光学相干层析成像图像中角膜厚度的自动测量方法

提出了基于边界跟踪、轮廓定位和曲线拟合的光学相干层析成像(OCT)图像中角膜厚度的自动测量方法。分别测量了高信噪比以及存在噪声和伪影的角膜OCT图像中的角膜厚度,并验证了所提方法的有效性和实用性。研究结果表明,所提方法不仅可以精确测量高信噪比角膜OCT图像中的角膜厚度,对存在噪声和伪影的角膜OCT图像也有很好的测量效果。与已有的角膜厚度测量方法相比,该方法具有抗干扰能力强和测量精度高的优点。     

多光源白光干涉仪的最佳波长组合

使用多个宽带光源构成的组合光源的白光干涉仪,其干涉信号为单个光源干涉信号的叠加,从而使干涉信号强度重新分布。通过理论分析和计算机模拟,发现一个最佳波长组合,使干涉信号零级条纹与次级极大条纹的强度差变大,且由于它的使用可以更精确地确定零级中心条纹的位置,提高系统分辨率,降低对系统信噪比的要求,并提出了选择最佳波长组合的方法。     

半导体激光器光热光强调制的频率与相位特性

本文在半导体激光器结温变化主要由限制层光热转化引起的情况下,通过求解热传导方程和速率方程得到半导体激光器光热光强调制的频率特性和相位特性.分析表明理论同实验结果相一致.     

长腔DFB半导体激光器非简并四波混频波长转换效率

本文从理论上计算了长腔DFB-LD中基于非简并四波混频的波长转换效率,由耦合波方程的数值解,得出波长转换效率与腔长、泵浦光功率、增益系数、DFB-LD谐振光与注入光的频率失谐量等的关系.数值计算结果表明,通过提高泵浦光功率、增益和腔长可有效地增大波长转换效率.     

基于并行小波变换的快速三维面形测量技术

为了提高小波变换三维面形测量技术中相位信息的解调速度,依据不同的并行计算原理,提出两种基于并行一维连续小波变换的光学条纹图快速解调方法。利用多核CPU运算平台进行了计算机模拟和实验,结果表明并行一维连续小波变换光学条纹图相位解调方法相比于串行一维连续小波变换光学条纹图相位解调方法,在精度不变的同时计算速度显著提高:对850pixel×1000pixel大小实测条纹图像解调速度提高了7.5倍。并行一维连续小波变换相位解调方法为小波变换三维面形测量技术在实时/瞬态过程三维面形测量中的应用奠定了基础。     

极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究

建立一个计算极紫外投影光刻掩模衍射场的简化模型,在该简化模型中通过对入射光场进行追迹推导衍射场分布的解析表达式.简化模型中的掩模包括多层膜结构和吸收层结构两部分.多层膜结构的衍射近似为镜面反射.吸收层结构的衍射利用薄掩模修正模型进行分析,即将吸收层等效为位于某等效面上的薄掩模,引入边界点脉冲描述边界衍射效应,通过确定等...     

Resonant characteristics of microcantilever by using self-mixing interferometer based on phase reconstruction method

<正>The self-mixing interferometer is used to investigate the characteristics of resonant frequency of the microresonator, which is excited by a sinusoidally driven loud-speaker.The detected self-mixing signal is processed by the phase reconstruction method.The 1st-order resonant frequency of the microresonator is measured to be 4.437 kHz with full-width at half-maximum(FWHM) of 0.13 kHz.The measurement results are verified by the sinusoidal phase modulating(SPM) interferometer.     

Research on optical biosensor with up-converting phosphor marker

An optical biosensor with up-converting phosphor (UCP) marker is developed for the sensitive rapid immunoassay to the specific biomolecule. UCP can emit visible light when excited by infrared light. Through detecting and analyzing the content of UCP particles on the test strip after immunoreaction, the concentration of target analyte in the sample can be obtained. The detection sensitivity to plague IgG is better than 5 ng/ml; to plague FI-Ab is better than 100 pg/ml; to plague Yersinia pestis cell is better than 3×104 CFU/ml. Good linear response characteristics and an excellent correlation (R2≥0.95) have been verified by quantitative detection results. In the practical application, detection results to 167 analytic samples have an excellent consistency with those obtained by reverse hemagglutination test. The up-converting phosphor technology (UPT) based biosensor has stable, reliable, and sensitive performances. It can meet the need of various bioassay applications.     

一种高性能硅片曝光场分布优化算法

以提高光刻机应用性能为目的,提出了一种高性能硅片曝光场分布优化算法。由芯片尺寸计算得到最佳曝光场尺寸,使其最接近于光刻机提供的曝光场最大尺寸,提高了曝光系统的利用率;引入曝光场交错分布,减少了硅片边缘曝光场的交叠,提高了光刻产率;建立产率优先和良率优先两种优化方案,实现了产率和良率的共优。以实际芯片产品的参量为例,将本算法用于曝光过程,采用产率优先标准,曝光场数量减少了10%,而内场数量基本不变,提高了光刻的产率也确保了良率;采用良率优先标准,内场数量增长了10%,总的场数也有所减少,提高了光刻良率的可靠性也确保了产率。     

基于套刻误差测试标记的彗差检测技术

为了满足光刻机投影物镜彗差测量精度的要求,提出一种基于套刻误差测试标记的彗差检测技术,分析了彗差对套刻误差测试标记空间像的影响,详细叙述了该技术的测量原理,并利用PROLITH光刻仿真软件对不同数值孔径与部分相干因子设置下套刻误差相对于彗差的灵敏度系数进行了仿真实验。结果表明,与目前国际上通常使用的投影物镜彗差检测技术相比,该技术在传统照明条件下灵敏度系数Kz7与Kz14的变化范围分别增加了27.5%和34.3%,而在环形照明条件下则分别增加了20.4%和22.1%,因此彗差的测量精度可提高20%以上。