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1.
高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项"卡脖子"关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd18+—Gd27+离子最外层4d壳层的4p-4d和4d-4f能级之间跃迁、以及Gd14+—Gd17+离子最外层4f壳层的4d-4f能级之间跃迁对波长为6.7 nm附近极紫外光的贡献.其后开展实验研究,结果表明,随着双脉冲之间延时的逐渐增加,波长为6.7 nm附近的极紫外光辐射强度呈现先减弱、后增加、之后再减弱的变化趋势,在双脉冲延时为100 ns处产生的极紫外光辐射最强.并且,在延时为100 ns处产生的光谱效率最高,相比于单脉冲激光产生的光谱效率提升了33%.此外,发现双激光脉冲打靶技术可以有效地减弱等离子体的自吸收效应,获得的6.7 nm附近极紫外光谱宽度均小于单激光脉冲打靶的情形,且在脉冲延时为30 ns时刻所产生的光谱宽度最窄,约为单独主脉冲产生极紫外光谱宽度的1/3.同时...  相似文献   
2.
Liu  Shao-Hua  Tian  Bo 《Nonlinear dynamics》2022,108(3):2471-2482
Nonlinear Dynamics - In this paper, a (2+1)-dimensional Caudrey–Dodd–Gibbon–Kotera–Sawada system is investigated in fluid mechanics via the symbolic computation. With the...  相似文献   
3.
通过改装多旋翼无人机(UAV)和搭载各类载荷以及联合地基观测设备对大柴旦地区大气、环境以及气溶胶参数进行测量。利用获得的数据资料,对该地区近地层气溶胶粒子数浓度(即单位体积空气中气溶胶粒子的数目)、消光系数以及气象要素等特征进行了分析。结果表明,在大柴旦地区,近地层气溶胶粒子数浓度日变化显著,呈现双峰形态,气溶胶粒子数浓度的变化范围为75~220 cm-3,消光系数的变化范围为0.004~0.038 km-1;当风速小于6 m/s时,气溶胶粒子数浓度与风速呈负相关关系;当风速大于6 m/s时,二者呈正相关关系;相对湿度对气溶胶粒子的影响较小,这可能是由于该地区以沙尘型气溶胶为主,吸湿性较弱。本研究基于多旋翼无人机探测平台,可以有效地获得近地层精细化大气、环境结构,有助于研究人员了解该地区气溶胶的结构、变化特征以及建立气溶胶模式,同时也为气溶胶及大气环境参数探测方法提供了技术支撑及思路拓展。  相似文献   
4.
Journal of Optimization Theory and Applications - This paper considers an optimal control problem governed by nonlinear fractional-order systems with multiple time-varying delays and subject to...  相似文献   
5.
In this paper, the problem of the uniform stability for a class of fuzzy fractional-order genetic regulatory networks with random discrete delays, distributed delays, and parameter uncertainties is studied. Although there is a portion of literature on using fixed point theorems to study the stability of fractional neural networks, most of them required the fractional order to be in 1 2 , 1 . However, the case of the fractional-order belonging to ( 0 , 1 2 ) has not been discussed. To solve it, this work proposes a novel idea of using fixed point theory to study the stability of fuzzy (0,1) order neural networks, the problem of the uniqueness of the solution of the considered genetic regulatory networks is resolved, and a novel sufficient condition to guarantee the uniform stability of above genetic regulatory networks is also derived. Eventually, an example is given to demonstrate that the obtained result is effective.  相似文献   
6.
7.
以过渡金属为催化衬底的化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition,CVD)已经可以制备与机械剥离样品相媲美的石墨烯,是实现石墨烯工业应用的关键技术之一。原子尺度理论研究能够帮助我们深刻理解石墨烯生长机理,为实验现象提供合理的解释,并有可能成为将来实验设计的理论指导。本文从理论计算的角度,总结了各种金属衬底在石墨烯CVD生长过程中的各种作用与相应的机理,包括在催化碳源裂解、降低石墨烯成核密度等,催化加快石墨烯快速生长,修复石墨烯生长过程中产生的缺陷,控制外延生长石墨烯的晶格取向,以及在降温过程中石墨烯褶皱与金属表面台阶束的形成过程等。在本文最后,我们对当前石墨烯生长领域中亟需解决的理论问题进行了深入探讨与展望。  相似文献   
8.
Liu  Xiao-hui  Wang  Yu  Fan  Ya-wen  Liu  Yu-zi 《应用数学学报(英文版)》2022,38(4):822-842
Acta Mathematicae Applicatae Sinica, English Series - In this paper, we consider the statistical inferences in a partially linear model when the model error follows an autoregressive process. A...  相似文献   
9.
Zhang  Jia-Rui  Zhang  Jia-Qi  Zheng  Zhao-Lin  Lin  Da  Shen  Yu-Jia 《Nonlinear dynamics》2022,108(2):1005-1026
Nonlinear Dynamics - Parametrically excited oscillators are used in several domains, in particular to improve the dynamical behaviour of systems like in the case of the parametric amplification or...  相似文献   
10.
Journal of Solid State Electrochemistry - Cortisol, a steroid hormone, has been confirmed as a kind of biomarker that reflects the stress response of psychobiology and related adverse health...  相似文献   
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