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T型栅结构已经广泛应用于赝配高电子迁移晶体管(PHEMT)的制作中去,因为这种结构可以有效地减少由于栅寄生电阻而引起的晶体管噪声.X射线光刻具有工艺宽容度大、成品率高、景深大、曝光视场大、成本低等诸多优点,更为重要的是,其技术已经比较成熟,它是最好的制作深亚微米T型栅技术手段.本文首先简要介绍我们自行研发的X射线掩模工艺,并对模糊对光刻胶表面的光强分布的影响进行了分析,最后对制作深亚微米T型栅的三层胶方法和在北京同步辐射装置上取得的75nm T型栅图形结果进行了介绍. 相似文献
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针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功的设计制作了100×100像素的焦平面阵列(focal plane array,FPA).在构建的红外成像系统中,实现了对室温物体——人体的热成像,噪声等效温度差约为200mK.实验结果与热机械模型的分析一致.
关键词:
非制冷红外成像
光学读出
双材料微梁阵列 相似文献
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SiH2Cl2-NH3配比对a-SiNx:H薄膜PL峰的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
低压化学气相沉积制备的纳米硅镶嵌结构的a-SiNx:H薄膜,在3.75eV的激光激发下,室温下发射1~3个高强度的可见荧光。在相同的沉积温度下(900℃),选择不同的SiH2Cl2和NH3气体配比时,所得薄膜表现出不同的荧光属性,荧光峰的峰位和数目有着显著的变化。通过TEM、IR、XPS等分析手段对其原因进行了研究分析,认为不同配比下,生成的薄膜中缺陷态的种类和密度有所不同,这影响了其PL峰个数及其各峰的相对强弱。 相似文献
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In this paper,a new finite element method for the flow analysis of the viscousincompressible power-law fluid is proposed by the use of penalty-hybrid/mixed finiteelement formulation and by the introduction of an alternative perturbation,which isweighted by viscosity,of the continuity equation.A numerical example is presented toexhibit the efficiency of the method. 相似文献
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A type of penalty-hybrid variational principle is suggested for the analysis ofStokesian flow.On such a basis,a finite element model is formulated featuring,amongothers,a priori satisfaction of the deviatoric stress and hydrostatic pressure on linearmomentum balance equations.Also in the present scheme the hydrostatic pressure issuccessfully eliminated at the element level,leaving only nodal velocities as solutionunknowns.A series of4-node and8-node quadrilateral elements are derived and examined.Numerical examples demonstrating their characteristic behaviors are also included. 相似文献
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由于军事和商业应用的巨大潜力,红外成像技术至今仍是研究热点之一。针对本课题组提出的基于MEMS和光学读出的新型非制冷红外成像技术,本文一方面通过有限元仿真分析,详细讨论了新型无基底双材料微梁阵列FPA的热转换效率和热变形效率,另一方面通过光学理论分析,详细讨论了光学读出系统在极限操作下的光学测量灵敏度。理论和仿真分析显示,课题组提出的非制冷红外成像技术的NETD的理论极限与当前制冷型红外成像技术的典型指标相当,约为4mK。同时,本文对设计制作的FPA,在构建的系统上进行了红外实时成像实验和理论仿真分析,显示其系统级NETD已达到110mK。 相似文献
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"冰毒"拉曼散射振动模式的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
利用显微拉曼技术对致幻药物-“冰毒”做了测试分析研究。在激发光514.5nm和室温环境下,得到了“冰毒”分子的拉曼散射谱。根据两种分子同属单取代苯类,具有Cy2v对称性,对安非他明和甲基安非他明分子的拉曼振动模式进行了识别。只出现在甲基安非他明拉曼谱中的2459cm^-1谱线,是其他毒品分子拉曼谱中都湍有的,我们认为极可能是C-N^+-C之间的伸缩振动。 相似文献
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I.IntroductionNonlinearanalysiseffortsmainlyincluderesearchesonthestablemotionofasystem.investigationsonitsstabilityfeaturesandtheinstantaneousmotionofadynamicalsystemwhenchangesoccurtoitsgoverningparameters.Theso-calledstochasticbifurcationimpliesthetran… 相似文献