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脉冲压缩光栅光学拼接方法研究
引用本文:李朝明,吴建宏,陈新荣,胡祖元,钱国林.脉冲压缩光栅光学拼接方法研究[J].光学学报,2009,29(7).
作者姓名:李朝明  吴建宏  陈新荣  胡祖元  钱国林
作者单位:苏州大学信息光学工程研究所,江苏苏州,215006
基金项目:国家自然科学基金,江苏省高校自然研究计划,江苏省高校省级重点实验室开放课题,江苏省高校自然重大基础研究 
摘    要:脉冲压缩光栅是激光约束核聚变系统中的重要光学元件.随着激光约束核聚变工程的快速发展,对光栅的口径要求越来越大.全息技术是制造大口径脉冲压缩光栅的重要手段,其制作的光栅大小受限于记录光学系统口径.为了制造出超大口径的脉冲压缩光栅,提出了一种采用多次曝光拼接技术制作大口径脉冲压缩光栅的方法.该方法采用参考光栅作为检测元件,利用其再现的光学特性,以检测记录干涉光场与已记录光栅之间位相匹配情况,并利用条纹锁定系统控制记录干涉光场的相位,实现光学拼接制作大口径脉冲压缩光栅的目的.开展了1740lp/mm光栅拼接实验研究.拼接对准精度优于30 nm.

关 键 词:光栅  拼接  叠栅条纹  脉冲压缩

Research on the Multi-Exposure Method to Fabricate Pulse Compression Mosaic Grating
Li Chaoming,Wu Jianhong,Chen Xinrong,Hu Zuyuan,Qian Guolin.Research on the Multi-Exposure Method to Fabricate Pulse Compression Mosaic Grating[J].Acta Optica Sinica,2009,29(7).
Authors:Li Chaoming  Wu Jianhong  Chen Xinrong  Hu Zuyuan  Qian Guolin
Abstract:
Keywords:
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