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DMF溶液中导电玻璃上沉积类金刚石薄膜 总被引：2，自引：0，他引：2
液相法制备类金刚石膜设备简单,操作容易,能大面积成膜,越来越受到研究者们的关注．Ｎａｍｂａ［１］以乙醇为介质,在１２００Ｖ电压７０℃以下沉积膜,得到了类金刚石膜;Ｓｕｚｕｋｉ等［２］以水乙二醇溶液为介质制膜,只得到了石墨相的碳膜;以乙醇的水溶液为介质利用电解热沉积膜,得到了玻璃碳和石墨碳,同时阴极钨发生碳化有ＷＣ和Ｗ２Ｃ生成［３］;Ｎｏｖｉｋｏｖ等［４］在乙炔的液氨溶液中沉积膜,Ｒａｍａｎ谱表明他们得到了类金刚石（ＤＬＣ）膜;Ｋｗｉａｔｅｋ等［５］重复了Ｎａｍｂａ的实验,证明沉积膜主要为非晶态… 相似文献
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在对不同有机溶剂分子结构分析的基础上,选取甲醇、DMF(N,N-二甲基甲酰胺)和乙腈溶液为碳源,以脉冲直流电源电解有机溶液的方法在Si片上制得了含氢类金刚石薄膜(DLC薄膜),并研究了退火对薄膜结构的影响.通过X射线光电子能谱(XPS),喇曼(Raman)和红外(IR)光谱对薄膜的结构进行了分析表征.XPS表明薄膜的主要成分为C,喇曼光谱显示所得薄膜为典型DLC薄膜.喇曼和红外光谱还表明,膜中含有大量H并且主要键合于sp3碳处.随着退火的进行薄膜中的H被去除.随温度升高薄膜电阻率的下
关键词：
类金刚石薄膜
退火 相似文献
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