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室温下在单晶Si中注入(0.6—1.5)at%的C原子,部分样品在C离子注入之前在其中注入29Si+离子产生损伤,然后在相同条件下利用高温退火固相外延了Si1-xCx合金,研究了预注入对Si1-xCx合金形成的影响.如果注入C离子的剂量小于引起Si非晶化的剂量,在950℃退火过程中注入产生的损伤缺陷容易与C原子结合形成缺陷团簇,难于形成Si1-xC关键词:
离子注入
固相外延
1-xCx合金')" href="#">Si1-xCx合金 相似文献
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在Si(100)衬底上用分子束外延在不同的温度下生长了不同组份的GexSi1-x/Si应变层超晶格。用反射式高能电子衍射、X射线双晶衍射、卢瑟福背散射、透射电子显微镜以及Raman。散射等测试方法研究了GexSi1-x/Si超晶格的生长及其结构特性。结果表明,对不同合金组份的超晶格,其最佳生长温度不同。x值小,生长温度高;反之,则要求生长温度低。对于x为0.1—0.6,在400—600℃的生长温度范围能够长成界面平整、
关键词: 相似文献
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采用经验紧束缚理论,以类似闪锌矿结构的晶体模型模拟GexSi1-x合金,根据总能最小原则计算了GexSi1-x合金中的键长及点阵常数.同时以紧束缚方法计算了原子位置发生弛豫前后的电子能带结构,并与虚晶近似下的计算结果进行了比较.计算结果表明,GexSi1-x合金中的键长基本上与合金组分无关,各自接近于Ge,Si晶体中的键长,与广延x射线吸收精细结构(EXAFS)测量结果符合得
关键词: 相似文献
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使用x射线衍射(XRD)、x射线光电子谱(XPS)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和原子力显微镜(AFM)多种观测手段分析了TiN薄膜和Ti1-xSixNy纳米复合薄膜的微观结构.实验分析证明Ti1-xSixNy薄膜是由直径为3—5nm的纳米晶TiN和非晶Si3N4相构成,并且Ti1-xSix
关键词:
纳米复合薄膜
自由能
表面粗糙度
TiN
1-xSixNy')" href="#">Ti1-xSixNy 相似文献
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用分子束外延生长了23周期的GexSi1-x/Si超晶格,用计算机控制的衍射仪(CuKa辐射)测量了X射线衍射曲线,共观察到13级超晶格结构的衍射峰。超晶格的周期和Ge平均含量可以根据考虑折射修正的布喇格定律得出。用光学多层膜反射理论分析衍射曲线可以确定超晶格的结构参数,第2级衍射峰与第一级峰的强度比对应于超晶格两种材料的相对厚度变化非常灵敏,通过比较实验和计算的I2/I1值,可以确定Si,GexSi1-x层的厚度以及合金组份x。用光学多层膜反射理谁计算得到的衍射曲线与实验曲线趋于一致。
关键词: 相似文献
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现代可编程约瑟夫森电压基准的核心器件是约瑟夫森结阵.目前最具有优势的约瑟夫森结阵是 Nb/NbxSi1-x/Nb材料的结阵. Nb/NbxSi1-x/Nb材料的约瑟夫森结 具有三层薄膜的制作过程简便, Nb和NbxSi1-x刻蚀工艺相同以及NbxSi1-x 势垒层成分可调等优点.中国计量科学研究院设计制作了Nb/NbxSi1-x/Nb约瑟夫森单结. 通过在4.2 K低温下对所做单结进行直流电流-电压特性测量,观测到了清晰的超导隧穿电流和 从零电压态向电压态的跳变,最后就测量结果进行了分析讨论.此项工作属于国内首个开展 Nb/NbxSi1-x/Nb材料约瑟夫森单结研究的工作. 相似文献
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本文报道了4.2~300K温度范围的富含Si的Si1-xGex合金的晶格振动红外透射光谱.实验首次观察到Ge杂质诱发的一个新的共振模吸收.结果还表明,直拉法生长的Si1-xGex合金存在严重的氧沾污,且氧的振动峰随温度的降低向高频方向移动. 相似文献
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The electroluminescence of GexSi1-x/Si single quantum well was measured at temper-atures above room temperature along the growth direction and the direction normal to it. TO and NP peaks were resolved. 相似文献
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MAGNETIC PROPERTIES AND CRYSTALLIZATION OF THE RAPIDLY QUENCHED (Fe1-xNdx) 81.5B18.5 ALLOYS 总被引:1,自引:0,他引:1 下载免费PDF全文
Magnetic properties and crystallization behaviors of amorphous (Fe1-xNdx) 81.5B18.5 alloys were studied. The crystallization temperature is found to rise at first and then drop monotonically with x, having a maximum value of 976K at x=0.11 (9at% Nd). The (Fe1-xNdx) 81.5B18.5 alloys prepared at a quenching rate of vs = 6.6m /s are amorphous, and exhibit good glass formability. Both the coercive field Hc and energy product (BH)max depend strongly on Nd concentration. Amorphous (Fe1-xNdx) 81.5B18.5 alloys with higher Nd concentration have a high coercive field at low temperature, due to the large random uniaxial anisotropy of Nd. The room-temperature Hc and (BH)max obtained on optimal annealing con-ditions show two maxima as a function of Nd concentration x. The highest room-temperature coercive field Hc =22 kOe within the Nd concentrations around x=0.368 and the maximum energy product(RH)max= 13.3 MG·Oe at x =0.055 are observed. The hard magnetic properties of these crystallized samples are related to the presence of the bard magnetic Nd2Fe14B phase. 相似文献