载波相移云纹干涉法研究

通过对载波技术研究,提出载波相移云纹干涉法.采用该方法可以实现云纹干涉条纹信息的自动识别.给出了灵敏度和载波频率的定量关系式;同时,对载波数字相移云纹干涉法测试的精度进行了系统分析.     

电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术

本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围更大。在本研究中 ,运用电子束刻蚀法并结合真空镀膜技术制作出 0 .1μm间距 ( 10 0 0 0线 /mm光栅 )的电子束云纹光栅。应用所制作的 10 μm/1μm双频光栅与相对应的电子束参考栅干涉 ,分别得到对应的电子束云纹场。文中对制栅工艺及方法进行了详细的讨论。     

载波相移云纹干涉法研究

通过对载波技术研究,提出载波相移云纹干涉法,采用该方法可以实现云纹干涉条纹信息的自动识别,给出了灵敏度和载波频率的定量关系式;同时,对载波数字相移云纹干涉法测试的精度进行了系统分析。     

应用于微细尺度流体温度测量的激光云纹技术

本文提出了一种可用于微细尺度流体温度测量的激光云纹技术。它利用光线穿过两个等节距的光栅产生莫尔条纹的原理，由莫尔条纹的位移量来计算光线穿过热流体时产生的偏转角，从而获得流体的温度场分布。激光云纹技术具有灵敏度高，稳定性好，空间分辨率高等一系列优点，为微尺度传热的实验研究提供了测试方法。本文详细阐述了激光云纹技术的光学原理、实验装置及其所获得的实验结果。     

云纹干涉载频调制技术及分析

在物体变形场的测量中,云纹干涉的载频调制技术有重要作用.在云纹干涉中,对称光照明产生的衍射光沿试件栅表面的法线传播并产生干涉.通过改变照明光的入射角度,可实现变形条纹场的空间调制.通过光程差的分析说明了载波条纹产生的机理,得出了载波频率与照明光入射角度变化之间的关系式.利用三点弯曲加载结合二维载频调制实验,给出了实验结果.证明了在初始条纹较少的情况下,载频调制技术能有效地测量物体的位移场.     

数字仿真形貌影栅云纹法及实验系统的原理

基于影栅虚云纹场的概念，提出并实现了对形貌影栅云纹法利用计算机布置影栅云纹仪各种光场，自动生成高质量全场仿真影栅云纹图，建立了一种数字仿真形貌影栅云纹法自动测量和处理一体化实验系统（全文简称为实验系统）.系统特别适合于作为形貌影栅云纹法误差分析的评估系统，对光场布置不同的影栅云纹仪及其对应的相移值近似程度不一样引起的初始系统误差进行分析、预测和评估，给出减少这种系统误差应遵循的准则.     

基于液晶显示投影技术的数字影栅云纹相移实现方法

影栅云纹是物体离面变形和表面形貌测量常用的一种比较简单的方法,用单纯的影栅云纹法即便在最好的光学系统配置情况下测量精度也只有1~100μm左右,在影栅云纹测试方法中引进相移技术是提高测量精度的主要手段。采用液晶投影仪和数字图像处理技术实现数字影栅云纹测量的准确数字相移,避免了在影栅云纹法中使用结构比较复杂或特制的相移机构。由计算机产生相移条纹图经液晶显示投影,应用实时图像灰度算术相减技术得到数字相移影栅云纹条纹图。该方法具有“基准栅”的栅距和相移步长实时可调,配置高速图像采集系统和图像后处理软件,可将相移技术引入动态测量中,从而提高动态测量的精度的优点。最后的悬臂梁实验结果证实了该方法的有效性。     

耐高温光刻胶光栅模板的制作与转移技术及其应用

作为试件变形传感元件的云纹光栅的制作是云纹干涉法的关键技术。本文提出了在１２０～２００℃高温下使用的光刻胶光栅模板的制作及在此温度下试件栅的复制工艺，并利用此技术研究了新型微电子封装组件在１２５～２０℃温度载荷下的热变形。实验结果表明：采用该方法可以获得高质量的试件栅，云纹条纹质量好，可用于试件微小区域内热变形的精确测量     

用投影云纹偏转测定气体的温度场

提出了一种新的投影云纹偏转法用于实时显示和定量测量位相物体的全场密度和温度.讨论了实验原理和实验方法,给出了测量实例,这种技术装置简单,测试面积大,成本低.具有实用价值.     

