感应耦合等离子刻蚀技术研究

依据感应耦合等离子体的刻蚀机理，对影响刻蚀的两个重要参数及先进的硅刻蚀技术进行了较深入的研究，并对影响刻蚀效果的参数进行了实验研究，刻蚀出了20μm深，2μm宽的谐振器结构，得到了最佳的工艺参数。     

用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究

利用射频-直流等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积类金刚石碳薄膜,采用激光拉曼光谱仪和原子力显微镜对薄膜的结构和表面形貌进行表征,采用纳米压痕仪测定薄膜的硬度,并用UMT型微摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同试验条件下的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的类金刚石碳薄膜表面光滑致密且硬度较高;在干摩擦条件下与GCr15钢球或Al2O3球配副时显示出良好的减摩抗磨性能,摩擦系数较低,耐磨寿命较长,而在水润滑条件下同Al2O3球配副时发生灾难性磨损.     

脉冲直流等离子体增强化学气相沉积Ti—Si—N纳米薄膜的摩擦磨损特性

采用工业型脉冲等离子体增强化学气相沉积设备，通过调节氯化物混合比例控制薄膜成分，在高速钢基材表面于550℃下沉积由纳米晶TiN和纳米非晶Si3N4组成的Ti—Si—N复合薄膜；采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射仪及X射线光电子能谱仪分析了薄膜的结构、组成和化学状态；采用球-盘高温摩擦磨损试验机考察了薄膜同GCrl5钢对摩时的摩擦磨损性能．结果表明：薄膜的Si含量在0％～35％范围内变化，随着Si含量增大，薄膜沉积速率增大，但薄膜由致密形态向大颗粒疏松态过渡；薄膜的晶粒尺寸为7～50nm；Ti—Si—N薄膜的显微硬度高于TiN的硬度，最高可达60GPa；引入少量Si可以显著改善TiN薄膜的抗磨性能，但薄膜的摩擦系数较高(室温下约0．8、400℃下约0．7)；随着Si含量的增加，Ti—Si—N薄膜的耐磨性能有所降低，其原因在于引入导电性较差的Si元素使得薄膜的组织变得疏松．     

铝合金等离子体淹没氮离子注入层的摩擦学性能研究

用等离子体淹没离子注入技术对ＬＹ１２和ＬＤ１０铝合金表面进行氮离子注入。用俄歇电子能谱分析离子注入层中氮的浓度分布，在此基础上进行了摩擦磨损试验。用扫描电观察和分析磨损表面特征。研究表明：氮离子注入铝合金形成细小，弥散的硬质ＡｌＮ析出相，铝合金表层的显微硬度增加，摩擦系数降低；耐磨性随着注入剂量和电压的增加而提高。磨损机制主要为粘着磨损，随离子注入剂量的增加，粘着磨损趋行减轻。     

脉冲功率与等离子体应用技术的最新动态

以近期在日本举办的国际脉冲功率与等离子体应用会议(简称ISPP)为背景，较为详细地介绍了中、日、韩、俄、美等国在脉冲功率产生技术、高功率微波、辐射源、材料科学、脉冲功率系统和等离子体在工业中应用等几个方面的最新研究动态和成果。     

电热炮原理性实验研究

本文介绍了电热炮的基本原理、实验装置结构、等离子体发生器和发射实验结果。实验结果表明,电热炮原理实验的装置是成功的,已将19.3g复合弹丸加速到1.85km/s,穿透30mm厚的钢板。     

THERMODYNAMIC AND PARTICLE-DYNAMIC STUDIES ON SYNTHESIS OF SILICA NANOPARTICLES USING MICROWAVE-INDUCED PLASMA CVD

1. Introduction1.1 Silica nanoparticles and synthesis methods Silica (SiO2) nanoparticles are widely used in industry asan active filler for polymer reinforcement, a rheologicaladditive in fluids, a free flow agent in powders, and anagent for chemical mechanical polishing during IC (inte-grated circuit) fabrication (Sniegowski & de Boer, 2000).Silica powder is also used for producing silicon carbide(Koc & Cattamanchi, 1998) or opaque silica aerosols (Leeet al., 1995). Many methods can …     

电热化学炮点火方式实验研究

对比实验表明，利用与等离子体发生器联结的中空管结构从弹丸底部点燃推进剂，不仅可以提高弹丸的出口动通顺学能降低膛内的压力；如果单纯依靠增加电源系统的初始电能提高弹丸的出口动能，其副作用是增加了膛内压力。研究结果表明，推进剂点火结构的合理设计对提高电热化学炮的发射效率有重要意义。     

铝合金表面等离子体基离子注入碳层的摩擦学性能

在LY12铝合金氮等离子体基离子注入的基础上，制备了3种含不同中间层的碳改性层，用X射线光电子能谱仪分析了改性层的成分分布，考察了中间层对改性层同钢球对摩时的摩擦学性能的影响．结果表明：所制备的碳层改性层表层为平整、光滑、致密的类金刚石碳膜，在界面上注入的碳与中间层反应生成连接化合物，从而使得其表面硬度及摩擦学性能大幅度提高；中间层使改性层结构、厚度及表面形貌发生变化，进而对其表面硬度及摩擦学性能产生影响，其中以注钛后注氮钛中间层所对应的改性层摩擦学性能最佳；但随载荷增加，改性层加速减薄，摩擦学性能降低．