我国低温等离子体研究进展(Ⅰ)

低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视．在等离子体中发现的一些有趣的物理现象，如磁场重联、尘埃等离子体等，使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮．在应用方面，几乎所有理工类实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置，这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及，包括微电子工业中的等离子体工艺，各种坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备，纳米材料的制备，聚合物以及生物材料的表面改性，等等．随着低温等离子体技术的发展，低温等离子体的诊断技术也随之发展起来．文章简要地介绍了近几年来低温等离子体研究在我国的发展，介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题．     

低温等离子体技术在生物医学上的应用

低温等离子体技术与生物医学似乎是两种风马牛不相及的事物，可是两者的结合却可以对现代科技发展产生重要的影响．许多人都认为21世纪是生物技术的世纪，可见人们对生物技术发展抱着怎样的期待．低温等离子体技术正在成为生物材料和生物医学器件的生产和研究的广阔的平台．文章简要介绍了一些用于材料表面改性的技术以及低温等离子体技术在生物医学方面的应用，并进而讨论了将低温等离子体技术与生物技术相结合的途径以及还需要解决的问题．文章还详细讨论了一种用于表面功能化的脉冲等离子体技术方法作为二者最佳结合的一个典范．文章最后指出，生物医学与等离子体技术的完美结合可能对21世纪的科技发展产生革命性的影响；而为了实现这个目标。需要多学科专家的通力合作．     

低温等离子体技术应用研究进展

介绍了低温等离子体发生技术及原理，对近几年低温等离子体技术应用研究的一个新生的领域一高分子等离子体化学的研究进展进行了概述，内容涉及等离子体聚合、合成、接枝、纳米粒子／粉体包覆、等离子体增强沉积生物适合层及低温等离子体灭菌技术．     

我国低温等离子体研究进展(Ⅱ)

5低温等离子体应用 随着我国国民经济的发展，低温等离子体的应用获得了越来越多的重视，这从国内越来越多的等离子体实验室的成立，和一些小的实验室扩大成地方的重点实验室可以得到证明．事实上，大多数涉及到材料或物质的理工科实验室都会有一些与低温等离子体有关的装置或研究，无论该实验室是研究物理的、化学的、生物的或各类工程的，毕竟宇宙中99％以上的物质处于等离子体态．下面就我国低温等离子体的应用方面分类举一些例子．     

我国低温等离子体科学技术进展

我国低温等离子体科学技术的发展大体上与国际发展的趋势相近．６０年代是以航天应用为推动力，７０年代开始了热等离子体的工业应用研究，８０年代发展极为迅速，尤其是冷等离子体方面．我国的低温等离子体工作开展面很广，研究单位很多，在国际上也有一定影响．较强的领域是在航天应用，数值模拟工作，超细粉合成，各类簿膜的沉积、聚合等方面．较弱的领域是在化工冶金应用与微电子学应用方面，而且深入细致的机理研究与相应的诊断工作也较少．     

低温等离子体对氟橡胶表面改性

低温等离子体技术(Low Temperature Plasma technique，LTP)是近年来发展较快的一门材料表面改性技术，本研究采用LTP技术对氟橡胶进行表面改性，考察了改性后的氟橡胶应用于三氨基三硝基苯炸药(TATB)为基的PBX体系中(TATB-PBX)对PBX力学性能的影响，结果表明将LTP技术运用到PBX中，对提高PBX的综合性能是行之有效的。     

我国等离子体研究概况

本文介绍了我国在核聚变和高温等离子体、基础等离子体、天体等离子体和空间等离子体、低温等离子体及其应用、等离子体理论等方面的研究概况．文中不仅介绍了实验装置的参数和主要的诊断设备，而且还简述了当前实验和理论方面的研究课题．     

低温等离子体中材料表面性能的改变

在低温等离子体的特殊状态下,等离子体中的电子、离子、中性粒子和光子与材料表面相互作用,在材料表面发生复杂的物理过程和化学反应,使材料表面的结构、成分和性能发生变化,这就是等离子体中材料表面性能的改变或称改性.这种改性方法可适用于金属、半导体、天然高分子和人工合成高分子以及复合材料. 低温等离子体一般指的是电子温度在十个电子伏(或十万度)以下的等离子体.它由带电粒子、中性粒子和光子组成.带正电粒子与带负电粒子的总电荷量相等,因而总体上是电中性的.在等离子体中存在着电子碰撞激发和退激发,光激发和自发辐射衰变,电子…     

低温等离子体与固体表面的作用

低气压下的等离子体属低温等离子体，其特征是电子温度比原子（分子）温度高得多。由于等离子体中各种粒子间以及它们与固体表面间发生的各种物理、化学过程，从而产生等离子体刻蚀、沉积、改质与催化．     

