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1.
超光滑表面及其制造技术的发展   总被引:28,自引:0,他引:28  
高宏刚  曹健林  朱镛  陈创天 《物理》2000,29(10):610-614
超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支。通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展,希望给出超光滑表面技术的整体轮廓。在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上,通过典型例证指出了超光滑表面的软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用。回顾了超光滑表面制造技术的发展过程,对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价。最后提出了对超光滑表面制造技术的发趋势的观点。  相似文献   
2.
FP500型超精密锡磨盘平面研抛机的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
高宏刚  陈斌  陈琦 《光学技术》2000,26(6):486-488
为减小在超光滑表面制造中对经验的依赖 ,为提高加工精度及重复精度 ,研制了采用锡磨盘的超精密平面研抛机。该机床集超精密车削与超精密研抛于一体 ,可以进行基于多种基本原理的超光滑研抛实验研究。介绍了超精密平面研抛机总体设计方案 ,主要包括机床的结构及精度设计的指导思想、关键部件的结构与驱动系统的方案选择以及机床的外部环境设计。  相似文献   
3.
浮法抛光超光滑表面加工技术   总被引:3,自引:0,他引:3  
浮法抛光技术首先出现于日本,是加工超光滑表面的先进技术之一。本文详细介绍用浮法抛光加工超光滑表面的机械结构和加工过程,与传统的沥青抛光方法进行了比较,并分析了材料去除机理。最后简单介绍我国研究浮法抛光技术的进展。  相似文献   
4.
叙述了Schwarzschild型正入射软X射线多层膜显微成像系统的设计、制作和成像实验,其工作波长为18.2nm,放大倍数为10.5×,极限分辨率小于0.2μm。采用Mo/Si多层膜,周期和层数分别为9.5nm和41。用激光等离子体光源对20pl/mm和55pl/mm的栅网进行了软X射线显微成像实验,所得结果表明此显微成像系统的分辨率在微米量级。  相似文献   
5.
Rochon起偏分束棱镜的结构设计   总被引:3,自引:1,他引:2  
Rochon棱镜是一种重要的冰洲石起偏分束器。本文通过分析棱镜结构设计中涉及的切割角、偏向角、半视场角和所用胶合剂的折射率等因素,提出了一种设计方法,并形成计算机程序,不仅可以优化结构参数;还可以对棱镜的若干性能作出预测。  相似文献   
6.
X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上的形成布拉格-菲涅耳元件所需的波带片图形,通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上,完成元件的制作,给出布拉格-菲涅耳光学元件测量结果,测量结果表明上述方法适于制作布拉格-菲涅耳元件。  相似文献   
7.
浮法抛光亚纳米级光滑表面   总被引:8,自引:1,他引:7  
高宏刚  曹健林 《光学学报》1995,15(6):24-825
本文是对现阶段进行的超光滑表面浮光抛光研究的简要总结,介绍了浮法抛光原理样机的基本结构,以及实现亚纳米浮法抛光的主要条件,并给出了亚纳米级光滑表面的检测结果。  相似文献   
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