| 有像差情况下的全息光栅拼接研究EI北大核心CSCD |
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| 引用本文： | 钱国林,吴建宏,李朝明,陈新荣,邹文龙.有像差情况下的全息光栅拼接研究EI北大核心CSCD[J].光学学报,2015(3):34-39. |
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| 作者姓名： | 钱国林 吴建宏 李朝明 陈新荣 邹文龙 |
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| 作者单位： | 1.苏州大学物理与光电.能源学部苏州纳米科技协同创新中心215006;2.苏州市职业大学电子信息工程学院215104; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61178046；60808013)；江苏省高校自然科学研究重大项目(11KJA14001)；江苏高校优势学科建设工程资助项目；苏州市应用基础研究项目(SYG201115) |
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| 摘 要： | 激光约束核聚变系统需要大口径脉冲压缩光栅。全息光栅拼接法是制造大口径光栅的重要手段。针对有像差的全息曝光系统,提出了一种拼缝处光栅对准拼接方法。为研究像差对光栅拼接特性的影响,用随机波面进行了光栅模拟拼接,计算了远场衍射能量分布与拼接误差的关系。实验拼接了(150+150)×200 mm2口径光栅,其拼接均方根误差值为0.034λ,峰-峰误差值为0.110λ。利用光栅±1级衍射波面,计算得到了曝光系统像差,并模拟了拼缝处最小拼接误差,其均方根误差值为0.016λ,峰-峰误差值为0.105λ。结果表明,拼接误差与理论模拟结果相近。该误差不会造成远场衍射光斑能量明显下降。由此证明了该方法的可行性。
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| 关 键 词： | 衍射光栅 拼接光栅 波像差 干涉条纹 脉冲压缩 |
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