用镍硅氧化物源横向诱导晶化的多晶硅薄膜

采用磁控溅射法,以镍硅合金为靶,制备了一种适用于金属诱导横向晶化的氧化物镍源——自缓释镍源.该镍源在内部构成和晶化现象上都不同于纯金属镍源.采用该镍源制备低温多晶硅材料,晶化速率不明显依赖于镍源薄膜的厚度,且晶化多晶硅膜内的残余镍量亦可有效降低,可为薄膜晶体管提供宽的工艺窗口.本文对用纯金属镍源所得多晶硅薄膜的晶化率、表面粗糙度、电学特性等与溅射条件的关系进行了研究,并对相应结果进行了讨论. 关键词： 自缓释 金属诱导横向晶化 多晶硅薄膜 低温制备与退火     

用镍硅氧化物源横向诱导晶化的多晶硅薄膜

采用磁控溅射法,以镍硅合金为靶,制备了一种适用于金属诱导横向晶化的氧化物镍源——自缓释镍源.该镍源在内部构成和晶化现象上都不同于纯金属镍源.采用该镍源制备低温多晶硅材料,晶化速率不明显依赖于镍源薄膜的厚度,且晶化多晶硅膜内的残余镍量亦可有效降低,可为薄膜晶体管提供宽的工艺窗口.本文对用纯金属镍源所得多晶硅薄膜的晶化率、表面粗糙度、电学特性等与溅射条件的关系进行了研究,并对相应结果进行了讨论.     

INFLUENCE OF BACKBONE RIGIDITY ON THE LIQUID CRYSTALLINITY OF MESOGEN-CONTAINING POLYACETYLENES

Two acetylene polymers containing cyanobiphenyl-based mesogens,poly { 10-[ ((4'- cyano-4-biphenylyl ) oxy ) carbonyl] - 1 -decyne } (PA8CN ), which has a relativelyfiexible polyalkyne backbone, and poly {[4-(((12-((4'-cyano-4-biphenylyl)oxy)dodecyl)oxy)carbonyl) phenyl]-acetylene} (PB12CN), which has a fairly rigid poly (phenylacetylene )backbone, were synthesized using respectively WCl_6 and [Rh(nbd)Cl]_2 as the catalysts.PA8CN exhibits enantiotropic interdigitated smectic A phase (S_(Ad)) over a temperaturerange as wide as ca. 100℃, whereas PB12CN is non-mesomorphic, demonstrating thatthe backbone rigidity plays an important role in determining the liquid crystallinity of thepolyacetylenes.     

高性能双稳态向列相液晶显示器

提出四种可实际应用的非垂直偏振片配置的双稳态扭曲向列相液晶显示模式.这些显示模式大都具有高稳定性,并能提供高对比度和高亮态透过率.有些甚至可达到扭曲向列相液晶显示器的显示效果,实现黑白显示.这些显示模式性能优于已提出的垂直偏振片配置的其他双稳态向列相液晶显示模式. 关键词： 双稳态向列相 液晶显示 参数空间     

单块偏振片反射式向列相液晶显示器的理论设计与实验制造研究

反射式液晶显示器(RLCDs)具有亮度高、无视差等优点,并且结构简单,适合于现行的制造工艺和驱动方式.本文利用我们提出的参数空间法(偏振片角度、扭曲角及双折射率的函数)研究了适用于反射式液晶显示器,这种研究表明所有的反射式液晶显示模式都可以在这个参数空间里得以表述,如扭曲向列型的电控双折射模式(TN-ECB),混合场效应模式(HFE),混合向列型模式(MTN),以及自补偿向列型模式(SCTN).在此基础上我们提出几种新的反射模式,如反射向列型及反射超扭曲向列型(通过搜索参数空间得到),二者均适用于直视型和投影型显示方式.我们已制成反射向列型及反射超扭曲向列型样品,实验结果和理论设计符合一致.     

彩色滤光膜硅覆液晶微显示器的三维光学建模

本文针对彩色滤光膜(color filter, CF)硅覆液晶(liquid crystal on silicon, LCoS)微显示器件(microdisplay)中的微型彩色像素建立了三维光学模型. 这个三维光学建模主要分为三个过程, 即彩色液晶器件的机电特性分析, 利用扩展琼斯矩阵(extended Jones matrix)计算器件的光反射率, 以及采用标准RGB(standard RGB, sRGB)协议将CF-LCoS微显示阵列中各像素点的光反射特性还原成彩色图像. 通过上述过程建立的三维光学模型用于CF-LCoS的光学特性研究并与实验数据进行比较. 比较结果显示, 模拟得到的CF-LCoS微显示器的光学特性与实验结果非常符合.     

金属诱导单一方向横向晶化薄膜晶体管以及栅控型轻掺杂漏极结构的研究

提出了一种低温金属单向诱导横向晶化的多晶硅薄膜晶体管(LT-MIUC poly-Si TFT) 的技术 . 使用该技术可在大面积廉价玻璃衬底上制备出高迁移率、低漏电电流、具有较好均匀性的 多晶硅器件. 在进一步的研究中，设计了一种新型的栅控轻掺杂漏区(GM-LDD)结构，有效地 解决了在较高源漏电压下的栅诱导漏电问题. 使得LT-MIUC poly-Si TFT 更适用于高质量的 有源矩阵显示器. 关键词： 金属单向诱导横向晶化 多晶硅薄膜晶体管 新型栅控轻掺杂漏区结构     

用于液晶电光特性计算的无奇异点2×2矩阵研究

Berreman的矩阵法是研究和计算液晶光学特性的通用方法.为了减少计算量,近年来许多学者致力于简化其方法以提高计算速度,本文根据各向异性介质中光传播的电磁场理论以及光学折反射定律,在保证其准确性的同时,推出了新的矩阵方法.这种2×2矩阵公式表示相当简单.理论研究结果表明,该方法减少了以往的计算量,快速简洁,结果准确.     

垂直向列型彩色滤光膜硅覆液晶微显示器的三维光学建模

针对垂直向列型彩色滤光膜硅覆液晶微显示器件中的微型彩色像素建立了三维光学模型. 首先, 对彩色液晶器件的机电特性进行了分析; 其次, 利用扩展琼斯矩阵计算出器件的光反射率; 最后, 采用标准RGB协议将所研究的垂直向列型彩色滤光膜硅覆液晶微显示器件中各像素点的光反射特性还原成彩色图像. 用上述过程所建立的三维光学模型进行了垂直向列型彩色滤光膜硅覆液晶微显示器件的光学特性研究, 并与实验数据进行了比较. 比较结果显示, 模拟得到的垂直向列型彩色滤光膜硅覆液晶微显示器件的光学特性与实验结果非常符合.     

基于微透镜阵列的DMD芯片投影系统照明优化

分析了照明系统中微透镜阵列的入射光线角度及系统像差对光学利用率的影响,提出了通过修正相关参数来优化照明系统的光学利用率以及照明均匀性的方法。通过改变用于光源聚光的自由曲面透镜的面型来缩小入射角度,从而减小了由于大角度扩散造成的效率损失。并且在微透镜阵列后采用两个球面透镜代替傅里叶透镜作为积分镜片,不仅成本低廉,而且在控制像差方面更为灵活。参数优化后,设计方案的光学利用率可达60.51%,均匀性可达94.24%,验证了理论分析的可行性和有效性。