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| 极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究 | |
| 引用本文： | 彭勃,曹宇婷,王向朝,邱自成.极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究[J].光学学报,2011(4):42-48. |
| 作者姓名： | 彭勃 曹宇婷 王向朝 邱自成 |
| 摘 要： | 建立一个计算极紫外投影光刻掩模衍射场的简化模型,在该简化模型中通过对入射光场进行追迹推导衍射场分布的解析表达式.简化模型中的掩模包括多层膜结构和吸收层结构两部分.多层膜结构的衍射近似为镜面反射.吸收层结构的衍射利用薄掩模修正模型进行分析,即将吸收层等效为位于某等效面上的薄掩模,引入边界点脉冲描述边界衍射效应,通过确定等... |
| 关 键 词： | 衍射 极紫外投影光刻 薄掩模模型 时域有限差分算法 |