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尊敬的光学科技工作者:为了整体把握中国光学的研究进展、展望光学学科发展方向,为国内外科研人员更好地了解中国光学的总体状况,经国家新闻出版总署批准,《中国光学与应用光学》期刊从2011年起正式更名为《中国光学》。 相似文献
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1979年,中国光学学会成立伊始,在理事长王大珩先生的倡导下,为了促进学术交流,学会决定出版一本全面反映我国光学领域进展的学术期刊——《光学学报》,王大珩先生担任第一任主编。1980年,中科院长春光机所与上海光机所共同承办《光学学报》,并随后开始了筹备编辑委员会、征稿等工作。1980年2月开始收到稿件, 相似文献
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尊敬的光学科技工作者：《中国光学》自2008年创办以来,一直坚持服务科研、服务产业的办刊宗旨,学术质量和编辑质量都有明显的提高,标准化和规范化向国际期刊靠拢,期刊实行网络化管理,点击率和单篇下载量逐日攀升。经中国光学学会常务理事会讨论通过,自2012年起《中国光学》成为中国光学学会会刊,由中科院长春光机所与中国光学学会共同主办,这对提高期刊的学术水平和影响力,打造光学领域精品期刊具有重要意义。 相似文献
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气体靶激光等离子体软X-射线源实验研究 总被引：1，自引：0，他引：1
介绍了一种无碎屑、高亮度、高工作频率的气体靶激光等离子体软X 射线源。其喷气阀门由压电陶瓷驱动 ,工作频率可达到 40 0Hz。与金属靶激光等离子体软X 射线源相比 ,此光源无碎屑。与喷嘴由电磁阀控制的气体靶激光等离子体软X 射线源相比 ,它有较高的工作频率。一工作在模拟模式的通道电子倍增器被用于探测来自光源的软X 射线辐射 ,其输出信号经过一电荷灵敏前置放大器进一步放大变成电压脉冲信号 ,脉冲幅度与输入电荷灵敏前置放大器的电量成正比。实验测得CO2 ,Xe和Kr在 8～ 2 2nm软X 射线投影光刻常用波段的光谱辐射特性。CO2 光谱包括类锂和类铍离子跃迁形成的线谱 ,Xe光谱是多电荷氙离子 4d 5f,4d 4f,4d 6p和 4d 5p跃迁所形成的光谱。Kr气体靶光谱包括类铜离子、类镍离子、类钴离子和类铁离子跃迁形成的线谱和连续谱。 相似文献
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为了提高反射率,软X射线投影光刻中使用的掩膜是制备在多层膜上的反射式掩膜,由于有微缩光学系统,它有相对较大的特征尺寸;同时由于它是制备在镀有多层膜的较结实基片上,使用中有能力避免软X射线照射引起的掩膜热变形,便于实现高精度的光刻复制。在反射式掩膜技术中,需要着重考虑的是掩膜缺陷修复和降低多层膜的损伤。 相似文献
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尊敬的光学科技工作者:为了整体把握中国光学的研究进展、展望光学学科发展方向,为国内外科研人员更好地了解中国光学的总体状况,经国家新闻出版总署批准,《中国光学与应用光学》期刊从2011年起正式更名为《中国光学》。 相似文献