面向单晶SiC原子级表面制造的等离子体辅助抛光技术

目前Si基半导体由于其自身材料特性的限制,已经越来越难以满足高速发展的现代电力电子技术对半导体器件的性能要求.SiC作为新一代半导体材料具有显著的性能优势,但由于其属于典型的难加工材料,实现SiC晶圆的高质量与高效率加工成为了推动其产业化应用进程的关键.本综述在回顾近年来SiC超精密加工技术研究进展的基础上,重点介绍了一种基于等离子体氧化改性的SiC高效超精密抛光技术,分析了该技术的材料去除机理、典型装置、改性过程及抛光效果.分析结果表明,该技术具有较高的去除效率,能够获得原子级平坦表面,并且不会产生亚表面损伤.同时针对表面改性辅助抛光技术加工SiC表面过程中出现的台阶现象,探讨了该台阶结构的产生机理及调控策略.最后对等离子体辅助抛光技术的发展与挑战进行了展望.     

Temperature-dependent specific heat of suspended platinum nanofilms at 80-380 K

Metallic nanofilms are important components of nanoscale electronic circuits and nanoscale sensors. The accurate characterization of the thermophysical properties of nanofilms is very important for nanoscience and nanotechnology. Currently, there is very little specific heat data for metallic nanofilms, and the existing measurements indicate distinct differences according to the nanofilm size. The present work reports the specific heats of 40-nm-thick suspended platinum nanofilms at 80-380 K and ~5×10^-4 Pa using the 3ω method. Over 80-380 K, the specific heats of the Pt nanofilms range from 166-304 J/(kg·K), which are 1.65-2.60 times the bulk values, indicating significant size effects. These results are useful for both scientific research in nanoscale thermophysics and evaluating the transient thermal response of nanoscale devices.     

带有信息的区间删失数据下AFT模型的参数估计

在生存分析研究中,多数文章假定感兴趣的失效时间和删失时间是独立的,但这一假设在实际情况中未必合理。如果忽略失效时间与删失时间的相依性,可能会导致错误的结论。所以本文考虑在带有信息的K型区间删失数据下,采用基于两步估计的极大似然估计方法对误差项服从标准正态分布的加速失效时间模型(accelerated failure time model,AFT)进行参数估计。同时还进行了数值模拟以验证提出方法的有效性。最后,应用所提出的方法分析艾滋病的临床试验数据。     

曲线公路隧道交通风力非稳态模拟研究

为分析小半径曲线隧道对交通风力的影响,采用移动网格和滑移交界面技术对半径600 m的曲线隧道和直线隧道进行三维非稳态数值计算.结果表明,采用动网格技术进行直线隧道交通风力计算结果与实验吻合;曲线隧道中,隧道断面风速分布表现出极不对称性,外侧风速较大,内侧较小;曲线隧道交通风力较直线隧道明显增大,汽车内车道行驶交通风力大于外车道行驶;曲线隧道中,汽车头部侧面出现了负压峰值,与直线隧道相比,该值较低,车身侧面压力沿纵向逐渐增大,汽车尾部背风面存在较低的负压区.     

模拟回火马尔可夫链蒙特卡罗全波形分析方法

针对传统的全波形分析方法不能快速自动处理全波形数据的缺点,提出了一种模拟回火马尔可夫链蒙特卡罗全波形分析法,用于求解全波形数据中的波峰数和峰值位置等参量.该方法采用Metropolis更新策略求解波峰数量和噪声两个参量,以达到快速求解的目的;而峰值位置和波峰幅值则采用改进的模拟回火策略求解,通过添加的主动干预回火步骤实现对参量更新过程的有效探测,以满足对速度或运算收敛性的要求.模拟回火马尔可夫链蒙特卡罗全波形分析方法以马尔可夫算法为基础,仍保持马氏链的收敛性,从而保证本方法具有良好的鲁棒性,实现对全波形数据的自动化处理.     

四氧化三铁基纳米材料制备及对放射性元素和重金属离子的去除

四氧化三铁(Fe_3O_4)纳米材料因比表面积大、功能基团多、活性强、便于磁性分离等优点,在吸附和分离放射性元素及重金属离子方面显示出了广阔的应用前景。然而,该材料也存在着易团聚、分散性差、化学稳定性差等局限性,这些缺点可通过表面功能化修饰得到大大改善。本文概括了四氧化三铁基纳米复合材料合成方法的特性、优越性和局限性,综述了水体放射性元素及重金属离子污染去除研究中的磁性纳米材料的类型,归纳总结并比较了功能性磁性纳米材料对不同种类的放射性元素及重金属离子的去除能力及优缺点,探讨了四氧化三铁基纳米材料在放射性元素和重金属离子污染去除中的应用并对其机理进行了分析,对功能化磁性纳米材料在去除放射性元素及重金属离子污染水体治理中的应用前景进行了展望。     

六年级“简单机械”的教学

“简单机械”这个课题可以使六年级的学生通过较多的教材来进一步明确功和功率的概念,深切地认识到在物理学中所研究的规律有广泛的应用。     

广义函数論簡介

Ⅰ.函数概念还不夠广泛嗎? 函数概念是高等数学中最重要、最基本的概念之一。在数学分析的第一課里,我們就学过:“如果对于量x的属于集合μ的每一个值,都对应着量y的一个唯一确定的值,我們就說量y是量x的确定在集合μ上的一个函数”。不論是哪一本教科书,都会举出大量的例子来闡述这个概念的广泛性。但是,近代科学技术和数学本身的发展,却使得这个概念逐漸不够用了。我們举几个例子来說明。例1.脉冲(电工学方面的問題)。大約在本世紀之初,工程师Heaviside在解电路方程时,提出了一种运算方法,称之为算子演算(又称作运算微积)。这套     

超临界氦迫流冷却超导装置电流引线的最佳化

对超导装置电流引线的一种新型冷却方式——超临界氦迫流冷却作了研究。发现对于一定的运行电流,存在着一种最佳工况,此时冷却超导装置制冷机的室温功耗最低。对于残余电阻比rrr=89的铜引线和温度T=5.2K,压强p=8×10~5Pa的超临界氦冷介质,最佳工况参数与运行电流间的函数关系已被求得并为实验证实。