| 激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究 |
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| 引用本文： | 杜春雷,徐平.激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究[J].光学学报,1996,16(8):194-1196. |
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| 作者姓名： | 杜春雷 徐平 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，四川大学信息光学研究所 |
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| 摘 要： | 介绍了利用激光直接光刻制作８相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法，并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析，透镜列阵在小形Ｓｈａｃｋ－Ｈａｒｔｍａｎｎ波前传感器中得到了应用。
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| 关 键 词： | 激光 直接 光刻 微透镜列阵 衍射光学元件 |
| 收稿时间： | 1995/6/7 |
Microlens Array Fabrication by Using Laser Direct Lithography System |
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| Du Chunlei,Lin Dajian,Feng Beru,Sun Guoliang.Microlens Array Fabrication by Using Laser Direct Lithography System[J].Acta Optica Sinica,1996,16(8):194-1196. |
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| Authors: | Du Chunlei Lin Dajian Feng Beru Sun Guoliang |
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| Abstract: | In the paper, the method for fabrication of diffractive microlens array using laser direct lithography system and reactive etching machine is described. The diffractive efficiency and the fabricating errors are analyzed. The microlens array has been used in a minature Shack Hartmann wavefront sensor. |
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| Keywords: | laser direct lithography microlens array diffractive optical element |
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