氢原子谱线与高质量金刚石薄膜

采用蒙特卡罗方法,对以CH₄/H₂混合气体为源气体的电子助进热丝化学气相沉积(EACVD)中的氢原子发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H₂的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发(包括H_α, H_β, H_γ谱线的激发)、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH₄的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、分解激发(包括H_α, H_β, H_γ谱线的激发)、电离及分解电离等非弹性碰撞过程。研究了不同实验条件下产生的H, CH₃的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法。对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。     

Preliminary design of a laser accelerator beam line

A compact laser plasma accelerator(CLAPA) is being built at Peking University, which is based on an RPA-PSA mechanism or other acceleration mechanisms. The beam produced by this laser accelerator has the characteristics of short duration, high pulse current, large divergence angle, and wide energy spectrum. The beam cannot be produced by a normal ion source and accelerator. The space charge field in the initial is very strong.According to the beam parameters from preparatory experiments and theoretical simulations, a compact beam line is preliminarily designed. The beam line mainly consists of common transport elements to deliver proton beam with the energy of 1–50 MeV, energy spread of 0–±1% and current of 0–108 proton per pulse to satisfy the requirement of different experiments. The simulation result of a 15 MeV proton beam with an energy spread of ±1%, current of 400 m A, and final spot radius of 9 mm is presented in this paper.     

电子助进化学气相沉积金刚石中发射光谱的蒙特卡罗模拟

采用蒙特卡罗方法，对源料气体为CH4/H2混合气的电子助进化学气相沉积（EACVD）中 的氢原子(H)、碳原子(C)以及CH基团的发射过程进行了模拟.研究了CH4浓度、反应室气压 和衬底偏压等工艺参数对发射光谱及成膜的影响.研究发现，CH基团可能是有利于金刚石薄 膜生长的活性基团，而碳原子不是；偏压的升高可提高电子平均温度及衬底表面附近氢原子 的相对浓度；通过氢原子谱线可测定电子平均温度并找到最佳成膜实验条件.该结果对EACVD 生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均温度，有效控制工艺条件，生长出高质量的金刚石 薄膜具有重要的意义. 关键词： 蒙特卡罗模拟 金刚石薄膜 发射光谱     

ON THE OBJECTIVE STRESS RATE IN CO-MOVING COORDINATE SYSTEM

The objective stress rate is a rather important problem in mechanics of finitedeformation.In this paper,the objective stress rate in co-moving coordinate is derived byapplying nonlinear geometric field theory of deformation.Problems.such ax largeextension coupled with rotation,and large shear deformation,are exemplified by using thenew formula.Comparing with Jaumann’s stress rate and other formulae presented incurrent literature,the new result appears to be the reasonable one in co-moving coordinatesystem.     

辉光等离子体辅助化学气相沉积低温合成金刚石薄膜的研究

采用辉光放电等离子体增强化学气相沉积 (GP CVD)技术在低温条件下合成了高品质的亚微米金刚石薄膜 ,并通过对合成过程的实时发射光谱诊断确定了 [CH4 H2 ]系统参与金刚石合成反应的主要荷能粒子。对合成过程的研究表明 :采用这种技术能使电子增强热丝化学气相沉积 (EACVD)合成高品质金刚石薄膜的温度从 85 0℃降至 (340± 5 )℃ ;薄膜低温合成中的主要荷能粒子为CH3 、CH ,CH+ 、H 等 ,其中过饱和原子氢保证了高品质金刚石薄膜的合成 ;根据光诊断和探针测量的结果推断近表面辉光放电可在基片表面形成电偶极层 ,该偶极层是进行超常态反应的必要环境 ,并在低温合成中起重要作用     

独立维修两部件并联系统可靠性的进一步分析

本文考虑了具有独立维修规则的两个不同型部件并联系统的可靠性问题，在一个部件的寿命为指数分布，维修分布为Ｅｒｌａｕｇ分布，另一个部件的寿命和维修分布均为一般连续型分布的条件下，我们得到了并系统的主要可靠性指标。     

SECRAL等离子体韧致辐射谱的测量

The axial emitted bremsstrahlung spectra were measured on SECRAL(Superconducting ECR ion source with Advanced design in Lanzhou)using an HPGe detector.The spectral temperature T_(spe) was obtained from the linear fit of the spectra in the semi-log present.The evolution of T_(spe) with microwave power and magnetic field configuration is investigated in this paper.     

EACVD中的Hα谱线与最佳生长条件

采用蒙特卡罗方法,模拟了CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程。考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程。研究了不同实验条件下产生的H,CH3的数目与Hδ谱线强度的关系,给出了一种通过Hα谱线来推断生长金刚石薄膜的最佳实验条件的方法。     

语音信号调制的微腔半导体激光器的抗噪音性能

假定微腔半导体激光器输入调制信号为实际语音信号,伴随语音信号的噪音为加性白噪音,在小信号近似下,得到了电流调制和自发发射寿命调制下激光器的传递函数;在大信噪比的前提下,对激光器进行了频域分析,得到了不同参量下的信噪比增益.数值模拟结果表明,在偏置电流的变化范围内,存在极低信噪比增益区,大自发发射因子、小自发发射寿命有利于使该区变窄;语音信号的通带范围和功率谱密度分布特征参量的适当选取,可以使激光器的抗噪音性能在偏置电流的某段范围内得以提高.