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1.
以CF4和C6H6的混合气体作为气源,在微波电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)装置中制备了氟化非晶碳薄膜(aC:F),并在N2气氛中作了退火处理以考察其热稳定性.通过傅里叶变换红外吸收谱和紫外可见光谱获得了薄膜中CC双键的相对含量和光学带隙,发现膜中CC键含量与光学带隙之间存在着密切的关联,在高微波功率下沉积的氟化非晶碳膜具有低的光学带隙和较好的热稳定性.
关键词:
氟化非晶碳膜
光学带隙
退火温度
热稳定性 相似文献
2.
3.
5.
采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
6.
7.
红外光谱法研究含CeSt3的LDPE膜紫外光氧降解 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了硬脂酸铈(CeSt_3)、及其在各种浓度、或不同温度、或延长贮放时间下含CeSt_3的低密度聚乙烯(LDPE)膜紫外光氧化降解过程的红外光谱。结果表明,只要在LDPE膜中加入0.1wt+%~0.3wt+%CeSt_3光敏剂,即可控光降解LDPE膜的寿命。 相似文献
8.
柱后切换程序升温气相以谱法测定六氟化硫气体中痕量一氧化十?… 总被引:1,自引:0,他引:1
本共作提供了用柱后切换和程序曙技术测定纯六氟化硫气体中痕量有毒杂质S2F10O含量的气相色谱方法。用炎焰光度检测器检测,进样量为1mL时,S2F10O最小检测浓度为5×10^7(mol/mol)。 相似文献
9.
荧光光度法直接测定高纯氧化钕中的痕量镨和铈 总被引:2,自引:0,他引:2
李义久 《理化检验(化学分册)》1998,34(5):198-199,201
使用P-ELS50荧光光谱仪,在盐酸介质中,用同一激发波长激发,分别测定Pr(Ⅲ)(nm)和Ce(Ⅲ)(356nm)发射峰强度。 相似文献
10.