193-nm光刻中的光致抗蚀剂

当今世界处于信息时代,电子信息产业日新月异地飞速发展着,计算机的影响已遍及每一个经济领域和人们生活的每一个方面.微电子技术作为新技术革命的主角,已成为衡量一个国家经济实力和科技进步的重要标志^[1,2].微电子技术的不断发展得益于半导体与集成技术的不断提高,光刻技术和光致抗蚀剂是微电子技术中的核心技术和关键材料.     

一种自交联聚合物的合成及其在水显影化学增幅型负性抗蚀剂中的应用

本文引入单体MAGME合成了具有自交联作用的MAGME、苯乙烯和N(4 羟基苯基)马来酰亚胺的共聚物,并以该聚合物为基体树脂,研制了一种新型的水显影化学增幅型负性抗蚀剂,并初步研究了其光刻工艺条件.     

低温高活性氨合成铁锰催化剂

催化剂;催化活性;低温高活性氨合成铁锰催化剂     

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分析了哈工大"行知队"参加<第六届全同周培源大学生力学竞赛>的抛石机,该抛石机的机械能绝大部分都可转换为弹丸的动能,这凸显了动能攻击装置的特色;且该机结构简单,多数构件可直接由市场购得.     

钛-(口底)唑-CTMAB体系及其用于测定钛的探讨

(口底)唑是一种灵敏的显色剂,为此本文对钛-(口底)唑-阳离子表面活性剂的三元体系进行了研究,结果表明:钛、(口底)唑和所研究的几种阳离子表面活性剂均可形成三元胶束络合物,而其中以CTMAB为最佳,其摩尔吸光系数可达1.1×10⁵。所拟定的方法用于测定水中痕量钛,结果较满意。     

原料气中添加CO对CO_2在铜基催化剂上加氢反应的促进作用(英文)

研究了CO2在Cu－Zn－Al催化剂上的加氢合成甲醇反应。发现在原料气中添加少量的CO可提高甲醇的选择性和收率。TPD和TPSR结果表明,CO占据催化剂表面部分活性位并抑制CO2的逆水煤气转换,促进了甲醇的生成。     

启发性提示语在高三数学复习课中的应用——以空间直线、平面的平行为例

高三数学复习的目的是帮助学生梳理知识点、归纳解题方法、完善个人的认知结构.启发性提示语包括认知性提示语、元认知提示语和方法论提示语.课堂教学中启发性提示语的运用可以由远及近、由易到难地引导启发学生思考,让学生学会自主建构知识体系,进行方法梳理,完善个人的认知结构,达到会学的目的,从而提高高三一轮复习的实效.     

基于多带复数小波与最大后验概率估计法的图像去噪方法

提出一种基于多带复数小波与最大后验概率估计方法的图像去噪方法，与二带小波以及相应的去噪方法相比，性能具有明显改善。     

基于言语数据库的汉语音高下倾现象研究

提出了一种通过语句中声调音域低音点和次低音点求出语调短语低音线的方法,并以低音线为基准,考察从大规模言语语料库中随机抽取的汉语自然语句的语调特征。研究结果表明,与已有的汉语句末语调理论不同,汉语同样具有各种语言中普遍存在的音高下倾和重置的语调特征。低音线的下倾和重置可以出现在音步、语调短语和语句等不同的韵律单元中,表现最明显的是在语调短语这一级。实验结果支持汉语语调双线模型中高音线和低音线语言学功能不同的观点。