化学机械抛光中纳米颗粒的作用分析

化学机械抛光（chemical mechanical polishing, CMP）是用于获取原子级平面度的有效手 段.目前，CMP的抛光液通常使用纳米级颗粒来加速切除和优化抛光质量.这类流体的流变性 能必须考虑微极性效应的影响.对考虑微极性效应的运动方程的求解，有助于了解CMP的作用 机理.数值模拟表明，微极性将提高抛光液的等效黏度从而在一定程度上提高其承载能力， 加速材料去除.这在低节距或低转速下尤为明显，体现出其具有尺寸依赖性.通过改变抛光液 中粒子的微极性，用实验研究了微极性效应对CMP中材料去除速率的影响，证明了分析的合 理性. 关键词： 化学机械抛光 微极流体 抛光液 流变特性 材料去除速率     

纳米粒子碰撞下的单晶硅表面非晶相变

应用分子动力学模拟研究了在纳米粒子的碰撞作用下，单晶硅表面局部区域的物相转变和结构演变. 模拟表明在碰撞过程中，基体表面碰撞区域从初始的单晶体转变为熔融态，经历过冷液体状态之后凝固成为了非晶态. 模拟揭示的凝固转变温度与硅玻璃化温度很接近. 在颗粒反弹阶段，与发生的冷却过程和压力去除过程相一致，碰撞区域从瞬态的、高度无序、高度致密的过冷状态开始，经历了结构有序度的增加和向相对疏松状态的转变. 碰撞之后所得非晶硅的平均配位数为5.27，其中配位数5，6原子构成了碰撞区域原子总数的61.5%.     

悬浮态乳液聚合

对一种新的聚合方法－－悬浮态乳液聚合的研究进展进行了综述。通过对比悬浮聚合，乳液聚合和悬浮态乳液聚合方法的异同，突出了悬浮态乳液聚合的优点。讨论了悬浮态微液聚合的机理，以及分散剂，表面活性剂，水油比等对聚合物颗粒形态的影响。     

偏氯乙烯-丙烯腈-苯乙烯共聚物颗粒发泡行为研究

用显微镜实时监测实验方法研究了偏氯乙烯 (VDC) 丙烯腈 (AN) 苯乙烯 (St)共聚物颗粒的发泡行为 ,考察的影响因素包括共聚物组成、发泡剂浓度、颗粒粒径、发泡温度等 .实验发现 ,共聚物中AN或St单元含量提高 ,发泡速率降低 .提高发泡温度或增加发泡剂浓度 ,均加快发泡速率 .由于在聚合物颗粒发泡时存在发泡剂损失 ,小粒径的VDC AN St共聚物颗粒发泡速率快 .当颗粒发泡生长较快时 ,发现有生长过头现象 ,这可能是由惯性生长造成的     

Zr-Ti-Cu-Ni-Be大块非晶低温比热

测量了Zr₄₁Ti₁₄Cu_12.5Ni₁₀Be_22.5大块非晶及不同退火条件的样品在液氦温区的比热.低温下的比热数据可用电子比热和声子比热两部分的贡献来拟合,发现非晶的电子比热系数γ值比其他样品大,德拜温度从非晶到平衡相依次增大,并从电子态密度和德拜理论出发,初步解释了这种差异. 关键词： 低温比热 大块非晶     

氯乙烯/N-取代马来酰亚胺共聚竞聚率及共聚物组成

研究了氯乙烯(VC)与多种N-取代马来酰亚胺的溶液共聚合,求得各对单体的竞聚率.结果表明,各种马来酰亚胺的竞聚率都远高于VC的竞聚率,即N-取代马来酰亚胺单体的活性均比VC单体活性高.计算得到N-取代马来酰亚胺Q和e值.由于苯环的共轭效应,N-苯基及N-取代苯基马来酰亚胺具有较大的Q值.各对单体的e值差别较大,表明有形成交替共聚物的倾向.此外,还考察了聚合过程中共聚物组成的变化,用递推法预测了这类体系共聚物瞬时和累积组成随转化率的变化.     

含氟共聚物与钴卟啉复合膜的制备及促进氧输送性能

研究了甲基丙烯酸八氟戊酯-乙烯基咪唑共聚物与钴卟啉复合膜的制备及钴卟啉与氧络合、促进输送性能.共聚物中的咪唑基与钴卟啉的第五配位点在溶液中络合,制得的复合膜具有快速和可逆的氧结合特性.温度降低,钴卟啉与氧络合的平衡常数增加;膜中的钴卟啉与氧络合平衡常数大于N,N-二甲基甲酰胺(DMF)溶液中的平衡常数.钴卟啉与氧络合和选择性地促进氧的输送使共聚物/钴卟啉复合膜的氧渗透系数和氧/氮选择系数提高.     

聚合工艺对聚丙烯酸盐增稠性能的影响

聚丙烯酸盐增稠剂;;耐电解质性能;长链疏水缔合单体;溶液聚合;反相乳液聚合;聚合工艺对聚丙烯酸盐增稠性能的影响     

表面活性单体存在下的MMA/BA乳液共聚合(Ⅱ)聚合动力学及机理

研究了表面活性单体[磺化-十二醇-烯丙基甘油-丁二酸酯钠盐(ZC-L)]的用量对MMA/BA/ZC-L乳液聚合速率和粒径的影响,用CoulterLS230型激光粒径分析仪测定聚合过程中乳液的粒径和粒径分布变化,并与MMA/BA无皂乳液聚合及十二烷基苯磺酸钠存在下的MMA/BA乳液聚合作了比较.[ZC-L]CMC时,成核机理包括均相成核和胶束成核机理,生成的粒子因吸收体系中的表面活性单体而稳定存在.     

掺镱氟磷酸锶钙激光晶体实现1.04 μm激光输出

以 Yb3 为激活离子的激光晶体由于能级分裂较小 ,在抽运和激光光子之间量子缺陷很小 ,理论量子效率可以达到 90 %以上。另外 ,这种激光晶体具有比以 Nd3 为激活离子的激光晶体大几倍的储能能力 ,这意味着达到同样的能量输出所需要的激光二极管阵列的数目为后者的几分之一。这对于以激光介质为中心的激光受控核聚变这种耗资巨大的工程来讲具有很重要的意义。在所有的 Yb3 激光晶体中 ,以掺镱的氟磷酸钙 [Yb :Ca5( PO4) 3F,简称Yb:FAP]晶体的综合性能最为引入注目 ,美国利弗莫尔国家实验室正在进行这方面的研究 ,我们在进行进一步筛选晶…