化学增幅抗蚀剂用光产酸源

对化学增幅抗蚀剂体系的组成及化学增幅作用做了阐述。介绍了化学增幅作用中的关键组分——光产酸源和酸增殖剂的发展概况，并对重氮盐、锘盐、有机多卤化物、磺酸酯类化合物等产酸源的产酸机理、适用光源分别进行了阐述。从目前国际发展的趋势来看，硫锘盐和磺酸酯类的光产酸源占据主要地位，有机多卤化物中的三嗪化合物还有少量应用。频哪醇单磺酸酯类化合物作为酸增殖剂使用较为普遍。     

硫鎓盐产酸剂的合成及其产酸效率

合成了6种适用于248 nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻(噁)体系的产酸剂为自行设计合成. 利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250～285 nm之间,吸收域较宽,适用性较强.同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好. 最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低. 对6种硫鎓盐的产酸效率检测结果可以为产酸剂进一步用于248 nm光致抗蚀剂配方提供详细的参考.     

Li_3TaO_4粉体的制备及表征

钽酸锂作为一种具有潜在应用价值的新型固体氚增殖剂,主要有三种化合物:LiTaO3,Li3TaO4和Li7TaO6,Li3TaO4具有较高的锂密度(0.46g/cm3),还具有高熔点(1400℃)、良好的热学稳定性和较高的热导率等特点。本文采用固相反应法制备出高相纯(99%)、小粒径(1.4μma.v)的β-Li3TaO4粉末。并从锂密度、相结构稳定性、热学稳定性和热导率方面讨论了Li3TaO4作为氚增殖剂备选材料的可能性。     

含氟复合模板剂体系对Hβ沸石酸性的影响

 采用XRD,NH3-TPD,FT-IR和MAS NMR等表征技术和甲醇脱水探针反应研究了含氟复合模板剂体系对Hβ沸石酸性的影响. 与单四乙基溴化铵模板剂体系相比,含氟复合模板剂中的氟离子使铝更易于进入β沸石骨架,提高了沸石的总酸量、B酸/L酸比及强酸/弱酸比,使沸石表现出强的B酸酸性.     

双光子技术在光生酸剂中的应用研究

自2000年以来,双光子技术开始应用于光生酸剂体系中,并取得了一定的研究进展。双光子技术在光生酸剂中的应用主要有两种情况:一是单分子体系,即光生酸剂分子本身具有较高的双光子吸收截面,可以在双光子激发下产生光酸;二是双分子体系,由具有较高吸收截面的敏化剂分子和光生酸剂分子组成,通过分子间电子转移的方式产生光酸。本文就这一类具有特殊光学性质的有机分子体系的构成及其应用进行了综述,介绍了不同类型的可以利用双光子技术的光生酸剂体系,总结了双光子技术在光生酸剂发展中面临的一些关键问题,展望了双光子技术在光生酸剂中的发展方向。     

一种新型酞菁类光蚀刻记录材料的光生酸性质研究

通过研究对甲苯磺酸酯空心酞菁的性质,发现该化合物在紫外光照射下可生酸,是一种光生酸剂.由于酞菁类化合物本身具有光催化氧化反应的性能,因此这类光生酸剂在光蚀刻技术中将有很好的应用潜能.     

非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究

以邻苯二甲酸酐、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了非离子型光致产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,对其进行了红外、核磁共振和紫外表征,测定了其化学结构、溶解性和紫外吸收等性能.结果表明,这种非离子型产酸剂较离子型产酸剂在常用溶剂中有非常良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可用于深紫外光刻工艺体系.     

β沸石骨架稳定性与表面酸性的红外光谱研究

用红外光谱法研究了真空热脱附和空气中焙烧两种不同的方法脱除模板剂对Hβ沸石骨架结构稳定性和表面酸性的影响.结果表明,在真空条件下加热脱除模板剂,其骨架结构保持完好且质子酸中心最多.而在空气中焙烧脱除模板剂,导致沸石骨架部分脱铝,形成大量的Lewis酸且耐酸性极差.     

