微型硅晶体传感器残余变形的云纹干涉法测试

硅是微电子学领域最重要的半导体材料,在硅器件的生产过程和实际应用中造成的硅片内部残余应力将极大地影响硅器件的使用性能和使用寿命.本文利用云纹干涉法和载波技术对微型硅晶体传感器的残余变形进行了研究,获得了理想的实验结果.     

Electronic dynamic behavior in inductively coupled plasmas with radio-frequency bias

The inflexion point of electron density and effective electron temperature curves versus radio-frequency （RF） bias voltage is observed in the H mode of inductively coupled plasmas （ICPs）. The electron energy probability function （EEPF） evolves first from a Maxwellian to a Druyvesteyn-like distribution, and then to a Maxwellian distribution again as the RF bias voltage increases. This can be explained by the interaction of two distinct bias-induced mechanisms, that is： bias- induced electron heating and bias-induced ion acceleration loss and the decrease of the effective discharge volume due to the sheath expansion. Furthermore, the trend of electron density is verified by a fluid model combined with a sheath module.     

一种基于模拟惯量偏差的电惯量控制算法

采用电惯量替代机械飞轮模拟车辆摩擦制动过程的能量转化,是制动试验台的发展趋势,电惯量控制算法就成为制动试验台模拟车辆载荷的关键。针对列车制动试验台,基于转矩控制计算方法存在的惯量模拟偏差及波动大的问题,提出了惯量偏差控制算法。该算法将制动能量方程引入平均惯量计算中,将平均惯量及瞬时模拟惯量值与目标值的偏差,直接作为算法输入量,控制电机转矩。通过惯量偏差控制方程,实现了基于不同偏差量的电机转矩控制策略,达到了提高模拟精度、减小惯量波动的目的。将提出的惯量偏差控制算法与转矩控制法进行了比较试验。结果显示,惯量偏差控制法模拟的瞬时惯量,偏差超过5 kg?m2以上的时间占总制动时间的比例,比转矩控制法小60%,惯量模拟误差从10%降到了1%。相对于转矩控制算法,基于惯量偏差的电惯量控制算法,克服了模拟精度易受角减速度计算时滞、摩擦材料性能变化、机械阻力等因素影响的缺陷。     

基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统

利用Nd∶KGW激光器,采用光束扫描宽化技术和掩模微缩成像方法研制了用于微打标及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工系统。系统采用计算机打印的塑料胶片或液晶作掩模,光束扫描面积为(有效掩模面积)30 mm×30 mm。微缩成像系统的缩小倍率分别为8～10倍(f=100 mm透镜)和15～20倍(f=50 mm透镜)。对该系统的加工尺寸和加工精度进行了分析。实验结果表明:系统达到的最小标刻宽度和加工图形精度均为10μm,与分析结果一致。系统的单次加工深度为0.07～0.1μm,最大加工深度为200μm,可满足工业微加工技术的基本要求。     

基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统

利用Nd∶KGW激光器,采用光束扫描宽化技术和掩模微缩成像方法研制了用于微打标及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工系统。系统采用计算机打印的塑料胶片或液晶作掩模,光束扫描面积为（有效掩模面积）30 mm×30 mm。微缩成像系统的缩小倍率分别为8～10倍（f=100 mm透镜）和15～20倍（f=50 mm透镜）。对该系统的加工尺寸和加工精度进行了分析。实验结果表明：系统达到的最小标刻宽度和加工图形精度均为10μm,与分析结果一致。系统的单次加工深度为0.07～0.1μm,最大加工深度为200μm,可满足工业微加工技术的基本要求。     

空芯光子晶体光纤光子带隙的测量与数值模拟

用全矢量平面波法计算三角结构光子晶体光纤的带隙. 用透射法测量了自制的空芯光子晶体光纤的透射谱,得到了它在可见光波段透射强度与波长的关系,并在随后的实验中观测到了传光的模场图.通过理论模拟了实验所用的空芯光子晶体光纤的带隙图,与实验结果具有较好的一致性. 关键词： 空芯光子晶体光纤 光子带隙 全矢量平面波法 透射     

