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辉光等离子体辅助化学气相沉积低温合成金刚石薄膜的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
采用辉光放电等离子体增强化学气相沉积 (GP CVD)技术在低温条件下合成了高品质的亚微米金刚石薄膜 ,并通过对合成过程的实时发射光谱诊断确定了 [CH4 H2 ]系统参与金刚石合成反应的主要荷能粒子。对合成过程的研究表明 :采用这种技术能使电子增强热丝化学气相沉积 (EACVD)合成高品质金刚石薄膜的温度从 85 0℃降至 (340± 5 )℃ ;薄膜低温合成中的主要荷能粒子为CH3 、CH ,CH+ 、H 等 ,其中过饱和原子氢保证了高品质金刚石薄膜的合成 ;根据光诊断和探针测量的结果推断近表面辉光放电可在基片表面形成电偶极层 ,该偶极层是进行超常态反应的必要环境 ,并在低温合成中起重要作用 相似文献
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按照“ 协同共建”理念, 打破学院壁垒, 成立光电类实习基地联盟, 提出了“ 一核双翼三轨道”基地建设
思路, 整合联盟基地的优质资源, 强力打造凸显“ 光电行业” 特色的“ 实习实训平台体系” 和“ 基地双师制教师和制度
保障体系” . 基于“ 教学计划”开展常规实习, 以“ 兴趣导引”进行特色实习. 在实习链全程, 按“ 岗位”进行实习, 导师
对接, 实现“ 职业素养技能-专业动手能力-产品开发实战能力” 的分层联动, 取得了受益学生的宽广度、 实习核心
内容的纵深度和学校、 企业、 学生多方受益的综合实习效果 相似文献
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