排序方式: 共有12条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1.
感应耦合等离子刻蚀技术研究 总被引:2,自引:0,他引:2
依据感应耦合等离子体的刻蚀机理,对影响刻蚀的两个重要参数及先进的硅刻蚀技术进行了较深入的研究,并对影响刻蚀效果的参数进行了实验研究,刻蚀出了20μm深,2μm宽的谐振器结构,得到了最佳的工艺参数。 相似文献
2.
3.
Multi-gap Resistive Plate Chamber (MRPC) is a new generation of gas detector with good timing and spacial resolution, whose technique is widely applied in some recent high energy (nuclear) physics experiments. In this letter, we report a long-strip two-end readout MRPC and its test beam performance. The measurements show that the long-strip performs a transmission line characteristic and the impedance is independent of the length of strip. The MRPC module we developed is presented to gain a timing resolution of -80 ps and a spacial resolution of -6.4 mm. The possible application of the MRPC is also discussed. 相似文献
4.
On the Ascending Subgraph Decompositions Problem 总被引:1,自引:0,他引:1
Inthispaper,weconsideronlysimpleundirectedgraphsandfollowBondyandMurtyl7]forterminologyandnotationnotdefinedhere.Y.Alaviandothershavegiventhedefinitionoftheascendingsubgraphdecomposionin[1].LetGbeagraphofqedgessatisfy(" 1)5q<(" ,).ThenGissaidtohavean... 相似文献
5.
6.
简要介绍了图的关联着色问题的起源、发展情况及目前已有的结论,对一类特殊的图——极大外平面图(△≠6),给出了其关联色数. 相似文献
7.
MEMS加速度计凭借其体积小、成本低、可靠性高及可批量生产等优势,已经在战术级精度的武器领域得到了广泛应用。但是,在振动环境下的输出误差(振动整流误差)成为其向导航级精度发展的主要指标瓶颈。为了减小MEMS加速度计的振动整流误差,对传感器芯片结构不对称性和电路零位误差引起的力矩器结构非线性进行了理论分析,然后按照振动法测非线性的方式对上述误差源引起的系统级误差模型进行了仿真试验验证,确定了各误差源与加速度计非线性系数间的影响关系。最后,对主要误差源(电路零位)优化前后的MEMS加速度计振动整流误差和非线性系数进行了测试对比,结果表明:优化后,在50~1500 Hz频率范围内MEMS加速度计二阶非线性的最大值可由1E-4g/g~2降至5E-6g/g~2。 相似文献
8.
9.
10.