新型硫鎓盐产酸剂的合成及其产酸效率研究

本文合成了六种适用于248nm光致抗蚀剂的产酸剂,其中吩噻口恶 体系的产酸剂由本研究室自主设计合成。六种产酸剂均通过IR,HNMR,UV等进行了结构表征,并利用酸敏染料遇酸异构变色的特点定量检测了六种产酸剂的产酸效率,同时使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,优选出了硫杂蒽酮系列的产酸剂,为进一步用于248nm光致抗蚀剂提供参考。     

1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究

用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯.以溴酚兰作指示剂,用作者自己的方法定量测定了它们在聚乙二醇膜层中的酸解性能.结果表明,在光产酸剂所产酸作用下,在加热条件下这些化合物发生分解并产酸.这两个磺酸酯的储存稳定性不是很好,在极性溶剂作用下易分解,限制了它们在化学增幅型成像材料中的应用.     

离子排斥色谱法同时测定果汁中11种有机酸

 用离子排斥色谱法实现了对果汁中 11种有机酸 (草酸、柠檬酸、酒石酸、苹果酸、抗坏血酸、乳酸、琥珀酸、甲酸、乙酸、戊二酸、富马酸 )的分离测定。以 17mmol/L硫酸为淋洗液 ,样品在ICE ION 30 0离子排斥柱上分离后 ,用紫外检测器在 2 10nm处测定其中的有机酸。各组分质量浓度测定的相对标准偏差在 1.5 %～ 9.8% (n =10 )。     

Determination of tannic acid and its phenolic metabolites in biological fluids by high-performance liquid chromatography.

A method for the identification and determination of tannic acid and its phenolic metabolites in biological fluids by high-performance liquid chromatography was developed. Tannic acid and four phenolic compounds, namely gallic acid, pyrogallol, 4-O-methylgallic acid and ellagic acid, were successfully extracted from the biological fluids by using ethyl acetate at acidic conditions. Gallic acid, pyrogallol and 4-O-methylgallic acid were found in the sheep urine, gallic acid, 4-O-methylgallic acid and ellagic acid in plasma, and gallic acid and ellagic acid in abomasal fluid after abomasal dosing of tannic acid. Tannic acid was found in the plasma apart from the abomasal fluid into which it was administered. The concentrations of tannic acid, gallic acid, pyrogallol, 4-O-methylgallic acid and ellagic acid in plasma, abomasal fluid and urine were measured. This method could be applied to measurement of other hydrolysable tannins and their phenolic metabolites in biological materials.     

芳香胺氰乙基化催化反应的研究进展

从催化剂的应用角度,总结了酸、路易斯酸、固体酸性氧化物、强酸性阳离子交换树脂、无机碱、有机碱以及由酸/路易斯酸、路易斯酸/路易斯酸、路易斯酸/路易斯碱等催化体系在催化芳香胺的氰乙基化反应中的应用进展,阐述了芳香胺的氰乙基化反应的酸催化和碱催化机理,并对芳香胺的氰乙基化反应的今后发展方向进行了展望。     

非抑制型电导检测离子排斥色谱法分析有机酸

本文以对甲苯磺，酸加硼酸作为淋洗液，采用非抑制型电导检测，研究了离子排斥色谱法分离和检测苹果酸，抗坏血酸，乳酸，琥珀酸，甲酸，乙酸，丙酸等有机酸的色谱条件，并进行了实际样品的分析。     

钨酸催化氧化环己烯合成己二酸

以钨酸/有机酸性添加剂为催化体系, 在无有机溶剂、相转移剂的情况下, 催化30%过氧化氢氧化环己烯合成己二酸. 当钨酸∶有机酸性添加剂∶环己烯∶过氧化氢＝1∶1∶40∶176(摩尔比, 钨酸用量为2.5 mmol)时, 使用有机酸性添加剂考察钨酸的催化性能, 结果表明以钨酸/间苯二酚催化氧化环己烯的催化效果最优, 反应8 h时己二酸分离产率达90.9%、纯度为～100%; 而不使用有机酸性添加剂时, 己二酸分离产率只有72.1%, 产品纯度为96.2%. 当使用磺酸水杨酸、草酸、水杨酸为有机酸性添加剂时, 随反应时间的增加, 己二酸分离产率均升高, 但反应6 h以后, 己二酸分离产率随时间的变化不明显. 当磺酸水杨酸用量为2.5 mmol时, 己二酸分离产率和纯度均较高. 钨酸-磺酸水杨酸催化体系重复使用五次后, 己二酸分离产率仍可达到80.5%.     

