进行若干次5步相移法测量局部面形,再利用相位重建所得的数据进行拼接和3D轮廓重建,最终得到整个微透镜阵列的精确微表面形貌. 相似文献
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为了减小白光相移干涉法测量物体微观形貌时产生的误差,对极值法的搜索路径进行优化后与Carré相移算法相结合,提出一种基于白光干涉测试技术的改进Carré相移算法.该算法减小了光源扰动及电荷耦合元件散粒噪声带来的影响,且对相移器的线性误差不敏感,免去了相位解包裹过程,提高了运算效率.采用单刻线样块对扫描步距进行校准实现了光源中心波长的在线修正,减小了由于光源特性及环境扰动误差带来的影响.采用不同算法对标准粗糙度样块进行三维形貌恢复以及表面粗糙度的重复性测量实验,结果表明:该算法对表面粗糙度的测量结果较传统白光干涉算法准确度提高,测量重复性优于1%. 相似文献
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本文阐述了全息、散斑、云纹干涉法与Moiré几何理论的相似规律,用Moiré几何理论统一解释,比拟全息、散斑、云纹干涉法并给出相应的表达式。一、引言全息、 相似文献
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报道了一种新颖的用于平面内位移测量的相移和载波技术。在剪切束电子斑纹图干涉度度术中,照明光束由棱镜分为两个波前,棱镜的侧面移动将引入相移。在棱镜后加一小角光楔,则光楔的转动产生载波条纹。棱镜或光楔的转动可由机械或电学机构精密控制。形为信息由数字图像处理算法,相位迭代和傅里叶变换法给出。文中介绍了理论及其实验演示的结果。 相似文献