应用蒙特卡罗模拟进行正电子发射断层成像仪散射特性分析

通过使用基于Geant4的蒙特卡罗模拟代码GATE对全身用全3D正电子发射断层成像仪和含有挡板的2D/3D小动物用正电子发射断层成像仪进行建模,系统地分析了3D采集条件下正电子发射断层成像仪的散射分数、散射分布、多次散射、视野外散射四个主要方面和2D采集条件下挡板对散射分数和散射分布的影响.针对全3D散射校正的难点: 多次散射和视野外散射,设计了附加实验,拟合得到了多次散射光子的百分比随体模横截面积变化的关系和不同环的位置受到视野外散射光子的影响;针对2D散射校正,对挡板引入的散射光子进行分离,单独分析, 关键词： 正电子发射断层成像仪（PET） 蒙特卡罗模拟 散射特性 散射校正     

酚氧桥联型双核Eu(Ⅲ)配合物的合成、表征及与DNA作用研究

本文合成了一种新的双核稀土配合物Na4Eu2L2.3NaNO3.12H2O[L=(2,6-bis[bis(carboxylatomethyl)amino]methyl-4-nitrophenolate),以下缩写为NO2-HXTA],并用红外光谱(IR)、元素分析(EA)等手段对其结构进行了表征。用凝胶电泳实验研究了该双核稀土配合物与pBR322 DNA的作用,发现在37℃时与DNA的切割作用不明显;但在50℃,pH7.2时,配合物在较低浓度(50μmol/L)下即可将70%的超螺旋DNA(CCC带)转化为缺刻产物(OC带);此外,用光谱学手段研究了双核稀土配合物与小牛胸腺(CT)DNA的作用,结果表明,配合物的加入使CTDNA的最大吸收峰(λmax=260 nm)增色和蓝移,并且使溴化乙锭EB-DNA复合物体系的荧光强度减弱。     

高阶数值微分的积分方法

本文研究了高阶数值微分问题,利用Groetsch的思想,获得了可以稳定逼近近似已知函数的任意阶导数的积分方法,并在一定条件下,给出了收敛率.给出了二阶、三阶和四阶数值微分问题的数值实验,实验结果表明了方法的有效性.     

2-(2-羟基-3-甲氧基苯基)-C60的合成及在花椰菜花叶病毒启动子DNA传感检测中的应用

通过1,3-偶极[3＋2]环加成反应, 合成了2-(2-羟基-3-甲氧基苯基)-C₆₀吡咯烷衍生物(HMP-C₆₀); 采用红外光谱、 紫外吸收光谱、 元素分析和液相色谱-质谱联用技术对产物的化学结构进行了表征. 基于该衍生物具有功能性的含氮和含氧基团, 通过滴涂法将其修饰在玻碳电极表面上, 并以Zr⁴⁺为桥联试剂将探针DNA通过 5′-PO₄^{3 -}组装到HMP-C₆₀修饰电极表面, 构建了基于HMP-C₆₀修饰电极的电化学DNA传感器. 以[Fe(CN)₆]^3-/4-为电活性探针, 对不同修饰电极进行了电化学表征, 并采用电化学交流阻抗法考察了该传感器对花椰菜花叶病毒(CaMV35S)启动子特征片段的分析性能. 实验结果表明, 在1.0×10^-13 ~ 1.0×10^-9 mol/L浓度范围内, 该电化学传感器电子转移阻抗变化值(ΔR_et)与目标序列浓度对数(lgc_S2)呈现良好的线性关系, 检出限为4.0×10^-14 mol/L (S/N=3). 该传感器能有效识别完全互补序列、 碱基错配序列和非互补序列, 表现出良好的选择性.