硅基支撑系统的光刻工艺

为提高硅基支持系统制备中光刻过程的线宽精度,用正交试验分析了前烘、曝光、显影主要步骤中一些主要参数对制备结果的影响,得到了它们的影响程度的规律以及较优的参数组合。在此基础上设计和训练了合适的前向误差反向传播神经网络,对主要工艺参数进行了进一步的分析、预测和优选,并用实验加以验证。最终得到在胶厚约1.55 m时,前烘温度100 ℃,时间90 s; 曝光时间5 s; 显影温度15 ℃,时间90 s时,光刻后图形的线宽偏差最小,达到了0.3 m以下。     

科学级光学CCD暗电流及机械快门时间响应特性测试

暗电流在科学级电荷耦合器件(CCD)长时间曝光测试实验中是主要的噪声之一。实验测试了暗电流信号平均计数随曝光时间的变化关系,并经过计算得出-10℃和-20℃下暗电流分别为2.43ADU/(s.pixel)和0.4854ADU/(s.pixel),同时测试了暗电流随CCD制冷温度的变化特性,结果显示暗电流随温度类似指数函数形式变化。由于CCD机械快门的时间响应特性对科学级光学CCD的短时曝光计数的影响比较大,实验测试了CCD平均计数和曝光时间的关系,得出实验所用的TEK 512pixel×512pixel DB CCD的机械快门在18ms时能够完全打开。     

低陡度光刻胶光栅槽形研究

为控制全息光刻胶光栅槽形,从研究显影时间、显影液温度等对光刻胶特性曲线的影响出发,采用计算机模拟和实验方法,制作出底部占宽比30%左右,陡度65°左右的低陡度光刻胶光栅掩模.研究发现：启动曝光量随显影时间的延长而减小,光刻胶特性曲线线性部分的斜率随着显影时间的增加而增加;显影液温度高的光刻胶启动曝光量大,其特性曲线线性部分的斜率也较大.这决定了制作低陡度光刻胶光栅掩模需要使用非1∶1的干涉曝光,以及必须采用较低温度的显影液进行显影处理.最终选用1∶7的干涉曝光和15℃的显影液.     

高温稳定25 Gbit/s 850 nm垂直腔面发射激光器

通过在N型分布布拉格反射镜(DBR)中采用高热导率AlAs材料,且增加AlAs层所占的厚度比例,在保持DBR反射率基本不变的情况下,大幅度增加了N型DBR的热导率,提高了器件高温工作性能。制作了氧化限制型顶发射VCSEL器件,不同温度条件下的直流测试结果表明:25℃时热反转功率超过8 mW;85℃时热反转电流为11 mA,功率达5 mW,表现出较好的高温工作特性。远场发散角小于17°。0～70℃的温度条件下眼图都较清晰,表明器件满足高温25 Gbit/s工作要求。     

信息光学 全息术与器件

O438．1 2005064243 光致聚合物用于全息光互联光栅的研究=Volume holo- grares based on photopolyFiler for optical interconnecls[刊, 中]/宫爱玲(昆明理工大学应用物理系．云南,昆明 (650051)),李明学…∥激光杂志．-2005,26(3)．-51-52 使用光致聚合物作记录介质,记录用于光互联的全息 光栅。激光曝光后衍射效率可达55％左右,用紫外光均匀 照射后,在100℃下烘烤40 min,衍射效率可达90％左右。 绘制了衍射效率与曝光时间和烘烤时间曲线,制作具有预 期衍射效率的用于全息光互联的光栅。图3参5(严寒)     

楔形模斑转换器的工艺研究

采用步进投影式光刻机的步进原理控制曝光剂量,制备楔形模斑转换器.分析了不同曝光剂量对侧壁形貌的影响以及最佳的刻蚀参数.实验结果表明:最佳曝光时间为20ms/次,回流温度为160℃,时间为1min,当刻蚀气体及比例为SF6∶He=8∶80时,刻蚀后得到满足需求的样品,且制备方式制作周期短,精度高,与电子束灰度曝光方法相比,具有高效率、低成本等优点.     

双套管式光纤Bragg光栅温度传感器的仿真设计与研制

光纤传感器测量温度变化时为消除外加应力应变对温度产生的影响,设计了双套管式光纤Bragg光栅(FBG)温度传感器,双层结构用来隔离外加应力应变。对温度传感器建立平衡态模型,并进行有限元热分析,仿真结果分析表明,当温度从20℃跃变到70℃、70℃跃变到20℃时,温度响应时间分别为t0.9=50±1s、t0.9=60±1s。并与水浴法测温实验结果(t0.9=52s、t0.9=63s,灵敏度为9.8410-3nm/℃,线性度为99.88%)相比较,时间偏差小于3s。     

基于多孔微热沉的大功率LED阵列散热实验及仿真优化设计

对用于大功率LED阵列的多孔微热沉的主动冷却方案展开了实验研究,实验结果表明在输入功率为45 W的情况下,不采用多孔微热沉换热时,LED芯片温度在两分钟时间内就升高到了70℃;在采用多孔微热沉后,在50s系统就到达稳定,而且温度仅为38.3℃,即使功率加大到75 W,温度也仅为42.5℃。对多孔微热沉结构进行数值分析,结果表明,优化后的结构能提高LED散热效果,并极大的改善了基板的温度均匀性,有利于LED寿命和性能的提高。     

