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黄征  武莉莉  黎兵  郝霞  贺剑雄  冯良桓  李卫  张静全  蔡亚平 《中国物理 B》2010,19(12):127204-127204
In order to fabricate AlSb polycrystalline thin films without post annealing, this paper studies a technology of magnetron co-sputtering onto intentionally heated substrate. It compares the structural characteristics and electrical properties of AlSb films which are deposited at different substrate temperatures. It finds that the films prepared at a substrate temperature of 450 oC exhibit an enhanced grain growth with an average grain size of 21 nm and the lattice constant is 0.61562 nm that goes well with unstained lattice constant (0.61355 nm). The ln(σdark) ~1/T curves show that the conductivity activation energy is about 0.38 eV when the film is deposited at 450 oC without an annealing. The transmittance and reflectance spectra show that the film deposited at 450 oC has an optical band gap of 1.6 eV. These results indicate that we have prepared AlSb polycrystalline films which do not need a post annealing.  相似文献   
22.
实验采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积了ZnS多晶薄膜,研究了沉积气压、退火温度和衬底温度对ZnS薄膜质量的影响.利用X射线衍射(XRD)分析了薄膜的微结构,并计算了内应力值.通过紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透过谱,计算了Urbach能量和禁带宽度.利用扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌.结果表明: 衬底温度为室温时沉积的ZnS薄膜具有较大的压应力,并且内应力值随着工作气压增大而增大,在300 ℃下进行退火处理后内应力松弛,衬底温度为350 ℃时制备的ZnS薄膜内应力小,透过率高,经300 ℃退火处理后结晶质量有所提高. 关键词: ZnS薄膜 射频磁控溅射 内应力  相似文献   
23.
采用共蒸发法在不同条件下制备了ZnTe和ZnTe∶Cu多晶薄膜,通过XRD和XPS研究了它们的结构和各元素的浓度分布。结果表明,不同衬底温度下沉积的薄膜,结构无明显变化,利用XPS溅射剖析获得了薄膜中各成分浓度随溅射时间变化的分布图,发现不同条件下制备的薄膜,溅射速率不同,各成分随溅射时间的变化也不相同。薄膜中Cu的浓度随溅射时间增加而快速增加,并达到一极大值,然后快速下降。根据Cu浓度的变化研究了ZnTe层对Cu原子的阻挡作用,通过对Cu浓度随时间变化分布图的比较,作者认为,用70 ℃制备ZnTe,而后在常温下制备ZnTe∶Cu的复合膜作为CdTe太阳电池的背接触层,能有效阻挡Cu原子的扩散,提高电池效率。  相似文献   
24.
研究了1.7 MeV的电子辐照对具有Anti-radiation glass/ITO/ZnO/CdS/CdTe/ZnTe/ZnTe:Cu/Ni结构的碲化镉多晶薄膜太阳电池器件性能的影响。抗辐照玻璃的使用,有效防止了普通玻璃受辐照后性能变化对测试结果的影响。利用光、暗I-V,C-V,QE,AS等测试手段,分析了包括开路电压、短路电流、转换效率在内的电池性能。通过对比研究暗电流密度、分析了辐照对电池电流传输特性的影响。辐照后短路电流下降很大,电池效率明显降低。反向饱和电流密度有所增加,表明太阳电池的pn结特性受到损伤,而二极管理想因子几乎不变,说明太阳电池电流的输运机制未发生了变化。量子效率曲线证明是由于太阳电池结区损伤影响了光生载流子的收集。辐照使载流子浓度下降为原来的40.6%。导纳谱研究最终发生辐照会引入Cd~(2+)缺陷能级,其位置为E_1—E_v=(0.58±0.02)eV,俘获截面为1.78×10~(-16)cm~2,表明辐照会影响光生载流子的产生,增加了载流子复合的概率,使得反向暗电流增大,最终导致电池的短路电流衰减。  相似文献   
25.
