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本文引入单体MAGME合成了具有自交联作用的MAGME、苯乙烯和N ( 4 羟基苯基 )马来酰亚胺的共聚物 ,并以该聚合物为基体树脂 ,研制了一种新型的水显影化学增幅型负性抗蚀剂 ,并初步研究了其光刻工艺条件 . 相似文献
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当今世界处于信息时代,电子信息产业日新月异地飞速发展着,计算机的影响已遍及每一个经济领域和人们生活的每一个方面.微电子技术作为新技术革命的主角,已成为衡量一个国家经济实力和科技进步的重要标志[1,2].微电子技术的不断发展得益于半导体与集成技术的不断提高,光刻技术和光致抗蚀剂是微电子技术中的核心技术和关键材料. 相似文献
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六甲氧基甲基三聚氰胺（HMMM）－多元醇－丙烯酸酯－酸催化剂的混合体系在较高温度下同时进行缩聚和自由基聚合并表现出协同效应，DSC研究结果表明，丙烯酸酯在HMMM和酸的催化作用下可在较低温度下发生自由基聚合反应，并把反应释放出来的大量的热量有效地传递给缩聚发反应，满足缩聚反应吸热的要求，从而节省固化所需要的能量，为了提高储存稳定性。本文以潜酸催化剂作为酸的来源，对该混杂聚合体系进行了研究，仍有明显的热互补效应。 相似文献
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六甲氧基甲基三聚氰胺-多元醇-丙烯酸酯混杂聚合体系的研究 总被引：3，自引：0，他引：3
六甲氧基甲基三聚氰胺 (HMMM) 多元醇 丙烯酸酯 酸催化剂混杂聚合体系在高温下同时进行缩聚和自由基聚合并表现出协同效应 .体系中的活泼亚甲基在HMMM的催化下被空气氧化成过氧化氢物 ;过氧化氢物在酸催化下分解成自由基进而引发自由基聚合反应 .研究结果表明 ,体系中存在固化加速的协同效应 ;同时体系中还存在热互补效应 ,丙烯酸酯的自由基聚合反应放出的热可以传递给缩聚反应 ,满足缩聚反应吸热的要求 .混杂聚合得到的高分子合金膜具有优良的机械性能和耐溶剂性能 ,这是由于在混杂聚合过程中形成了互穿聚合物网络 (IPN)结构 .使用潜酸催化剂作为酸的来源 ,可以提高体系的储存稳定性 ;交联 引发剂的使用可以拓宽它的使用范围 ;对超枝化聚合物在混杂体系中的应用也进行了初步研究 相似文献
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环氧-丙烯酸酯混杂光固化体系的研究 总被引：9，自引：0，他引：9
研究环氧－丙烯酸酯混杂光固化体系中引发剂的协同作用，证实混杂光固化过程中自由基引发剂对阳离子引发剂二苯基碘Weng盐的增感作用，混杂光固化膜具有优良的机械性能，其抗冲击性能，抗弯曲性能及硬度优于单纯的阳离子体系固化膜，与自由基体系固化膜性能接近。混杂光固化膜的玻璃化转变温度高于自由基体系固化膜；它的耐溶剂性能优异，耐丙酮擦拭次数比自由基固化膜高25倍以上，比阳离子固化膜高3．5倍。这可能是由于混杂光固化过程中形成的IPN结构造成的，动态粘弹谱和扫描电镜的实验结果证实了这一结论。 相似文献
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混杂光固化或双重固化是指在同一体系中采用两种或两种以上不同类型的聚合反应来使体系固化的方法 ,它是原位改性高分子的一种新方法 .混杂光固化体系包括自由基 阳离子混杂光固化体系、自由基 缩聚混杂体系和自由基 自由基混杂体系等 .本文综述了混杂光固化体系的原理及其应用 相似文献
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