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光敏树脂分子量的多分散性对光刻胶性能有极大影响。聚乙烯醇肉桂酸酯是国内外最早和最广泛用于光刻工艺的光敏树脂,然而过去由于对其分子量的分散性注意不够,所制得之光刻胶不能适应更高要求,特别是大规模集成电路的光刻。但是我们将聚乙烯醇经分级精制,使其分子量分在范围大大缩小,平均聚合度由原来的1750提高到1911,并用热法进行酯化反应,制得聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶,其分辨率、抗蚀性和感光性大大改善,能达到或超过日本 OSR 光刻胶的水平,并有效地防止冻胶,质量优越。因此,它能在大规模集成电路中得到应用。我们认为高聚物的分 相似文献
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本文应用以前一项工作中所得到的超导-正常界面系统格林函数研究了S-N界面的邻近效应.界面两边的超导有序参量随空间变化,变化展布的范围为相平长度量级.此外,有两点值得一提:1)序参量是一和频率有关的复量,且呈现出振荡的行为.2)在界面的近邻可以出现无能隙区域. 相似文献
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本文求出了Eliashberg方程在T=Tc时的解,得到了下面的临界温度级数表示式: 其中α0(μ*),α1(μ*)等系数是μ*的函数.此式表明,Tc不仅依赖于λ,〈ω2〉和μ*,而且依赖于有效声子谱α2F(ω)的各级矩〈ω2n〉.这是区别于前人的Tc公式最重要的一点。这说明像McMillan以及Allen和Dynes的Tc公式不仅是近似的,而主要是他们没有能正确地概括出α2F(ω)对Tc的影响. 相似文献
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本文定出超导临界温度Tc级数公式(1)的前几项系数。对于形式为α2F(ω)=(λω)/2[a1δ(ω-ω1)+(1-a1)δ(ω-ω2)]的双δ型有效声子谱及若干具体材料的谱,将级数公式计算的Tc与Allen-Dynes公式(以下简称A-D公式)及Eliashberg方程的数值解作了比较。计算表明,当级数(1)收敛时,级数公式计算的结果较A-D公式更接近于数值解。此外,本文还给出了一个近似的Tc级数公式,得到了估计该Tc级数收敛半径的方法,并计算了若干材料的收敛半径值。因此,可估计级数公式(1)的适用范围。
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