简讯

全国等离子体科学与核聚变技术应用讨论会于1986年10月6日至10日在大连工学院召开。出席会议的代表来自全国26个研究部门和高等院校,共50余人。这次会议是我国首次从事高温与低温等离子体应用的研究人员一起进行交流的讨论会。大会比较集中地讨论了等离子体表面处理、成膜和高能粒子束注入表面改性等方面的内容。此外,还有低温等离子体和核聚变技术在其它方面应用的研究报告、综述报告。大会报告的论文共35篇。     

尘埃等离子体

尘埃等离子体物理是近十年里等离子体学科中一个活跃的分支领域之一，带电尘埃广泛存在于空间等离子体、实验室聚变装置、低温等离子体工业应用等众多小同的环境中，并且呈现出相同或相似的性质．这是一种部分或完全电离的等离子体，其基本成分除了电子和离子外，还有（通常）带负电的、且电荷不是常数的微粒．带电颗粒有着与电予和离子完全不同的动力学行为，其与等离子体的相互作用呈现出许多新的物理现象．文章介绍了尘埃等离子体物理的简要发展历史、基本性质和主要研究方向以及最近一些热点问题．     

冷等离子体表面改性设备的研制

本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．     

电子传导不透明度研究的新结果

电子传导不透明度研究的新结果研究天体的或实验室的热等离子体系统，人们总要研究等离子体内的能量（或热量）传递和能量分配．从普通物理学知道，热传递有三种基本形式：辐射、传导和对流．在低温（特别是高密度）状态下，传热的主要形式是电子热传导．能量输运方程需要...     

电子回旋共振等离子体技术

微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术，它具有优良的综合指标，提高了微电子，光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平，文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理，特点及重要的实验研究结果。     

常压介质阻挡放电间隙的选择及其在材料表面改性中的应用

使用自制介质阻挡放电装置，分析了常压等离子体放电电流和放电功率与放电间隙的变化关系，提出了“放电临界间隙”的概念，并应用该装置对PBT熔喷非织造布进行表面改性，讨论了放电间隙和放电气体等因素对改性效果的影响．     

金属膜层对光纤表面等离子传感器的影响研究

采用SG-12SA作为镀膜设备, 研究了当金膜厚度相同的情况下, 光纤表面等离子体波传感器在有粘结层和无粘结层时的光谱特性; 当粘结层厚度相同时, 光纤表面等离子体波传感器对应不同金膜厚度的光谱特性。结果表明：对镀有同样金膜厚度的光纤表面等离子体波传感器, 纤芯与金膜之间有粘结层相对于无粘结层, 共振波长出现红移, 且共振深度减小; 对镀有同样粘结层厚度的光纤表面等离子体波传感器, 随着金膜厚度的增加, 共振波长亦逐渐发生红移。这些研究成果为以后研制性能优良的光纤传感器提供了参考, 同时为在直径为微米级的三维圆柱面上镀膜提供一定的指导意义。     

硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真(1)

了解含有负离子的低温等离子体的过渡特性，在等离子体控制过程中，尤其在选择性等离子 体腐蚀工艺和改善电荷堆积等现象中是十分重要的课题.对电源驱动频率为1356MHz，压力 为05Torr(05×10333Pa)状态下的硅烷（SiH₄）低温等离子体的阶跃响应 进行仿真. 当电源电压振幅从550V阶跃减小到350V时，硅烷低温等离子体表现出以数千RF周期为周期的振荡现象，等离子体中的带电粒子的运动变化决定了振荡现象的产生和振荡周期等特性. 关键词： 迁移率 扩散系数 阶跃响应 等离子体振荡     

微等离子体及其应用

微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一。微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内(尺度为毫米量级甚至更低)的等离子体,它通常能够运行在大气压条件下,它的低功耗、高密度、高稳定等特性以及其小巧、经济、便携等优势,为其在紫外光源的获得、微化学分析系统、生物医学、材料表面改性和加工、环境污染物的处理等领域提供了广泛的应用空间。文章对微等离子体及其应用进行了综述,介绍了各种微等离子体源的产生方法,以及它们在不同领域的研究和应用情况。     

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基于介质阻挡放电(DBD)原理,研究设计了一种悬浮电极式的低温等离子体发生设备,产生的等离子体温度较低且对人体安全,可直接接触。用所研制的低温等离子体发生设备对大肠杆菌做了灭活实验,实验结果表明,该设备产生的低温等离子体对大肠杆菌作用10s 以上,在等离子体有效作用区内大肠杆菌杀灭率为100%,表明所研制的低温等离子体发生设备具有很好的杀菌消毒效果。     

基于DBD 悬浮电极低温等离子体杀菌消毒仪研制

基于介质阻挡放电(DBD)原理,研究设计了一种悬浮电极式的低温等离子体发生设备,产生的等离子体温度较低且对人体安全,可直接接触。用所研制的低温等离子体发生设备对大肠杆菌做了灭活实验,实验结果表明,该设备产生的低温等离子体对大肠杆菌作用10s 以上,在等离子体有效作用区内大肠杆菌杀灭率为100%,表明所研制的低温等离子体发生设备具有很好的杀菌消毒效果。