扫描探针显微学中的云纹方法

在扫描探针显微镜（SPM）的扫描过程中，由SPM的扫描线与物质表面周期性晶格结构进行干 涉可以形成纳米云纹图像.采用高取向热解石墨（HOPG）和云母作为试件，分别对扫描隧道 显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM）云纹进行了研究，实验结果与理论分析完全一致.SPM 纳米云纹法在纳米测量和表征方面具有较大的应用前景. 关键词： 云纹 SPM 晶格栅线 纳米测量     

自由曲面光学透镜的图像变换面形测量系统与精度建模

为了解决自由曲面光学透镜光学表面面形的高精度测量问题 ,提出了一种可用于自由曲面光学透镜面形测量的图像变换光学曲面面形测量系统。从测量系统的测量原理出发 ,分析了测量过程中各种误差对测量精度的影响 ,推导出了自由曲面光学透镜的图像变换面形测量系统的测量误差公式 ,建立了自由曲面光学透镜的图像变换面形测量系统的测量精度数学模型 ,得到了该测量系统具有很高测量精度的结论 ,并且用实验给予验证。     

固体材料拉伸波速的共振法测量

文章系统论述了利用弯曲共振和纵向共振两种方式测量拉伸波速的方法，作者改进了传统的纵向共振测试装置，指出了两种方式各自的适用性．在理论上纵向共振方法更为严谨，且误差来源较少，从而具有较高测量精度，实验上测量操作更为方便．     

移测显微镜在测量金属杨氏模量中的应用

本分析了移测显微镜的测量精密度,根据拉伸法测量金属杨氏模量的原理,设计了一套应用移测显微镜测量金属杨氏模量的方法。     

相对不确定度在大学物理实验测量中的应用

相对不确定度是定量分析测量结果不能确定的严重程度的一个重要物理量,如何减小相对不确定度不仅与测量方法有关,而且与测量仪器也有着很大的关系。本文从几个具体的大学物理实验测量中,研究如何利用测量结果相对不确定度来选择测量样品的数量或测量仪器,从而减小测量结果的相对不确定度,以便减小测量误差,提高测量结果准确程度。     

纯距离法激光跟踪坐标测量系统的布局与仿真

一般激光跟踪测量系统通过测量距离变化量和跟踪镜转角来确定目标的位置坐标。而纯距离法激光跟踪测量系统只测量距离和距离变化量 ,而不用测量角度量 ,即可进行坐标测量 ,因此可得到较高的测量精度。其系统几何参数可以不借助外界实物标准尺进行自标定 ,并建立虚拟坐标测量参考系。多站测量系统的布局、测量点选择、计算的收敛性与误差等必须进行分析。从激光跟踪测量系统自标定的数学模型出发 ,分析其方程组的雅可比矩阵 ,推导出在自标定时测量系统中各站点和测量点的布局限制 ,并用计算机进行了仿真验证。     

Estimation of measuring uncertainty for optical micro-coordinate measuring machine

Based on the evaluation principle of the measuring uncertainty of the traditional coordinate measuring machine (CMM), the analysis and evaluation of the measuring uncertainty for optical micro-CMM have been made. Optical micro-CMM is an integrated measuring system with optical, mechanical, and electronic components, which may influence the measuring uncertainty of the optical micro-CMM. If the influence of laser speckle is taken into account, its longitudinal measuring uncertainty is 2.0 μm, otherwise it is 0.88 μm. It is proved that the estimation of the synthetic uncertainty for optical micro-CMM is correct and reliable by measuring the standard reference materials and simulating the influence of the diameter of laser beam. With Heisenberg's uncertainty principle and quantum mechanics theory, a method for improving the measuring accuracy of optical micro-CMM through adding a diaphragm in the receiving terminal of the light path was proposed, and the measuring results are verified by experiments.     

透反射率自动化测量系统设计

应用虚拟仪器技术,基于"DF透反仪"的测量思想和光路设计,设计了大角度范围自动化测量透反射率系统,工作波长为6328nm,透反射率测量角度范围可以达到5°~80°。重点讨论了透反射率自动化测量系统的测量原理和信号获取方法,介绍了系统的机械设计、自动化测量以及数据的采集和处理。     

单镜头反光照相机测光范围与测光光学系统设计计算

本文分析了单镜头反光照相机测光范围与测光光学系统的关系，建立了测光系统计算模型，推导出了测光权重计算方法与公式。并通过光路追迹，编制计算机程序，给出了各种测光范围和权重的计算实例。     

透镜单色焦距的测量

本文根据夫朗和费单缝衍射原理，结合光电扫描技术，给出了测量透镜单色焦距的原理和测量装置，并以凸透镜为例给出了详细的测量方法和测量结果，计算了测量中的相对误差约为０．７％，最后讨论了减小测量误差的技术途径以及对凹透镜的测量方法。该方法不仅适用于可见光区，也适用于不可见光区的测量。测量方法简便，精度高。     

三坐标激光非接触测量技术在武器系统测量领域的应用

为实现某武器系统核心部件的自动精确测量,依据通用三坐标测量系统设计原理,研制了一套激光扫描自动测量系统。本文首先介绍了测量系统的组成;然后从激光测量头测量原理、电路原理和气路原理等三方面介绍了系统的工作原理;通过建立理想测量模型和实际测量模型,给出了测量坐标系与用户坐标系的转换关系及利用标准件进行系统参数标定的方法;最后,通过建立准刚体误差数学模型,对系统误差进行了分析、计算。测量结果表明,该系统单点测量精度优于7μm,球面度测量精度优于22μm。