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相似文献
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1.
华金龙  吴翔 《光学学报》1993,13(12):139-1143
本文设计并制作了一种按Fibonacci数列规则排列的准周期衍射光栅,从理论和实验两方面计算与显示了该光栅的自相似衍射频谱,这对准晶体光学中非周期的频率分析研究有一定的理论和实用价值。  相似文献   

2.
用于ICF驱动器的取样光栅的矢量分析与计算   总被引:10,自引:3,他引:7  
 在ICF的终端光学聚焦系统中,采用取样光栅(BSG)将透射的三倍频光按一定比例送入能量计中进行能量诊断。本文采用精确耦合波矢量分析方法分析了衍射效率与光栅周期、刻槽深度、占空比等的关系,为光栅的实际制作提供了一些有意义的结果。  相似文献   

3.
连续型平面衍射聚光透镜掩模的制作   总被引:1,自引:1,他引:0       下载免费PDF全文
针对目前二元光学元件掩模制作工艺过程的诸多不足,对连续型平面衍射聚光透镜掩模的激光直写制作工艺进行了研究。基于基尔霍夫标量衍射理论,采用光线追迹法设计了连续型平面衍射聚光透镜掩模。采用激光直写技术,利用CLWS 300M/C极坐标激光直写设备、S1830光刻胶和MICROPOSIT 351显影液,进行了刻写实验。实验表明,激光能量、预烘烤温度、显影液浓度以及预曝光对掩模微结构的制作均有影响。最后制作了掩模。与二元光学元件掩模的制作工艺相比,该技术具有工艺简单、制作周期短且易于操作的优点。  相似文献   

4.
薄膜结构分析中的低角X射线衍射方法   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
邵建达  范正修 《物理学报》1994,43(6):958-965
利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角X射线衍射谱中出现的一系列现象,导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式,对多层膜的低角射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释,并对低角X射线衍射测量单层膜厚度进行了分析,给出了精确的测厚公式。  相似文献   

5.
针对全息波导显示系统中输入光栅、转折光栅和输出光栅的光栅参量不一致,导致系统设计和光栅制作难度增大的问题.对比正常配置和锥形配置下的光栅方程,可得全息波导显示系统中全息光栅具有相同周期需要满足转向光栅60°锥形配置.由此提出波导侧面装有反射镜的三光栅单波导板显示构型,其中三个光栅周期完全相同,输入光栅和转向光栅条纹走向一致.使用光学设计软件CODE V对该构型进行仿真,验证了该构型的可行性.与传统全息波导显示构型相比,侧面反射镜的光路折叠作用使得该构型系统无效显示面积和耦合效率损失减小;三个光栅周期相同且输入光栅和转向光栅条纹走向一致,可以降低系统设计和全息光栅制作难度.该构型可以用于虚拟现实显示或者头戴式显示.  相似文献   

6.
薛冬  周军  楼祺洪  刘善同 《光子学报》2014,38(10):2463-2467
使用波长351 nm的半导体泵浦全固态脉冲激光器(DPSSL)作为光源,经过位相光栅分束,形成干涉光场,在硅表面直接刻蚀微结构,制作了周期为0.55 µm,槽深可达55 nm的一维微光栅和周期为1.25 µm,刻蚀深度45nm的正交微光栅结构。给出了微光栅形貌结构的扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)的测量结果。正交微光栅的一级衍射效率在1.8%到6.3%之间。该研究是改变硅表面微结构,优化硅材料特性的一种新方法,并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用。  相似文献   

7.
多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构   总被引:1,自引:0,他引:1  
使用波长351 nm的半导体泵浦全固态脉冲激光器作为光源,经过位相光栅分束,形成干涉光场,在硅表面直接刻蚀微结构,制作了周期为0.55 μm,槽深可达55 nm的一维微光栅和周期为1.25 μm,刻蚀深度45 nm的正交微光栅结构.给出了微光栅形貌结构的扫描电子显微镜和原子力显微镜的测量结果.正交微光栅的一级衍射效率在1.8%~6.3%之间.该研究是改变硅表面微结构,优化硅材料特性的一种新方法,并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用.  相似文献   

8.
衍射微透镜列阵的研究与应用   总被引:2,自引:1,他引:1  
本文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法,在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵,衍射效率均大于85%,在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。  相似文献   

9.
冯端  冯少彤 《物理》2003,32(7):434-440
文章概述了晶体X射线衍射理论的发展过程,介绍了不同形式的衍射几何理论、劳厄方程、布拉格方程与埃瓦尔德作图法,讨论了它们之间的异同之处.文章还介绍了运动学衍射理论和不同形式的动力学衍射理论,后者包括达尔文的简化处理、埃瓦尔德的表述和劳厄的表述,并对其物理后果进行了讨论,强调了动力学理论所预言的电磁波在周期结构中传播所引起的能隙.  相似文献   

10.
以光栅衍射理论为基础,从理论上分析研究了微结构晶体衍射效率与占空比和折射率的关系.采用波长为532nm,最大功率为80mW 的连续激光为光源,分别对周期极化掺镁铌酸锂微结构晶体和周期极化同成分铌酸锂微结构晶体的占空比及极化反转引起的折射率变化进行了测试.测试结果表明,掺镁铌酸锂晶体周期极化反转所引起的折射率改变量大于同成分铌酸锂晶体极化反转所引起的折射率变化. 关键词: 光栅衍射 占空比 折射率变化  相似文献   

