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| 原子力显微扫描云纹法的相移技术研究 | |
| 引用本文： | 谢惠民,刘通,吕云光,于劲,戴福隆,张维.原子力显微扫描云纹法的相移技术研究[J].光学技术,2001,27(3):193-195. |
| 作者姓名： | 谢惠民 刘通 吕云光 于劲 戴福隆 张维 |
| 作者单位： | 1. 清华大学 力学系 2. 清华大学 结构与振动开放实验室客座研究人员 |
| 基金项目： | 清华大学结构与振动开放实验室资助 |
| 摘 要： | 提出一种原子力显微镜扫描云纹法的相移新技术 ,运用原子力显微镜的压电扫描头作为相移元件 ,对所得云纹图像可进行 0 - 2 π范围内的四步相移。对该方法的测量原理和实验技术进行了详细的阐述。作为典型实验和应用实例 ,分别对由全息光栅和含热变形的电子封装试件栅形成的云纹进行相移分析。成功的实验结果表明 ,该方法是可行的 ,为微米云纹方法的条纹处理提供了一种新途径。该方法可望在微观变形的云纹法测量中发挥积极作用 |
| 关 键 词： | 云纹法 原子力显微镜 变形 相移技术 全息光栅 |
| 文章编号： | 1002-1582(2001)03-0193-03 |
| 修稿时间： | 2000年11月15 |
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