冷冻靶激光等离了体软X射线源

报道了以固态ＣＯ２作为靶材的一咱新型激光等离子体软Ｘ射线源，与常规金属靶激光等离子体软Ｘ射线源相比，它是一种低污染的光源，深入研究正在进行中。     

无碎屑激光等离子体软X射线源的研究及应用前景

分析了常规金属靶激光等离子体源产生固体碎屑的原因及其对软Ｘ射线光学元件的危害，介绍了近年来发展起来的无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源，归纳了无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源的几种形式和特点，并且描述了这种新型光源在软Ｘ射线显微术及光刻术中的应用．     

激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究

描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软Ｘ射线源而进行的接近式软Ｘ射线光刻研究，采用负性辐射线光刻胶聚氯甲基苯乙烯，得到了一些新的实验结果。     

用网格衰减膜相对标定SIOFM─5FW软X光底片

点聚焦激光等离子体发出的Ｘ射线经晶体色散形成均匀的单色Ｘ射线源，在此基础上，用单层网格作为衰减膜，得到未经衰减和经过衰减的Ｘ射线谱，对无保护膜ＳＩＯＦＭ５ＦＷ软Ｘ光底片作了试验性的相对标定，得到了０．９１ｎｍ波长的特性曲线     

用网格衰减膜相对标定SIOFM—5FW软X光底片

点降焦激光等离子体发出的Ｘ射线经晶体色散形成均匀的单色Ｘ射线源，在此基础上，用单层网格作为衰减膜，得到未经衰减和经过衰减的Ｘ射线谱，对无保护膜的ＳＩＯＦ－Ｍ５ＦＷ软Ｘ光底片作了试验性的相对标定，得到了０．９１ｎｍ波长的特性曲线。     

激光等离子体软X光源8—20nm光谱辐射研究

研制了了一种脉冲重复频率为１０Ｈｚ的激光等离子软Ｘ射线源；傅波长０．５３μｍ和波长１．０６μｍ的激光脉冲，聚焦在不同的金属靶上，使之离子化。     

激光等离子体软X射线光源光谱强度测量方法

提出了一种新的探测和测量激光等离子体软X射线源光谱强度的方法。该方法使用通道电子倍增器和定标过的硅光电二极管为探测器 ,前者是非标准探测器 ,后者为标准探测器。应用电荷灵敏前置放大器测量探测器产生的电量 ,并以高分辨率的光谱仪为分光元件 ,在已知光栅效率、通道电子倍增器增益、硅光电二极管能量响应的条件下 ,给出了计算激光等离子体软X射线源在某一波长光谱强度的公式     

单发打靶实验测量滤片软X射线透过率

利用激光等离子体软X射线源作为光源，提出了一种单发实验测量软X射线滤片透过率的简易方法。实验采用平焦场光栅谱仪分光，光路中引入掠入射镜消除高级次谱的影响，用软X射线CCD记录，在单发激光打靶实验中，测量了滤片在9-18nm波段的透过率。     

高重复频率激光等离子体软X光脉冲探测

研制了一种高重复频率小型激光等离子体软Ｘ光脉冲探测装置，给出其设计原理和性能参量，采用光谱学诊断方法研究了光源的软Ｘ射线辐射特性，得到了一些新的实验结果     

基于半解析自洽理论研究相对论激光脉冲驱动下阿秒X射线源的产生

发展了一种描述相对论激光脉冲与稠密等离子体相互作用产生阿秒X射线源的半解析自洽理论.该理论模型不仅可以获得等离子体界面的振荡轨迹、振荡面电场和磁场等物理参数,而且能够精确计算出激光脉冲驱动下阿秒X射线源的频谱,结果与粒子模拟程序一致.理论计算结果表明阿秒X射线源的辐射特性与等离子体界面随时演化过程相关,在周期量级激光场驱动下等离子体界面振荡振幅呈现中心不对称,通过改变激光场的载波包络相位实现对等离子体界面振荡的控制,获得准单阿秒X射线源.     

惯性约束聚变软X射线在线标定系统概念设计

长期以来，惯性约束聚变（ICF）研究软X射线诊断科学仪器设备的元器件标定工作主要依赖同步辐射光源X射线辐射计量站进行。该类装置通常与用于开展ICF研究的大型激光装置分处两地，难以满足ICF研究软X射线元器件实时实地的标定应用需求。另外，由于同步辐射和ICF激光等离子体产生的X射线辐射特性存在较大差异，同步辐射计量站的标定结果事实上也不能完全反映元器件在ICF实验应用中的计量响应特性。本文首先介绍一种基于单光学元件的软X射线紧凑型无谐波光源单色化技术，以此为基础提出研制基于ICF激光等离子体X射线源的同源、同几何位形、双束比较校准的多能量通道光源单色化系统，用于ICF应用软X射线元器件的在线标定。新系统一方面可望满足ICF软X射线元器件实时实地的标定应用需求；另一方面，其提供的标定光束的技术特征将最大可能地接近ICF激光等离子体X射线辐射本身。配备相应的X射线二极管（XRD）和标准探测器之后，该系统将形成一套具有在线自校准功能的新型多通道δ能量响应软X射线能谱仪。     

