利用喷气式Z箍缩等离子装置进行X射线光刻

喷气式Ｚ箍等离子体装置可以产生较强的软Ｘ射线，能量大约在２－６ｋｅＶ之间，利用此装置产生的软Ｘ射线，用ＣＳＭ作光刻胶，进行了Ｘ射线光刻的初步研究，得到了较为的光刻图形，曝光深度估计在１０μｍ左右。     

无碎屑激光等离子体软X射线源的研究及应用前景

分析了常规金属靶激光等离子体源产生固体碎屑的原因及其对软Ｘ射线光学元件的危害，介绍了近年来发展起来的无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源，归纳了无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源的几种形式和特点，并且描述了这种新型光源在软Ｘ射线显微术及光刻术中的应用．     

高重复频率激光等离子体软X光脉冲探测

研制了一种高重复频率小型激光等离子体软Ｘ光脉冲探测装置，给出其设计原理和性能参量，采用光谱学诊断方法研究了光源的软Ｘ射线辐射特性，得到了一些新的实验结果     

软X射线晶体谱仪

描述了用于激光等离子体软Ｘ射线光谱学研究长波晶体谱仪。用具有大晶格常数的晶体，极薄的滤片和对软Ｘ射线灵敏的底片，获得了波长达５．８ｎｍ的激光等离子体软件Ｘ射线光谱。同时还给出了实验测定了谱仪光谱分辨率。     

激光产生等离子体辐射X射线特性研究

本文报导激光等离子体辐射Ｘ射线的测量方法和结果。在“星光”装置上,用１．６μｍ激光辐照Ｎａ／Ｆ和铜靶。用平晶谱仪测量等离子体辐射Ｘ射线绝对强度,并研究了辐射Ｘ射线强度与入射激光功率密度的关系,测量了靶前后辐射强度之比,为光电离机制的Ｘ光激光研究提供了较重要的数据。     

金刚石（Ⅱa）光导X射线探测器

介绍一种新的软Ｘ射线探测器一天然金刚石（Ⅱａ型）光导探测器。金刚石光导探测器具有好的稳定性、对０．１～２．ＯｋｅＶＸ射线光谱具有平坦响应、暗流小（０．１ｎＡ）、对波长大于０；２２ｕｍ散射激光不灵敏等特点。应用这种探测器在“神光”装置打靶实验中测量Ｘ射线时，粗估灵敏度为３×１０￣（－４）Ｃ／Ｊ（偏压为１００Ｖ）．     

合肥同步辐射软X射线显微术研究

合肥国家同步辐射实验室首期建设的光束线之一用于软Ｘ射线显微成像研究。实验站现已装置初型的扫描透射Ｘ射线显微镜，并正在进行亲一代的扫描显微建设，同时还使同步辐射光进行接触软Ｘ射线呈微成像研究，并对选取的一些生物样品进行了成像试验。本文介绍了合肥同步辐射光源上软Ｘ射线显微术实验线站的建设及完成的一些实验结果。     

一种检测超光滑表面粗糙度方法的初步研究

本文依据软Ｘ射线标量散射理论，给出了一种用软Ｘ射线全积分散射检测超光滑表面粗糙度ＲＭＳ值的方法，并设计和建立了测试装置，得到了新的测量结果     

北京同步辐射装置软X射线光学实验站进展

简单介绍了ＢＳＲＦ软Ｘ射光学实验反射率计装置，并给出了近年来本组在软Ｘ射线多层膜方面的研究结果。     

氦气环境中湿样品软X射线显微成像研究

介绍了在国家同步辐射实验室软Ｘ射线显微术实验站上利用氦气进行软Ｘ射线显微成像研究的理论依据、实验装置以及实验结果和意义。     

高计数率软X射线能谱仪诊断高温等离子体

本文给出了在ＨＴ－６Ｍ托卡马克装置上做ＥＣＲＨ实验时，用软Ｘ射线诊断等离子体电子温度的数据及处理结果。还尝试了能够提供每次放电数据的方法。如果在实验中要求温度的时间分布，本方法能够及时提供每次放电的电子温度及其随时间变化的情况。     

