共查询到20条相似文献,搜索用时 417 毫秒
1.
2.
3.
软X射线多层膜色散元件 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍研制软X射线多层膜色散元件的初步结果,结合M0/S1、S/S1色散元件的研制实例,讨论了包括设计、性能模拟计算、镀膜工艺、检测等在内的制备过程,这些元件将在X射线光学和X射线光谱学的有关研究工作中得到应用。 相似文献
4.
用于X射线,特别是软X射线(波长范围约为30-1nm)光学中的多层膜近十年来引起了人们的广泛重视,取得了许多重要进展.本文对这类多层膜的特点、制备和检测方法以及应用等作简要介绍. 相似文献
5.
简单介绍了BSRF软X射光学实验反射率计装置,并给出了近年来本组在软X射线多层膜方面的研究结果。 相似文献
6.
分析了常规金属靶激光等离子体源产生固体碎屑的原因及其对软X射线光学元件的危害,介绍了近年来发展起来的无碎屑激光等离子体软X射线源,归纳了无碎屑激光等离子体软X射线源的几种形式和特点,并且描述了这种新型光源在软X射线显微术及光刻术中的应用. 相似文献
7.
8.
9.
10.
X射线Bragg-Fresnel元件是近十年发展起来的一种用于X射线波段的新型光学元件。本文介绍一种具有二维聚焦效能的Bragg-Fresnel元件的设计理论和方法。设计中采用衍射理论并用C语言编制计算机程序系统对衍射图形进行设计。对于使用波长13.8nm,入射角5°,使用焦距200mm的使用条件,设计结果为35Mo/Si双层多层膜,周期厚度7.14nm,理论反射率约为60%;衍射图形共400个环带,最内环半宽度52.5μm,最外环宽度1.3μm。 相似文献
11.
在矩形不栅上镀制软X射线多层膜,得到了多层膜光栅组合式结构,报道用CuKa线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用X射线运动学理论进行了分析,得到两个衍射条件,分别对应决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉格定理,发现光栅级效率受多层膜反射调制。 相似文献
12.
13.
14.
15.
16.
17.
18.
正放射Mo/B4C软X射线多层膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用Mo/B4C材料在短波长波段进行软X射线多层膜实验研究。在指定波长处对多层膜进行结构设计,并制备出了周期结构的Mo/B4C多怪膜样品。 相似文献
19.
详细给出了软X光多层膜位相型矩形光栅的实验,分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性,并进行了分析。 相似文献