一种亚纳米级变栅距衍射光栅制作方法的研究

变栅距(VLS)衍射光栅具有自聚焦、像差校正等独特优点。VLS光栅要求的最小栅距变化量为亚纳米数量级,仅靠提高光栅刻划机的分度精度已很难实现,针对这一问题,提出了一种相位扫描方法用于光栅刻划机的变栅距分度控制,即通过对刻划机分度系统的干涉条纹进行微位移扫描来进行相位控制。实验结果表明,相位扫描方法达到了变栅距光栅所要求的亚纳米级的栅距变化精度。     

一种简易可行的长形零件刻划冷蜡涂覆法

<正> 我们在采用镀铬后的刻划腐蚀工艺刻制1m 计量光栅过程中,冷蜡的涂覆是遇到的许多难题之一。该工艺要求在光栅玻璃尺的(1000mm×20mm)刻划区域内蜡层清洁、厚度薄而且均匀。由于我厂没有专门的涂覆设备,而利用传统的离心法,此法多用于圆形零件和较小的长形零件的涂覆)和浸渍法以     

全息离子束刻蚀衍射光栅

全息离子束刻蚀衍射光栅集中了机械刻划光栅的高效率和全息光栅的无鬼线、低杂散光、高信噪比的优点．全息离子束刻蚀已作为常规工艺手段应用于真空紫外及软x射线衍射光栅的制作．文章对全息离子束刻蚀衍射光栅的制作方法、主要类型、研究现状和应用进行了综述．     

基于扫描电子显微镜的碳纳米管拾取操作方法研究

碳纳米管场效应管是未来纳米器件的发展方向,而制造纳米器件的前提是拾取碳纳米管,基于扫描电子显微镜(SEM)的微纳机器人操作系统能够实现碳纳米管拾取操作.本文建立拾取操作中碳纳米管与原子力显微镜(AFM)探针间范德瓦耳斯力力学模型,不同接触状态下范德瓦耳斯力越大越有利于拾取碳纳米管.在SEM视觉反馈图像中建立相对坐标系,首先提出倾角变值方法检测碳纳米管与AFM探针的接触状态,然后运用动态差值方法识别碳纳米管与AFM探针空间位姿并校正碳纳米管位姿,最后自下而上拾取碳纳米管.实验结果表明:拟合直线倾角变值较大时碳纳米管与AFM探针发生接触,动态差值变化为零时碳纳米管与AFM探针为空间线接触,在完全线接触模型下选择合适的接触角度、接触长度和拾取速度能够成功拾取碳纳米管.     

全息光栅与制作工艺的探索

本文对全息光栅与刻划光栅的各种特性进行了对比，并介绍了Ⅲ型和Ⅳ型全息凹面光栅的特点及制作工艺。     

物理光学 光的干涉与衍射

O436.12006053871机械刻划长焦距凹面金属光栅的研制=Manufacturing forruling concave metal grating with a long focal length[刊,中]/巴音贺希格(中科院长春光机所.吉林,长春(130033)),高键翔…//光学精密工程.—2006,14(3).—391-395对大曲率半径(即长焦距)金属基底凹面光栅的机械刻划技术做了研究。为了刻制长焦距凹面光栅,设计和研制了弹性顶针式光栅刻划刀刀架,它具有适用于刻划平面光栅和长焦距凹面光栅的双重功能。给出了描述光栅刻划刀圆弧形刀刃曲率半径与凹面光栅曲率半径、光栅口径、金刚石刀头横向尺寸之间关系的数学表达式…     

探针诱导表面等离子体共振纳米光刻系统

提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统.此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以及光刻效果.系统采用改进的Kretschmann型共振耦合器件,在棱镜和样品基板之间注入匹配折射率油,使样品更方便更换;利用声光调制器与AFM配合实现了等离子体激发光照射时间的精确控制.通过初步实验,在银(Ag)膜表面获得了直径100 nm左右的光刻点,验证了PSPRN的可行性.研究了光照时间、激光功率、激光入射角、材料厚度等因素对光刻点大小、深度的影响,为实现更小的光刻点提供了参考.     

