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1.
对极紫外光刻掩模的吸收层和多层膜分别建模,将二者组合以实现对具有复杂图形分布的掩模衍射谱的快速精确仿真。对存在图形偏移的吸收层,采用扩展的边界脉冲修正法进行仿真。对无缺陷及含缺陷的多层膜,分别采用等效膜层法和基于单平面近似的方法进行仿真。采用等效膜层法修正单平面近似法中的平面镜反射系数,提高了大角度(大于10°)入射下的含缺陷多层膜的仿真精度。采用张量积、矢量化并发计算提高了仿真速度。对无缺陷掩模的图形关键尺寸仿真表明,改进方法与严格仿真的误差在0.4nm以内,仿真精度与速度均优于所对比的域分解方法。对含缺陷掩模,改进方法可准确仿真图形关键尺寸随吸收层偏移的变化,与严格仿真相比,对周期为240nm的掩模,在0.6nm仿真误差下,仿真速度提升了150倍。  相似文献   
2.
3.
The impact of lens aberrations becomes severe when the critical dimensions (CDs) shrink. The accurate measurement of both low- and high-order Zernike aberrations is important during a photolithographic process. Based on the multi-illumination settings and principal component analysis of aerial images, a novel in situ aberration measurement technique that can accurately measure all the Zernike aberrations, except for the sinusoidal 2-θ and sinusoidal 4-θ terms (under polar coordinates, and Z 1 to Z 4 are not considered) is proposed in this letter. The estimated maximum error of the Zernike aberrations ranges from 0.43 to 0.78 mλ when the amplitudes of the Zernike coefficients range from -20 to 20 mλ. The standard and root mean square errors are both in the range from 0.14 to 0.4 mλ.  相似文献   
4.
极紫外(EUV)投影光刻掩模在斜入射光照明条件下,掩模成像图形位置和成像图形特征尺寸(CD)都将随入射光方向变化,即存在掩模阴影效应。基于一个EUV掩模衍射简化模型实现了掩模阴影效应的理论分析和补偿,得到了掩模(物方)最佳焦面位置和掩模图形尺寸校正量的计算公式。掩模(物方)焦面位置位于多层膜等效面上减小了图形位置偏移;基于理论公式对掩模图形尺寸进行校正,以目标CD为22 nm的线条图形为例,入射光方向变化时成像图形尺寸偏差小于0.3 nm,但当目标CD继续减小时理论公式误差增大,需进一步考虑掩模斜入射时整个成像光瞳内的能量损失和补偿。  相似文献   
5.
报道了一种高精度测量光纤连接器端面几何参量的自动测量仪。叙述了光纤连接器的端面几何参量的测量原理。由光纤连接器端面形貌和纤芯中心坐标,可以高精度得到曲率半径、顶点偏移量、端面倾斜角和光纤高度等影响连接器性能的关键端面几何参量。该仪器体积小,自动化程度高,用户界面友好,使用方便,可测量物理接触、角度式物理接触等类型的光纤连接器端面几何参量。实际测量证明,该测量仪有很好的重复测量精度。该测量仪与美国Dorc公司ZX-1 mini PMS测量仪和Norland公司NC3000测量仪相比,测量精度水平相当。该仪器样机已通过华东国家计量测试中心的测试。  相似文献   
6.
光刻机投影物镜的像差原位检测新技术   总被引:4,自引:3,他引:1  
提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原理,论述了该技术利用对准位置坐标计算像差引起的成像位置偏移量的方法。实验结果表明AMF技术可实现球差、彗差、像散等像差参量的精确测量。AMF技术考虑了光刻胶等工艺因素对像差引起的成像位置偏移量的影响,有效避免了目前基于硅片曝光方式的彗差原位检测技术对离焦量、像面倾斜等像质参量限制的依赖。  相似文献   
7.
A position sensor based on grating projection with spatial filtering and polarization modulation is presented. A grating is projected onto the object to be measured through a 4f optical system with a spatial filter. After reflected by the object, the grating projection is imaged on a detection grating through another 4f optical system to form moire fringes. The polarization modulated moire signal is detected to obtain the position information of the object. In the position sensor, the moire signal varies sinusoidally with the position of object. The measurement is independent of the incident intensity on the projection grating and the reflectivity of the object to be measured. In experiments, the effectiveness of the position sensor is proved, and the root mean square (RMS) error at each measurement position is less than 13 nm.  相似文献   
8.
步扬  王向朝 《物理学报》2005,54(10):4747-4753
理论分析和讨论了基于频域相位共轭技术的交叉相位调制所致信号失真的复原和补偿机理,数值模拟了在交叉相位调制作用下,高斯脉冲在中距相位共轭光纤系统中的传输演化过程.结果表明,频域相位共轭技术能够抑制交叉相位调制对光纤系统中传输信号的损害,复原其所导致的信号失真,并能够同步补偿群速度色散和自相位调制非线性效应所导致的信号失真.合适的初始脉冲时延和初始脉冲啁啾有利于频域相位共轭技术对交叉相位调制所致信号失真的抑制. 关键词: 频域相位共轭 交叉相位调制 色散 自相位调制  相似文献   
9.
基于人工神经网络的大量程光纤实时距离干涉测量仪   总被引:3,自引:3,他引:0  
提出了一种基于人工神经网络的全光纤化大量程实时距离干涉测量仪.采用双正弦相位调制方法,即通过同时调制半导体激光器的波长和干涉仪的光程差实现外差测量.为了扩大干涉仪的测量范围和消除输出信号中的交叉敏感,采用人工神经网络进行信号处理,把两路经过初步解调的干涉信号作为输入样本,物体距离的实际值作为输出样本,对神经网络进行训练,以使其具有良好的推广能力.实验结果表明神经网络的使用不仅扩大了距离的测量范围而且提高了测量精度.  相似文献   
10.
基于模拟退火的相位展开方法   总被引:10,自引:3,他引:7  
二维相位展开技术被广泛应用于光学精密测量、自适应光学、合成孔径雷达、图像处理等领域中。提出了一种基于模拟退火的相位展开方法。此方法对主值相位图采用局部平面近似,用模拟退火算法求出最优化平面参量,从而得到去除噪声和2π相位跳变的真实相位图。计算机模拟和实验结果均证明,此方法能有效地去除相位图中的噪声,实现带噪声的主值相位图的相位展开,可靠地重建被测物体的表面形貌。详细介绍了这一方法的原理及实验结果。  相似文献   
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