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报道了以固态CO2作为靶材的一咱新型激光等离子体软X射线源,与常规金属靶激光等离子体软X射线源相比,它是一种低污染的光源,深入研究正在进行中。 相似文献
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点降焦激光等离子体发出的X射线经晶体色散形成均匀的单色X射线源,在此基础上,用单层网格作为衰减膜,得到未经衰减和经过衰减的X射线谱,对无保护膜的SIOF-M5FW软X光底片作了试验性的相对标定,得到了0.91nm波长的特性曲线。 相似文献
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描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软X射线源而进行的接近式软X射线光刻研究,采用负性辐射线光刻胶聚氯甲基苯乙烯,得到了一些新的实验结果。 相似文献
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气体靶激光等离子体软X-射线源实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种无碎屑、高亮度、高工作频率的气体靶激光等离子体软X 射线源。其喷气阀门由压电陶瓷驱动 ,工作频率可达到 40 0Hz。与金属靶激光等离子体软X 射线源相比 ,此光源无碎屑。与喷嘴由电磁阀控制的气体靶激光等离子体软X 射线源相比 ,它有较高的工作频率。一工作在模拟模式的通道电子倍增器被用于探测来自光源的软X 射线辐射 ,其输出信号经过一电荷灵敏前置放大器进一步放大变成电压脉冲信号 ,脉冲幅度与输入电荷灵敏前置放大器的电量成正比。实验测得CO2 ,Xe和Kr在 8~ 2 2nm软X 射线投影光刻常用波段的光谱辐射特性。CO2 光谱包括类锂和类铍离子跃迁形成的线谱 ,Xe光谱是多电荷氙离子 4d 5f,4d 4f,4d 6p和 4d 5p跃迁所形成的光谱。Kr气体靶光谱包括类铜离子、类镍离子、类钴离子和类铁离子跃迁形成的线谱和连续谱。 相似文献
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带前置光学系统的软X射线透射光栅光谱仪 总被引:1,自引:0,他引:1
软X射线检测是激光等离子体诊断中最复杂而又是最重要的一项工作。本文简要介绍了带有前置光学系统的软X射线大面积透射光栅光谱仪和用它获得的铝和铜靶激光等离子体的光谱图。 相似文献
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一种新型的软X射线二极管 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了用于激光等离子体发射的X射线量测量的一种新型的软X射线二极管(即XRD〕的结构、原理、性能、标定及其应用。该探测器具有体积小、响应快、使用方便等优点,1990年和1991年已两次成功地用于“神光”装置上激光等离子体发射X射线测量。 相似文献
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研制了一种高重复频率小型激光等离子体软X光脉冲探测装置,给出其设计原理和性能参量,采用光谱学诊断方法研究了光源的软X射线辐射特性,得到了一些新的实验结果 相似文献
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等离子体光谱的多重结构 总被引:1,自引:1,他引:0
利用空间分辨的掠入式光栅谱仪和晶体谱仪等,获得了等离子体发射的软X射线多重连谱和伴线结构。软X射线多重谱主要由等离子体中多重电离态离子所致,而电子密度大小和杂质粒子对伴线丰度起主要作用。实验结果显示原子序数和入射激光强度与光谱结构的紧密联系以及等离子体发射源的非平衡性质。 相似文献
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用平场光栅谱仪现场标定5FW X光底片 总被引:2,自引:1,他引:1
采用像散模式的平场光栅谱仪作为分光元件,点状镁激光等离子体X射线源为原始光源,获得均匀线性单色较X射线再生源,在此基础上,用多阶梯衰减膜为相对曝光强度标尺,现场标定了上海感光胶片厂生产的5FW无保护膜X光底片,给出了5.0nm~8.0nm间的底片响应特性。 相似文献
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用于高温等离了体电子密度测量的摩尔偏折仪 总被引:2,自引:0,他引:2
摩尔偏折测量术通过测量探针光束经过不均匀介质后光线的偏折来估算介质的折射率。基于这一理论,研制了实用的摩尔偏折仪,利用软X射线激光作为探针来探测高温高密等离子体的电子密度,结合软X射线激光实验做了初步的演示。 相似文献
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长期以来,惯性约束聚变(ICF)研究软X射线诊断科学仪器设备的元器件标定工作主要依赖同步辐射光源X射线辐射计量站进行。该类装置通常与用于开展ICF研究的大型激光装置分处两地,难以满足ICF研究软X射线元器件实时实地的标定应用需求。另外,由于同步辐射和ICF激光等离子体产生的X射线辐射特性存在较大差异,同步辐射计量站的标定结果事实上也不能完全反映元器件在ICF实验应用中的计量响应特性。本文首先介绍一种基于单光学元件的软X射线紧凑型无谐波光源单色化技术,以此为基础提出研制基于ICF激光等离子体X射线源的同源、同几何位形、双束比较校准的多能量通道光源单色化系统,用于ICF应用软X射线元器件的在线标定。新系统一方面可望满足ICF软X射线元器件实时实地的标定应用需求;另一方面,其提供的标定光束的技术特征将最大可能地接近ICF激光等离子体X射线辐射本身。配备相应的X射线二极管(XRD)和标准探测器之后,该系统将形成一套具有在线自校准功能的新型多通道δ能量响应软X射线能谱仪。 相似文献
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通过数值求解等离子体流体力学方程组,研究了短脉冲激光打靶结束后形成的短密度梯度尺度等离子体的冷降温过程,讨论了热传导,膨胀作功,辐射损失三种冷却机制对降温过程的贡献,并用解流体力学方程组得到的等离子参数计算MgXI等离子体中波长小于20nm的所有可能跃迁的自发辐射放大增益系数,分析了它们与环境条件的关系,指出了在MgXI等离子体中获取水窗附近乃至水窗波段软X射线激光的可能性。 相似文献
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Z-pinch放电产生的高温高密度等离子体可以作为一种小型的、高通量软X射线源,使用软X射线聚束透镜与等离子体辐射源组合可以传输并聚焦软X射线,同时,透镜能吸收电子、带电离子、中性粒子等的污染物,在其后焦点处获得洁净的高功率密度软X射线。该方法为拓展Z-pinch运用领域有潜在前景。 相似文献
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X射线激光研究的进展概述 总被引:1,自引:0,他引:1
X射线激光是目前激光物理与等离子体物理中的一个重要研究领域,文章介绍了X射线激光的基本物理概念,最新研究动态,目前存在的问题和困难以及X射线激光研究和应用的发展趋势。 相似文献