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脉冲压缩光栅光学拼接方法研究 总被引:4,自引:1,他引:3
脉冲压缩光栅是激光约束核聚变系统中的重要光学元件.随着激光约束核聚变工程的快速发展,对光栅的口径要求越来越大.全息技术是制造大口径脉冲压缩光栅的重要手段,其制作的光栅大小受限于记录光学系统口径.为了制造出超大口径的脉冲压缩光栅,提出了一种采用多次曝光拼接技术制作大口径脉冲压缩光栅的方法.该方法采用参考光栅作为检测元件,利用其再现的光学特性,以检测记录干涉光场与已记录光栅之间位相匹配情况,并利用条纹锁定系统控制记录干涉光场的相位,实现光学拼接制作大口径脉冲压缩光栅的目的.开展了1740lp/mm光栅拼接实验研究.拼接对准精度优于30 nm. 相似文献
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低陡度光刻胶光栅槽形研究 总被引:3,自引:0,他引:3
为控制全息光刻胶光栅槽形,从研究显影时间、显影液温度等对光刻胶特性曲线的影响出发,采用计算机模拟和实验方法,制作出底部占宽比30%左右,陡度65°左右的低陡度光刻胶光栅掩模.研究发现:启动曝光量随显影时间的延长而减小,光刻胶特性曲线线性部分的斜率随着显影时间的增加而增加;显影液温度高的光刻胶启动曝光量大,其特性曲线线性部分的斜率也较大.这决定了制作低陡度光刻胶光栅掩模需要使用非1∶1的干涉曝光,以及必须采用较低温度的显影液进行显影处理.最终选用1∶7的干涉曝光和15℃的显影液. 相似文献
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云南蕊木生物碱的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
云南蕊木(Kopsia offcinalis Tsiang et P.T.Li)为夹竹桃科(Apocynaceae)柯蒲木属(Kopsia)植物,是云南西双版纳地区傣族民间的一个传统草药,用于治疗麻风、咽喉炎、风湿骨痛、四肢麻木和水肿等疾病.我们分析了这一植物的化学成分;从根及茎皮提出的总生物碱,药理试验显示镇痛作用.我们共分出10个吲哚型生物碱,通过光谱分析和化学工作,鉴定出四个为已知生物碱kopsinine(1)、kopgamine(2)、eburnamine(3)、perivine(4);三个为 相似文献
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为更好建设不同维度的仪器设备公共服务平台,探索实践了“校-院”实体平台筹建及管理体系建设,初步构建了“校-院”两级仪器设备共享工作体系,解决和满足了设备共享过程中的共性和个性化需求. 相似文献
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激光约束核聚变系统需要大口径脉冲压缩光栅。全息光栅拼接法是制造大口径光栅的重要手段。针对有像差的全息曝光系统,提出了一种拼缝处光栅对准拼接方法。为研究像差对光栅拼接特性的影响,用随机波面进行了光栅模拟拼接,计算了远场衍射能量分布与拼接误差的关系。实验拼接了(150+150)×200 mm2口径光栅,其拼接均方根误差值为0.034λ,峰-峰误差值为0.110λ。利用光栅±1级衍射波面,计算得到了曝光系统像差,并模拟了拼缝处最小拼接误差,其均方根误差值为0.016λ,峰-峰误差值为0.105λ。结果表明,拼接误差与理论模拟结果相近。该误差不会造成远场衍射光斑能量明显下降。由此证明了该方法的可行性。 相似文献