测量了CdTe太阳电池器件从50kHz至1MHz频率范围的电容-电压特性,计算了吸收层的载流子浓度和空间电荷区的位置,电容-电压特性测试结果出现两个峰,峰特征与测试频率有关,用多结模型进行模拟分析,解释了实验结果.测量了电池从220K至300K的变温暗电流-电压特性,得出电池的反向暗饱和电流密度J0和二级管理想因子A,分析了J0,A随测量温度的变化,并讨论了电池器件的电流特性. 关键词: CdTe太阳电池 电流-电压特性 电容-电压特性  相似文献   
26.
研究了1.7 MeV的电子辐照对具有Anti-radiation glass/ITO/ZnO/CdS/CdTe/ZnTe/ZnTe∶Cu/Ni结构的碲化镉多晶薄膜太阳电池器件性能的影响。 抗辐照玻璃的使用, 有效防止了普通玻璃受辐照后性能变化对测试结果的影响。 利用光、 暗I-V, C-V, QE, AS等测试手段, 分析了包括开路电压、 短路电流、 转换效率在内的电池性能。 通过对比研究暗电流密度、 分析了辐照对电池电流传输特性的影响。 辐照后短路电流下降很大, 电池效率明显降低。 反向饱和电流密度有所增加, 表明太阳电池的pn结特性受到损伤, 而二极管理想因子几乎不变, 说明太阳电池电流的输运机制未发生了变化。 量子效率曲线证明是由于太阳电池结区损伤影响了光生载流子的收集。 辐照使载流子浓度下降为原来的40.6%。 导纳谱研究最终发生辐照会引入Cd2+缺陷能级, 其位置为Et-Ev=(0.58±0.02)eV, 俘获截面为1.78×10-16 cm2, 表明辐照会影响光生载流子的产生, 增加了载流子复合的概率, 使得反向暗电流增大, 最终导致电池的短路电流衰减。  相似文献   
27.
用近空间升华法制备了CdTe多晶薄膜,用硝酸-磷酸(NP)混合液对薄膜表面进行了腐蚀.经SEM观测,腐蚀后的CdTe薄膜晶界变宽,XRD测试发现,经NP腐蚀后,在CdTe薄膜表面生成了一层高电导的富Te层.在腐蚀后的CdTe薄膜上分别制备了Cu,Cu/ZnTe:Cu,ZnTe:Cu,ZnTe/ZnTe:Cu四种背接触层,比较了它们对太阳电池性能的影响.结果表明,用ZnTe/ZnTe:Cu复合层作为背接触层的效果较好,获得了面积为0.5cm2,转换效率为13.38%的CdTe多晶薄膜太 关键词: 硝磷酸腐蚀 背接触层 CdTe太阳电池  相似文献   
28.
采用化学水浴法制备了大面积CdS多晶薄膜,研究了薄膜的形貌、结构和光学性质,结果表明,大面积CdS多晶薄膜具有良好的均匀性,通过优化CdS多晶薄膜,制成了不同CdS窗口层厚度的CdTe小面积太阳电池,减薄CdS薄膜可有效提高器件的短路电流,改善器件性能.随后,在面积30cm×40cm的衬底上制备了全面积为993.6cm2的CdTe太阳电池组件,其27个集成单元的电学性质较为均匀,太阳电池组件的光电转换效率8.13%. 关键词: 化学水浴法(CBD) CdS薄膜 CdTe太阳电池 CdTe太阳电池组件  相似文献   
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图谱分析退火对CdTe多晶薄膜性能影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
对近空间蒸发系统制备的同一CdTe薄膜进行分割并在不同条件下进行退火,通过XRD、SEM、电导温度关系以及XPS等研究退火后薄膜结构,各元素含量分布以及价态变化。结果表明:刚沉积的CdTe薄膜呈立方相,沿(111)明显的择优取向,退火后(111)(220)(311)等峰的强度有不同程度的增强。晶粒长大,晶界减小,降低通过晶界载流子复合概率,降低暗电导激活能,改善电池的并联电阻和漏电流。XPS测试表明样品中存在碲的氧化物,而且随着刻蚀深度的增加氧化物明显减少。通过分析,认为样品中可能存在TeClO2的结构单元,导致薄膜性能的改变。样品表面氧元素含量较多,随着刻蚀深度的增加,氯氧2种元素的含量明显减少,而且氯元素在样品中达到了稳定的分布。  相似文献   
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