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| 无碎屑激光等离子体软X射线源的研究及应用前景 | |
| 引用本文： | 林景全.无碎屑激光等离子体软X射线源的研究及应用前景[J].物理,1998,27(7):431-434. |
| 作者姓名： | 林景全 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室 |
| 摘 要： | 分析了常规金属靶激光等离子体源产生固体碎屑的原因及其对软Ｘ射线光学元件的危害，介绍了近年来发展起来的无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源，归纳了无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源的几种形式和特点，并且描述了这种新型光源在软Ｘ射线显微术及光刻术中的应用． |
| 关 键 词： | 无碎屑，激光等离子体，软X射线源，应用 |
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