基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法

作为对光栅刻划工艺的理论指导，提出了一种基于槽形函数拟合的机械刻划光栅衍射特性分析方法，解决了高刻线密度光栅衍射效率测量值与理论值偏差较大的问题.以刻线密度为1200l/mm的紫外光栅为例，对光栅主截面上的实际槽形纵横坐标扫描取值，进而拟合出槽形函数，经理论计算找到了导致衍射效率偏低的原因，并通过改进工艺，使光栅衍射效率提高了约20%. 关键词： 刻划光栅 槽形函数拟合 衍射特性 分析方法     

基于光栅应变传感器的纳米测量机探针设计

为了提高纳米坐标测量机探针的测量精度,且能满足对复杂曲面或微结构进行精确测量的要求,提出了一种新颖的基于微探针系统的光纤布拉格光栅(FBG)探针。该探针具有较高灵敏度和可重复性。提出该新型FBG探针,即探针里有一个熔融的球形顶端,FBG作为应变传感器内置在测杆上。介绍了光纤探针的基本原理,并利用有限元软件ANSYS 11对探针的应变分布在轴向和横向载荷两种典型配置分别进行了仿真分析,结果表明仿真分析和理论计算相吻合。通过实验对光纤探针的灵敏度和分辨率分别进行测试。实验结果表明,在轴向载荷条件下,用位移分辨率为1.5 nm的压电换能器对探针进行性能测试,得到光纤探针的测量分辨率为60 nm。即光纤探针具有较高的灵敏度和分辨率,其性能满足实际测量需要。     

光栅光阀光学特性分析及其在热敏CTP中的应用

光栅光阀(GLV)是一种衍射MOEMS空间光调制器,利用其对激光束的调制作用,可成功地应用于计算机直接制版(CTP)系统中。提出了简化的光栅光阀光学模型,并根据夫琅和费单缝衍射理论和多光束干涉理论对光栅光阀的光学特性进行了理论分析。介绍了光栅光阀在热敏CTP系统中的应用,分析了光栅光阀光学记录设备的结构和成像原理。得出了基于GLV技术的热敏CTP数字成像过程,为国内印刷企业使用这种热敏成像技术提供了理论依据。     

数字纳米云纹法的实验研究

提出了一种新的测量物质纳米级变形的云纹方法———数字纳米云纹法,在测量过程中,借助于各种电镜,采用具有周期结构的晶体物质的晶格或一些过渡金属、贵金属材料规则的表面原子重构作为试件栅。该试件栅的节距可达到亚纳米的量级,使得该方法可以在纳观范围内测量物体的面内位移,应变。参考栅采用计算机绘制的正弦型数字栅。详细地论述了该数字栅的制作方法,数字纳米云纹条纹的形成机理,及位移、应变的测量方法,云纹条纹的相移方法和倍增方法。     

Direct formation of a surface-relief grating on glass by ultraviolet visible laser irradiation

Surface-relief gratings were directly fabricated onto a glass surface by UV-visible laser irradiation. The glass surface was pretreated by molten salt, including Ag ions. Periodic intensity modulation of the laser light was conducted with a phase mask or by an interference technique. A pattern generated by intensity modulation was precisely transcribed onto the glass surface and a surface-relief grating was formed. The period and depth of the grating were 0.5 to 10 microm and less than 0.8 microm, respectively. The cross-sectional profile of the grating was sinusoidal or triangular, with very smooth surface morphology.     

Digital moiré fringe measurement method for alignment in imprint lithography

Accurate layer-to-layer alignment, which is of prime importance for the fabrication of multilayer nanostructures in integrated circuits, is one of the main obstacles for imprint lithography. Current alignment measurement techniques commonly involve an image detection process for coarse alignment followed by a grating interference process for fine alignment. Though this kind of two-level alignment system is reasonable for measurement, when it is used in real imprint lithography, it is inconvenient because of the existence of a complex loading system that needs space for alignment. In this study, we propose a fine alignment method using only image detection using grating images and digital moiré fringe technology. In this method, though the gratings are also selected as alignment marks for accurate measurement, they do not interfere with the physics. The grating images captured from the template and wafer are used to measure angular displacement and to form parallel digital moiré fringes. The relative linear displacement between the template and wafer is determined by detecting the spatial phase of parallel digital moiré fringes. Owing to the magnification effect of digital moiré fringes, this method is capable of generating accurate measurements. According to the experimental results, this digital moiré fringe technique is accurate to less than 10 nm. In addition, without a complex grating interference system, this method has the advantage of being easy to operate.     

