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以胍基取代的二甲基二氯硅烷与胺基锂反应合成了3种硅基化合物,使用核磁共振、高分辨质谱、元素分析对化合物结构进行了表征,通过热重分析(TGA)研究了化合物的热稳定性、挥发性、蒸汽压等性能。 3种化合物均具有良好的热稳定性及挥发性,无明显热分解过程,固体残留小于1%,接近纯挥发过程,最高蒸汽压在3600~5300 Pa,满足前驱体使用要求。 以二甲基-胍基-甲乙胺基-硅烷为前驱体,采用螺旋波等离子体气相沉积(HWPCVD)工艺制备了硅基薄膜,使用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的化学组成和膜表面结构,XPS分析结果证实该薄膜为Si、N、C组成,实验结果表明,该类胍基硅化合物可作为硅基化学气相沉积(CVD)前驱体材料应用于集成电路制造。 相似文献
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宿州城市土壤重金属污染特征及其健康风险评价 总被引:2,自引:0,他引:2
选取宿州市不同功能区(工业区、商业区、车站附近、居民区以及城市绿地)采集表层土壤样品55个,利用XRF测定出土壤中重金属Cu、Zn、Pb、Cr、Mn、Ni的含量,并借助健康风险评价模型,分别评价了土壤重金属在不同暴露途径下的健康风险。结果表明,Cu、Zn、Pb和Cr的平均含量均超出安徽省土壤背景值,说明宿州城市土壤中已受到不同程度的重金属污染;工业区、商业区和车站附近土壤重金属含量普遍较高,Cu、Zn、Pb与交通运输、工业生产关系密切,Cr主要来源于工业废弃物排放,Ni则受到生活污染和交通污染的双重影响;土壤重金属的非致癌风险指数(HI)和致癌风险指数(Risk)均低于危害水平界限,未形成明显的健康风险。 相似文献
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对安徽泗县农村水塘底泥中7种重金属元素Cr、Mn、Cu、Zn、As、Pb和Fe的含量进行了实验测定及来源分析,并利用潜在生态危害指数法对底泥重金属污染的潜在生态风险进行了评价.结果表明:Mn、Cu、Zn和As的平均含量均超出安徽省土壤背景值,而Cr、Pb和Fe的平均含量则低于背景值;Cr、Fe和Pb主要来源于自然成土因素,As和Mn主要来自板材加工等企业的污染排放以及含As养殖饲料的使用,而Cu和Zn主要来自于交通源;底泥重金属污染属于中等潜在生态危害水平,其中As、Cu的潜在生态风险最高. 相似文献
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