烘烤温度对溶胶-凝胶法制备镧掺杂钛酸铋薄膜结构与铁电性质的影响

采用溶胶-凝胶法，在保持薄膜结晶温度和有机物分解温度相同情况下，发现烘烤温度（即溶剂的挥发温度）对镧掺杂钛酸铋薄膜的晶体结构、表面形貌和铁电性质均产生重要影响.在较低烘烤温度下得到的薄膜（117）择优取向明显.但随着烘烤温度增加，薄膜的（117）择优取向逐渐减弱.薄膜的表面晶粒形貌则从棒状逐渐转变为盘状.还测量了薄膜的铁电性质，发现在250℃烘烤温度下得到的薄膜具有最大的剩余极化强度，2Pr为28.4μC/cm2.对实验现象进行了定性解释. 关键词： 溶胶-凝胶法 烘烤温度 铁电薄膜     

MCP吸附气体的质谱分析

本文介绍了真空烘烤MCP的质谱分析的方法与结果,指出了MCP的最佳烘烤温度(320℃),揭示了真空高温烘烤MCP导致增益下降,电阻值上升的原因。     

反相微乳液法制备尺寸可调的高荧光碳量子点(英文)

在反相微乳液体系中,以抗坏血酸作为碳源制备具有高强度荧光的碳量子点。实验中通过调整水和表面活性剂的量比实现对碳量子点尺寸大小的控制,利用十六烷基胺修饰碳量子点。当激发波长为360 nm时,碳量子点的量子产率最高为47%。当水和表面活性剂的量比从20增加到50时,碳量子点的尺寸也随之而增大。     

微波时间反演系统的空间超分辨率机理

时间反演系统中存在亚波长结构是系统展示空间超分辨特性的必要条件. 在近场, 信号是通过占主导地位的库仑场来传输的, 而库仑场的分辨率极限只与散射体的线度和空间分布有关, 因此可以突破微波衍射极限实现空间超分辨.     

酞菁铜非共振反饱和吸收的稳态特性

酞菁铜溶液在波长532nm调Q激光作用下,实验获得反饱和吸收特性.在稳态条件下,用速率方程理论推得分别描述薄样品和厚样品的反饱和吸收特性的两个解析式,理论分析与实验结果一致.     

OPTICAL LIMITING EFFECT IN TWO PHTHALOCYANINES OBSERVED BY PICOSECOND PULSED LASER

Optical limiting (OL) properties of two phthalocyanines were investigated by using picosecond laser pulses at 532nm. The relative ratios k of the absorption cross section of the first singlet excited state to that of the ground state were approximately obtained by the analysis of the experimental results in which the reverse saturable absorption model of the three-energy-level scheme was employed. A significant comparison with fullerene C₆₀ was presented for OL. The OL mechanisms have been analysed in detail.     

Compton Spectrum Due to L-Shell Electrons

Compton spectrum due to L-shell electrons of thorium has been measured by the coincidence technique, using 279 keV incident gamma photons. The influence of L-shell electron momenta on the distribution of the scattered photons has been studied with reference to the Compton profile due to free electrons and compared with the exact and impulse hydrogenic theoretical models. Significant deviations are found between experimental and theoretical Compton spectra.     

Pattern formation in flame spread over thin solid fuels

The fingering char pattern emerging on the surface of thin cellulosic sheets burning against an oxidizing wind is discussed. Employing collocation-based averaging, the assumption of diffusive-thermal equilibrium, the strong temperature dependence of the reaction rate, and the strong disparity between the densities of the solid and gaseous phases, an elementary two-dimensional free-interface model for the flame spread is formulated. It is shown that the pattern-forming dynamics is functionally akin to the well-studied cellular instability occurring in low Lewis number premixed gas flames.     

利用遗传算法的宽带电光相位调制器相位反转电极优化设计

本文提出了一种利用遗传算法对宽带电光调制器相位反转电极进行优化设计以获取平坦的频率响应的方法。这种遗传算法采用了直接基于电极图形的编码、交叉和变异操作。模拟计算表明,该算法对长度为1cm的电极能获得宽达100GHz的平坦的频率响应。     

DDAB修饰纳米氧化锌的合成及XANES研究

用改进的反胶束法合成了半导体纳米级氧化锌,表面由DDAB(双十二烷基二甲基溴化铵)修饰.改进的方法与传统方法的区别是反胶束法中所需要的水是由含水的锌盐直接提供,在有机溶剂中直接形成了微反应池.TEM(透射电子显微镜)照片证实了氧化锌的尺寸为纳米级,其粒径可由锌盐和DDAB的使用量之比来控制.并用基于北京同步辐射的X射线吸收近边结构谱来研究纳米材料的表面结构重组和畸变性质等.     

遗传算法应用于图像恢复的实验设计

结合遗传算法设计了图像恢复实验，分析了图像恢复的数学模型，给出具体的实验步骤和方法。     

标准电池内阻测量的误差分析

将2只型号相同的标准电池进行反接,借助直流复射式灵敏电流计为指示器测量标准电池内阻,并对回路灵敏度不足产生的误差进行了分析,总结出提高测量精度的几点措施.