热辐射扫描成像系统的实验研究

本介绍一种最新研制的适合于基础物理实验的热辐射与红外扫描成像实验仪,利用它测量了有狭缝铝表面样品的红外图像,并与理论模拟的图像以及样品的实际值进行了比较。     

极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究

建立一个计算极紫外投影光刻掩模衍射场的简化模型,在该简化模型中通过对入射光场进行追迹推导衍射场分布的解析表达式.简化模型中的掩模包括多层膜结构和吸收层结构两部分.多层膜结构的衍射近似为镜面反射.吸收层结构的衍射利用薄掩模修正模型进行分析,即将吸收层等效为位于某等效面上的薄掩模,引入边界点脉冲描述边界衍射效应,通过确定等...