相位锁定循环投影技术及其应用

由一组规则栅线投影到物体表面的变形光栅,采用相位锁定循环解调算法解调出含有物体表面高度信息的相位.该技术的最大优势是不需传统的相位去包裹.利用该算法对二维栅线图扫描确定的相位.本文给出了一个典型试件的实验结果和分析.     

数字三色条纹相移形貌投影栅线法

基于投影栅线的三色条纹相移算法与投影栅线法相结合,提出一种数字三色条纹相移形貌投影栅线法.此法是对时间相移法的改进,只需一幅三色条纹图,就可利用简单的三光强相移算法完成物体表面的形貌重建;不需要相移装置而误差较小,成本较低,简易实用,将有利于推广到动态实时分析.实验证明,此法是正确可行的.     

A Novel Technique for Measuring Defocus with Phase Shift Gratings on a Photomask

A focus monitor reticle having a novel grating structure is proposed. If a grating pattern has a property of being able to generate asymmetry between positive and negative diffraction orders, a defocus of the grating pattern can be translated to an easily measured pattern shift perpendicular to the optical axis. A possible grating for this purpose is composed of three components: opaque line, naked line and #x03C0;/2-phase-shifted groove. In particular, with their width ratio equivalent to 2/1/1, one of the two first-order beams disappears entirely. Consequently, tilted standing waves are formed by two-beam interference between zeroth-order and the other first-order on the image plane. This paper describes a new technique for measuring a defocus with a phase shift grating object. Good agreement between experimental sensitivities and theoretical expectation verifies that the technique achieves high accuracy of several nanometers or better. Applications of the technique show indicative ability in field curvature and astigmatism of the state-of-the-art scanner.     

平面波导阵列布喇格光栅及其光辐照制作方法

本文提出了一种新的平面波导阵列布喇格光栅结构,并给出了在光敏感材料中制作这种波导光栅结构的全息光辐照方法.以LiNbO3:Fe晶体作为光敏感材料,用不同空间频率的双光束干涉条纹辐照后,通过数字全息技术对晶体的光致折射率分布测量和进行的导波衍射测试结果表明,利用这种光辐照方法在光敏感材料中制作平面波导阵列全息布喇格光栅是完全可行的.其显著的导波衍射现象表明,如果在平面波导阵列中制作多重布喇格光栅,有可能使其成为超密集波分复用（UDWDM）系统中波长复用/解复用的核心器件.     

原子力显微扫描云纹法的相移技术研究

提出一种原子力显微镜扫描云纹法的相移新技术 ,运用原子力显微镜的压电扫描头作为相移元件 ,对所得云纹图像可进行 0 - 2 π范围内的四步相移。对该方法的测量原理和实验技术进行了详细的阐述。作为典型实验和应用实例 ,分别对由全息光栅和含热变形的电子封装试件栅形成的云纹进行相移分析。成功的实验结果表明 ,该方法是可行的 ,为微米云纹方法的条纹处理提供了一种新途径。该方法可望在微观变形的云纹法测量中发挥积极作用     

投影栅相位法三维曲面的光学检测技术

利用投影到三维曲面的畸变光栅，采用二维数字图像处理，建立了一种新型的快速、高精度三维曲面无接触光学检测技术，开妈了基于微机上的全套应用软件，并以一个典型的汽车覆盖件为例进行了实验分析。文中还提出一种边界处理技术，用以提高系统的处理精度。     

激光诱导热光栅光谱测温技术研究

报道了激光诱导热光栅光谱测温技术的研究. 通过两束相干交叉的脉冲抽运光, 在NO₂/N₂混合气中诱导出热光栅, 一束满足布拉格散射条件的连续探测光在交叉区域激励出相干的热光栅信号, 经过空间和光谱滤波的信号光由光电倍增管探测, 并由数字示波器显示和存储. 该信号携带了丰富的流场信息, 通过频域分析, 对气体的温度进行了测量, 热光栅光谱技术测量的温度与热电偶温度符合得很好. 同时还利用热光栅光谱技术进行了气体声速的直接测量, 在一定的温度范围内, 测量结果与理论曲线基本一致, 显示了该技术具有较高的测量精度与多参数同时测量的能力. 对影响信号波形的因素进行了分析, 结果表明, 热光栅光谱测温技术在高压强环境下应用具有独特的优势, 是一种应用前景广阔的激光燃烧诊断技术.