一种新型的软X射线二极管

介绍了用于激光等离子体发射的Ｘ射线量测量的一种新型的软Ｘ射线二极管（即ＸＲＤ〕的结构、原理、性能、标定及其应用。该探测器具有体积小、响应快、使用方便等优点，１９９０年和１９９１年已两次成功地用于“神光”装置上激光等离子体发射Ｘ射线测量。     

激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究

描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软Ｘ射线源而进行的接近式软Ｘ射线光刻研究，采用负性辐射线光刻胶聚氯甲基苯乙烯，得到了一些新的实验结果。     

X射线二极管的灵敏度标定和应用

阐述了Ｘ射线二极管铝阴极光电转换量子效率，并在单色亚千Ｘ射线光源装置上对铝阴极的灵敏度进行了绝对标定，最后介绍了采用Ｘ射线二极管探头来测量激光－等离子体相互作用中产生的亚千Ｘ射线能量。     

惯性约束聚变软X射线在线标定系统概念设计

长期以来，惯性约束聚变（ICF）研究软X射线诊断科学仪器设备的元器件标定工作主要依赖同步辐射光源X射线辐射计量站进行。该类装置通常与用于开展ICF研究的大型激光装置分处两地，难以满足ICF研究软X射线元器件实时实地的标定应用需求。另外，由于同步辐射和ICF激光等离子体产生的X射线辐射特性存在较大差异，同步辐射计量站的标定结果事实上也不能完全反映元器件在ICF实验应用中的计量响应特性。本文首先介绍一种基于单光学元件的软X射线紧凑型无谐波光源单色化技术，以此为基础提出研制基于ICF激光等离子体X射线源的同源、同几何位形、双束比较校准的多能量通道光源单色化系统，用于ICF应用软X射线元器件的在线标定。新系统一方面可望满足ICF软X射线元器件实时实地的标定应用需求；另一方面，其提供的标定光束的技术特征将最大可能地接近ICF激光等离子体X射线辐射本身。配备相应的X射线二极管（XRD）和标准探测器之后，该系统将形成一套具有在线自校准功能的新型多通道δ能量响应软X射线能谱仪。     

带前置光学系统的软X射线透射光栅光谱仪

软Ｘ射线检测是激光等离子体诊断中最复杂而又是最重要的一项工作。本文简要介绍了带有前置光学系统的软Ｘ射线大面积透射光栅光谱仪和用它获得的铝和铜靶激光等离子体的光谱图。     

HL—1M装置等离子体软X射线的锯齿和模行为

用高灵敏、高时空分辨的软Ｘ射线诊断系统，诊断ＨＬ－１Ｍ装置中等离子体的锯齿振荡。对观测到的四种主要锯齿作了介绍，对出现最多的有模经典锯齿和有模非经典锯齿作了详细描述和分析。结果表明，后者（主要在低ｑａ放电中出现）具有比前者低的中心ｑ（０）值，在物理机制上与前者不同，属湍流模型范畴。     

等离子体波导中的复合X射线激光

短脉冲强激光和气体靶相互作用可产生等离子体波导。利用自相似模型，得到了等离子体波导中等离子体参数的时空演化。利用自编制的程序，以类Ｈｅ氮为例，研究了在这种等离子体波导中，产生复合机制Ｘ射线激光的过程。研究表明，在等离子体波导中有可能产生复合机制Ｘ射线激光，从而有可能利用等离子波导获得大ＧＬ值的复合机制Ｘ射线激光     

软X射线多层膜的应用及发展

文章主要介绍了近十年来软Ｘ射线多层反射发展现状以扩制备过程中的技术难点，介绍了软Ｘ射线多层膜在软Ｘ射线光学中的的些应用。     

软X射线显微术及其用于生命科学研究概况

介绍了同步辐射软Ｘ射线显微术的基本原理和基本类型，举例说明了软Ｘ射线接触显微术、扫描显微术、全息显微术、相差显微术以及低温显微术在生命科学研究中的应用情况，简要介绍了国家同步辐射实验室软Ｘ射线显微术实验站的工作．