Use of complexing ligands in the determination of antimony and tin by atomic-absorption spectrometry

The atomic-absorption spectrophotometric determination of antimony is best achieved in the presence of either an ammonium fluoride, hydrochloric acid, nitric acid mixture, or one of the following complexing agents: tartaric acid, citric acid, oxalic acid, 2-mercaptopropanoic acid. The interference of the 29 metals tested is least in the ammonium fluoride-hydrochloric acid-nitric acid mixture and is similar in tartaric acid, citric acid and 2-mercaptopropanoic acid media. However, the interference is pronounced in oxalic acid. Tin can be determined if any of the complexing agents or 6M hydrochloric acid is present.     

三乙醇胺交联聚硅氧烷树脂对羧酸吸附性能研究

本文研究了甲酸、乙酸、丙酸和戊酸在三乙醇胺交联聚硅氧烷树脂上的吸附行为。通过其吸附速度、吸附等温线的研究,得出甲酸和乙酸在该树脂上以单分子吸附为主,丙酸和戊酸以多分子吸附为主,而且吸附的强弱与羧酸的解离有关,解离越强吸附越弱,反之,吸附越强。     

Electrolysis of Nitric Acid by Using a Glassy Carbon Fiber Column Electrode System

The electrochemical redox behavior of nitric acid was studied using a glassy carbon fiber column electrode system, and its reaction mechanism was suggested and confirmed in several ways. Electrochemical reactions in less than 2.0M nitric acid was not observed. However, in more than 2.0M nitric acid, the reduction of nitric acid to nitrous acid occurred and the reduction rate was slow so that the nitric acid solution had to be in contact with an electrode for a period of time long enough for an apparent reduction current of nitric acid to nitrous acid to be observed. The nitrous acid generated in more than 2.0M nitric acid was rapidly and easily reduced to nitric oxide by an autocatalytic reaction. Sulfamic acid was confirmed to be effective to destroy the nitrous acid. At least 0.05M sulfamic acid was necessary to scavenge the nitrous acid generated in 3.5M nitric acid.     

Darstellung einiger perfluorbenzol-di-, tri- und tetrasulfonsäuren

1,2,3,4-Tetrafluorbenzenesulfonic acid, 1,2,4,5-tetrafluorobenzenesulfonic acid, 1,2,3,5-tetrafluorobenzenedisulfonic acid, 1,3,5-trifluorobenzene-2,4-disulfonic acid and 1,3,5-trifluorobenzenetrisulfonic acid are obtained by sulfonation of the three isomeric tetrafluorobenzenes, and of 1,3,5-trifluorobenzene, with stabilized SO₃ at normal pressure. Starting from dilithium 1,2,3,4-tetrafluorobenzenedisulphinate 1,2,3,4-tetrafluorobenzenedisulfonic acid can be prepared via oxidation with hydrogen peroxide. Fluorine displacement reactions lead to 1-thiol-2,3,5-trifluorobenzenedisulfonic acid, 1-thiol-2,3,6-trifluorobenzenedisulfonic acid, 1-thiol-2,4,5-trifluorobenzenedisulfonic acid, 1-thiol-2,5-difluorobenzenetrisulfonic acid and 1-thiol-3,5-difluorobenzenetrisulfonic acid, which can be converted into 1,2,4-trifluorobenzenetrisulfonic acid, 1,3-difluorobenzenetetrasulfonic acid and 1,4-difluorobenzenetetrasulfonic acid by oxidation procedures. N.m.r. parameters of the new compounds are described.     

石榴籽中脂肪酸成分分析

采用两种方法对石榴籽中的脂肪酸进行了甲酯化,所得脂肪酸甲酯经GC-MS分析.方法一共检测出14种脂肪酸,主成分为油酸、亚油酸、山嵛酸、棕榈酸、硬脂酸和二十碳烯酸;方法二共检测出24种脂肪酸,主成分为棕榈酸、硬脂酸、花生酸、山嵛酸、油酸、亚油酸、二十碳烯酸等.其中的山嵛酸等多种饱和脂肪酸均为首次从石榴籽中鉴定出.