11.
洪静芬  许自然 《光学学报》1995,15(6):58-761
提拉法生长掺有溶质的LiNbO3晶体时,有意识地引入周期性生长层,制备了折射率沿生长方向周期变化的LiNbO3晶体。测量和研究了晶体的双折射率和布喇格衍射。实验结果证实晶体中折射率变化周期与生长层周期相一致。  相似文献   

12.
提出了一种新颖的用于制作取样光纤光栅的取样振幅版的设计方案,其特点是具有渐变的取样周期和不变的占空比,利用这种振幅版可以简单灵活地制作出反射峰波长间隔不同的取样光栅梳状滤波器,有利于提高取样光栅的制作灵活性并降低成本.对这种方法可能存在的不足也进行了分析.利用制作出的取样光栅,基于全光纤结构实现了具有游标尺式波长调谐机理的可选波长光纤激光器.  相似文献   

13.
衍射光学元件的制作和应用   总被引:4,自引:0,他引:4  
谭新  董碧珍 《物理》1994,23(5):300-306
衍射光学是基于光的衍射原理,利用计算机设计衍射图,并通过微电子加工技术直接在光学材料上制作表面浮雕的元件,从而能够灵活地控制波前位相和光线偏折,衍射光学在是模拟全息,计算全息图和相息图的基础上发展起来的新型光学分支,随着微电子加工工艺的革新和高性能计算机的出现,衍射光学引起广泛的关注和兴趣,其技术业已应用到各个领域之中,将着重介绍衍射光学元件的制作和复制方法以及具体的应用。  相似文献   

14.
黄婉云  范玲 《大学物理》1996,15(10):1-6
对二元光学的产生和发展作了简要的介绍,通过说明二元学光元件的设计和制作过程,建立二元光学的基本概念,阐述了二元光学的主要应用。  相似文献   

15.
多级衍射全息光栅   总被引:2,自引:0,他引:2  
提出用Mach-Zehnder 干涉仪两步记录制作具有多级衍射的全息光栅方法。详细描述这种方法的原理,并提供了光栅样品的傅里叶谱及用这种多级衍射光栅实现图像多重的实验结果。  相似文献   

16.
激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
杜春雷  徐平 《光学学报》1996,16(8):194-1196
介绍了利用激光直接光刻制作8相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法,并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析,透镜列阵在小形Shack-Hartmann波前传感器中得到了应用。  相似文献   

17.
采用激光直写法制作连续衍射光学元件,具有过程简单、周期短、成本低等优点。介绍了极坐标激光直写法制作圆对称连续衍射元件的原理。通过实验,研究了衍射微结构深度与激光功率、曝光位置半径与激光功率的关系。实验结果显示,在相同曝光位置半径条件下,微结构深度与激光功率呈正比;在相同微结构深度条件下,曝光位置半径与激光功率呈正比。分析总结出了极坐标激光直写法制作圆对称连续衍射元件的能量表征方法,并采用该方法成功制作了圆对称连续衍射聚光透镜掩模。  相似文献   

18.
阐述了渐变周期弯曲光栅的原理,对其衍射特性和成像特性进行了分析,结果表明:渐变周期弯曲光栅具有分束和聚焦的双重作用;其对称衍射级起到焦距相等的正透镜和负透镜的作用;它可把不同景深的的物体聚焦成像于空间分离的同一焦面上.  相似文献   

19.
衍射光学元件的反应离子束蚀刻研究   总被引:3,自引:1,他引:2  
杨李茗  虞淑环 《光子学报》1998,27(2):147-151
本文提出了一种制作衍射光学元件的新方法——-反应离子束蚀刻法.对此技术研究的结果表明:反应离子束蚀刻法具有高蚀刻速率、蚀刻过程各向异性好、蚀刻参数控制灵活等特点,对于衍射光学元件和微光学元件的精细结构制作十分有利.本文详细总结了反应离子束蚀刻过程中各工艺参数对蚀刻速率的影响,并在红外材料上制作了Dammann分束光栅.  相似文献   

20.
杜炳政  朱京平  毛玉政  刘宏  王凯  侯洵 《物理学报》2017,66(22):224202-224202
单个衍射光栅周期所包含的Bragg周期层数是连续Bragg齿型凹面衍射光栅的主要参数之一,该参数可改变光栅齿结构,对凹面衍射光栅的分辨力.自由光谱范围及衍射效率有重要影响.本文通过理论分析与仿真模拟,对比了4种不同层数的Bragg型凹面衍射光栅的特性参数.研究结果表明:在衍射光栅尺寸不变的情况下,改变单个光栅周期包含的Bragg周期层数不会显著提高器件主衍射级次的分辨力;单个光栅周期包含的Bragg周期层数与光栅可衍射的级次数成正相关.单周期层数的Bragg凹面衍射光栅的主衍射级次效率最高,其可衍射的级次数最少,且其他衍射级次分散的能量最少;增加单个光栅周期所包含的Bragg周期层数会降低主衍射级次的自由光谱范围.该研究对于设计低插损、高分辨率、宽工作波段的波分复用器或光栅光谱仪具有重要的指导意义.  相似文献   

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