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ThedecisiveeffectsofsingularpointsandboundariesbelongingtosolutionprocessesofItostochasticdifferentialequationsonthesituationsofdistributionsofergodiccomponents,theexistenceandtheformsofinvariablemeasures,thesampleproperties(includingsamplestability)… 相似文献
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常温下对低压化学气相沉积制备的纳米硅镶嵌结构的a-SiNx:H薄膜进行低能量高剂量的C+注入后,在800~1200℃高温进行常规退火处理。X射线光电子能谱(XPS)及X射线光电子衍射(XRD)等实验结果表明,当退火温度由800℃升高到1200℃后,薄膜部分结构由SiCxNy转变成SiNx和SiC的混合结构。低温下利用真空紫外光激发,获得分别来自于SiNx、SiCxNy、SiC的,位于2.95,2.58,2.29 eV的光致发光光谱。随着退火温度的升高,薄膜的结构发生了变化,发光光谱也有相应的改变。 相似文献
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Stress-induced leakage current characteristics of PMOS fabricated by a new multi-deposition multi-annealing technique with full gate last process 下载免费PDF全文
In the process of high-k films fabrication, a novel multi deposition multi annealing(MDMA) technique is introduced to replace simple post deposition annealing. The leakage current decreases with the increase of the post deposition annealing(PDA) times. The equivalent oxide thickness(EOT) decreases when the annealing time(s) change from 1 to 2. Furthermore,the characteristics of SILC(stress-induced leakage current) for an ultra-thin SiO_2/HfO_2 gate dielectric stack are studied systematically. The increase of the PDA time(s) from 1 to 2 can decrease the defect and defect generation rate in the HK layer. However, increasing the PDA times to 4 and 7 may introduce too much oxygen, therefore the type of oxygen vacancy changes. 相似文献
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不同于传统的非制冷红外成像技术,提出了基于微电子机械系统(MEMS)的新概念光学读出非制冷红外成像技术。它的光学读出系统基于空间刀口滤波原理,具有高灵敏度、高分辨率和高抗震性等优点,但同时也受到了反光板的弯曲变形、粗糙度等复杂因素的影响。在大量实验数据的基础上,利用夫琅禾费近场衍射理论,建立了复杂因素下光学灵敏度的理论分析模型,详细分析了刀口滤波位置、反光板的长度、曲率半径、粗糙度、LED光源的强度以及扩展宽度等对光学灵敏度的影响,并提出了通过极限操作使系统的光学灵敏度最大化的光学优化方法。 相似文献
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ANON-INCREMENTALTIME-SPACEALGORITHMFORNUMERICALSIMULATIONOFFORMINGPROCESSLiuBaosheng(柳葆生)ChenDapeng(陈大鹏)LiuYu(刘渝)(ReceivedApr... 相似文献
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光学读出式红外成像技术是近年来研究的热点,本文讨论了镜面弯曲对光学检测灵敏度的影响。由双材料微悬臂梁组成的非致冷焦平面阵列通过体刻蚀工艺加工而成,由于残余应力的影响,制成的焦平面阵列将会发生弯曲,应力导致的镜面弯曲将会降低光学探测灵敏度。本文通过傅立叶光学模拟了镜面弯曲对光学探测灵敏度的影响,并通过实验验证了该模型。实验和模拟结果表明,在镜面曲率为0.1mm-1时,光学探测灵敏度将会降低到理想情况的40%。最后我们用这个模型评价了通过表面修饰来提高光学性能的效果。 相似文献
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A COMPARATIVE STUDY OF THE OPENING AND CLOSING PROCESS OF TWO TYPES OF MECHANICAL HEART VALVES USING ALE FINITE ELEMENT METHOD 总被引:1,自引:0,他引:1
ACOMPARATIVESTUDYOFTHEOPENINGANDCLOSINGPROCESSOFTWOTYPESOFMECHANICALHEARTVALVESUSINGALEFINITEELEMENTMETHODACOMPARATIVESTUDYOF... 相似文献