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在纳米印章技术中,为克服电子束刻蚀制备50nm以下线条的技术难点,利用等离子增强化学 气相沉积技术制备了a-Si/SiNx多层膜,再利用选择性湿法腐蚀或干法腐蚀在横 截面上制备出浮雕型一维纳米级模板. 多层膜子层之间界面清晰陡峭,可以在纳米量级对子 层厚度进行控制,得到了侧壁在纳米尺度上平滑的模板. 通过控制多层膜子层的生长时间, 制备出线条宽度和槽状宽度均为20nm的等间距模板,品质优于电子束刻蚀技术制备的模板.
关键词:
纳米印章模板
多层膜生长技术 相似文献
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无机化学内容重组及分步教学浅议 总被引:7,自引:0,他引:7
无机化学是化学及相关专业学生进入大学的第一门主干化学基础课程。对学生专业知识的学习,科学素质的培养,创新能力的提高起重要的启蒙作用。然而,传统的无机化学教学内容及教学方法已明显不能满足现代科技水平高速发展对高素质人才的需求。近年来湖南工程学院化工系基础化学教研室的有关教师,在校系及湖南大学国家工科化学基地的支持下,进行了无机化学课程的教学研究与改革,通过对教学内容重组、优化,并以分步式教学方式,打破传统常规无机化学教学方式,以利于帮助学生在大学的初级阶段,即开始建立自我获取知识、更新知识的意识,并初步具备… 相似文献
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5,10,15,20-四(4-甲氧基-3-磺酸苯基)卟啉[T(4-MOP)PS_4]是一种新的水溶性卟啉显色剂.它与铜反应的最适pH=3.2,配合物的最大吸收波长为416.3um,配位比为1:1,摩尔吸光系数为 3.18×10~5 L·mol~(-1)·cm~(-1).显色后用0.10mol/LHC12.0ml酸化..该试剂具有灵剂度高选择性好的特点,无需加任何掩蔽剂可成功地用于头发和大米中痕量铜的测定,所得结果与原子吸收光度法很一致.方法的测定范围是0-3.5ugCu~(2+)/25m1.相关系数r=0.9991. 相似文献
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以围护结构的耗热量指标、传热系数限值和门窗空气渗透耗热量为重点,对严寒地区居住建筑实施节能65%进行了分析,提出围护结构各部分的传热系数限值.对围护结构如何实现节能65%的要求,从围护结构构造和技术角度进行了讨论;并阐述降低门窗部位的空气渗透耗热量是下一步节能的关键. 相似文献
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利用膜不通透的荧光染料钙黄素作为指示剂,比较了烟草脱外壁花粉与完整的未萌发花粉和萌发花粉电激导入的效果.研究了电激过程中的电场强度、脉冲持续时间、电激液的介质成分和浓度对三者的导入率及电激后花粉萌发率的影响.结果表明,从未萌发花粉、萌发花粉到脱外壁花粉,导入率逐渐升高,证实了脱外壁花粉由于摆脱了外壁的阻碍而有利于外源物质的电激导入.但电激后花粉萌发率的变化规律相反.荧光指示剂的应用便于优化选择适宜电激参数,为外源基因的导入实验提供了参考依据. 相似文献
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国粹辉光见算珠,万干数趣满城区。寻常加减精深理,育化群英有坦途。时代文明电子篇,玲珑算子敢争先。心珠谙算如何好?百业繁荣效益妍。咏现代珠算(七律二首)@汤山城 相似文献