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本文设计并制作了一种按Fibonacci数列规则排列的准周期衍射光栅,从理论和实验两方面计算与显示了该光栅的自相似衍射频谱,这对准晶体光学中非周期的频率分析研究有一定的理论和实用价值。 相似文献
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针对目前二元光学元件掩模制作工艺过程的诸多不足,对连续型平面衍射聚光透镜掩模的激光直写制作工艺进行了研究。基于基尔霍夫标量衍射理论,采用光线追迹法设计了连续型平面衍射聚光透镜掩模。采用激光直写技术,利用CLWS 300M/C极坐标激光直写设备、S1830光刻胶和MICROPOSIT 351显影液,进行了刻写实验。实验表明,激光能量、预烘烤温度、显影液浓度以及预曝光对掩模微结构的制作均有影响。最后制作了掩模。与二元光学元件掩模的制作工艺相比,该技术具有工艺简单、制作周期短且易于操作的优点。 相似文献
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针对全息波导显示系统中输入光栅、转折光栅和输出光栅的光栅参量不一致,导致系统设计和光栅制作难度增大的问题.对比正常配置和锥形配置下的光栅方程,可得全息波导显示系统中全息光栅具有相同周期需要满足转向光栅60°锥形配置.由此提出波导侧面装有反射镜的三光栅单波导板显示构型,其中三个光栅周期完全相同,输入光栅和转向光栅条纹走向一致.使用光学设计软件CODE V对该构型进行仿真,验证了该构型的可行性.与传统全息波导显示构型相比,侧面反射镜的光路折叠作用使得该构型系统无效显示面积和耦合效率损失减小;三个光栅周期相同且输入光栅和转向光栅条纹走向一致,可以降低系统设计和全息光栅制作难度.该构型可以用于虚拟现实显示或者头戴式显示. 相似文献
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使用波长351 nm的半导体泵浦全固态脉冲激光器(DPSSL)作为光源,经过位相光栅分束,形成干涉光场,在硅表面直接刻蚀微结构,制作了周期为0.55 µm,槽深可达55 nm的一维微光栅和周期为1.25 µm,刻蚀深度45nm的正交微光栅结构。给出了微光栅形貌结构的扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)的测量结果。正交微光栅的一级衍射效率在1.8%到6.3%之间。该研究是改变硅表面微结构,优化硅材料特性的一种新方法,并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用。 相似文献
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文章概述了晶体X射线衍射理论的发展过程,介绍了不同形式的衍射几何理论、劳厄方程、布拉格方程与埃瓦尔德作图法,讨论了它们之间的异同之处.文章还介绍了运动学衍射理论和不同形式的动力学衍射理论,后者包括达尔文的简化处理、埃瓦尔德的表述和劳厄的表述,并对其物理后果进行了讨论,强调了动力学理论所预言的电磁波在周期结构中传播所引起的能隙. 相似文献
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提拉法生长掺有溶质的LiNbO3晶体时,有意识地引入周期性生长层,制备了折射率沿生长方向周期变化的LiNbO3晶体。测量和研究了晶体的双折射率和布喇格衍射。实验结果证实晶体中折射率变化周期与生长层周期相一致。 相似文献
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衍射光学元件的制作和应用 总被引:4,自引:0,他引:4
衍射光学是基于光的衍射原理,利用计算机设计衍射图,并通过微电子加工技术直接在光学材料上制作表面浮雕的元件,从而能够灵活地控制波前位相和光线偏折,衍射光学在是模拟全息,计算全息图和相息图的基础上发展起来的新型光学分支,随着微电子加工工艺的革新和高性能计算机的出现,衍射光学引起广泛的关注和兴趣,其技术业已应用到各个领域之中,将着重介绍衍射光学元件的制作和复制方法以及具体的应用。 相似文献
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激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍了利用激光直接光刻制作8相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法,并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析,透镜列阵在小形Shack-Hartmann波前传感器中得到了应用。 相似文献
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衍射光学元件的反应离子束蚀刻研究 总被引:3,自引:1,他引:2
本文提出了一种制作衍射光学元件的新方法——-反应离子束蚀刻法.对此技术研究的结果表明:反应离子束蚀刻法具有高蚀刻速率、蚀刻过程各向异性好、蚀刻参数控制灵活等特点,对于衍射光学元件和微光学元件的精细结构制作十分有利.本文详细总结了反应离子束蚀刻过程中各工艺参数对蚀刻速率的影响,并在红外材料上制作了Dammann分束光栅. 相似文献
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单个衍射光栅周期所包含的Bragg周期层数是连续Bragg齿型凹面衍射光栅的主要参数之一,该参数可改变光栅齿结构,对凹面衍射光栅的分辨力.自由光谱范围及衍射效率有重要影响.本文通过理论分析与仿真模拟,对比了4种不同层数的Bragg型凹面衍射光栅的特性参数.研究结果表明:在衍射光栅尺寸不变的情况下,改变单个光栅周期包含的Bragg周期层数不会显著提高器件主衍射级次的分辨力;单个光栅周期包含的Bragg周期层数与光栅可衍射的级次数成正相关.单周期层数的Bragg凹面衍射光栅的主衍射级次效率最高,其可衍射的级次数最少,且其他衍射级次分散的能量最少;增加单个光栅周期所包含的Bragg周期层数会降低主衍射级次的自由光谱范围.该研究对于设计低插损、高分辨率、宽工作波段的波分复用器或光栅光谱仪具有重要的指导意义. 相似文献