气体靶激光等离子体软X-射线源实验研究

介绍了一种无碎屑、高亮度、高工作频率的气体靶激光等离子体软X 射线源。其喷气阀门由压电陶瓷驱动 ,工作频率可达到 40 0Hz。与金属靶激光等离子体软X 射线源相比 ,此光源无碎屑。与喷嘴由电磁阀控制的气体靶激光等离子体软X 射线源相比 ,它有较高的工作频率。一工作在模拟模式的通道电子倍增器被用于探测来自光源的软X 射线辐射 ,其输出信号经过一电荷灵敏前置放大器进一步放大变成电压脉冲信号 ,脉冲幅度与输入电荷灵敏前置放大器的电量成正比。实验测得CO2 ,Xe和Kr在 8～ 2 2nm软X 射线投影光刻常用波段的光谱辐射特性。CO2 光谱包括类锂和类铍离子跃迁形成的线谱 ,Xe光谱是多电荷氙离子 4d 5f,4d 4f,4d 6p和 4d 5p跃迁所形成的光谱。Kr气体靶光谱包括类铜离子、类镍离子、类钴离子和类铁离子跃迁形成的线谱和连续谱。     

Parametric study of plasma active medium and gain saturation region in a Ne-like soft X-ray laser

Plasmas created by the interaction of high power optical laser with a target surface can be used as a source of soft X-ray lasers. Plasma and pump laser characteristics play significant role in achieving high gain coefficient for such plasma based on soft X-ray lasers. In the present work, the plasma active medium parameters for germanium element at a wavelength of 19.6 nm irradiated by a double-pulse pump laser have been studied using MED103 hydrodynamic code. For this purpose, first, the effects of laser intensity, pulse width and delay time of two pulses on the gain coefficient have been investigated and the optimum conditions for the maximum gain extent of Ne-like germanium soft X-ray laser are obtained. Then, in order to calculate the intensity of such high gain lasers in which Linford equation is invalid, we have adopted the general formula of amplified spontaneous emission intensity, which is valid in all range of intensities even at much higher intensities than saturation intensity. Finally, the soft X-ray laser intensities in the saturated areas for different plasma lengths have been calculated. The results show that the output of soft X-ray laser intensity with 294 cm⁻¹ gain coefficient can reach to about several times saturated intensity by applying a 1–2 mm plasma length as the active medium.     

均匀线状激光等离子体X光单色源和软X光胶片响应特性的标定

利用均匀线聚焦激光产生的等离子体和软X针孔透射光栅谱仪获得了均匀的线状软X光单色光源.在这一光源基础上,利用加阶梯膜的新方法首次标定了国产无保护层5F软X光胶片在软X光波段的响应特性.     

A pulse-train laser driven XUV source for picosecond pump–probe experiments in the water window

We describe the development of a table top soft X-ray source based on a laser produced plasma. The plasma is produced by a Nd:YLF pulse-train laser which delivers pulse trains of up to 400 pulses each of about 25 ps duration. Number and energy of the micropulses are fully computer controlled adjustable for an optimum interaction with a rotating solid target. Spectral, spatial and temporal characteristics of the X-ray emission from Mylar and copper targets have been studied. A calibrated back-illuminated CCD camera together with a slit grating spectrograph were utilized for the measurement of the absolute soft X-ray photon fluxes. The temporal measurements were performed using a streak camera while the plasma size was measured with a zone plate. An application of the system in a X-ray absorption experiment is shown. The advantages of the system in view of possible optical pump and soft X-ray probe experiments will be discussed.     

软X射线-真空紫外波段光谱光源研究

介绍长春光学精密机械与物理研究所进行的软X射线-真空紫外波段光谱光源研究工作。研制成功的壁稳氩弧光源光谱辐射稳定性和重复性达±0.3%,可作标准辐射源,用于真空紫外波段仪器光谱强度绝对辐射定标。研制成功的潘宁(Penning)光源、双等离子体光源和空心阴极光源,可以覆盖从十几个nm至几十nm波段范围,光谱辐射稳定性和重复性达±1.0%,提供不同工作气体在该波段的原子和离子线谱,用于光谱仪器的波长定标。所研制的激光等离子体光源,尤其是近期研制成功的无污染微液滴喷射靶激光等离子体光源,可以提供较高亮度的软X射线辐射,13.0 nm处激光-软X射线转换效率达0.75%／2π·sr／2%带宽,适合于光刻和该波段辐射计量研究。     

软X射线激光探针诊断高$lt;i$gt;Z$lt;/i$gt;材料等离子体

激光辐照靶产生的等离子体电子密度的诊断对于惯性约束聚变、高能量密度物理等相关领域的研究具有重要意义,特别是高Z材料等离子体临界面附近的电子密度分布信息的测量. 利用软X射线激光作为探针是诊断等离子体电子密度分布的一种重要方法,但在诊断激光辐照高Z材料产生的等离子体研究中,遇到了高Z材料等离子体自发辐射过大的问题,难以开展. 为此,针对软X射线激光的特点,发展了多种具体的实验技术. 通过综合利用这些技术,大大的抑制了待测等离子体自发辐射对信号的影响,使得软X射线激光探针诊断高Z材料等离子体成为可能. 作为典型例子,实验诊断了激光辐照金平面靶的等离子体,获得了清晰的实验图像,表明相关的技术是有效和可行的. 关键词： 等离子体诊断 激光探针技术 软X射线激光 Z材料等离子体')" href="#">高Z材料等离子体     

软X射线双频光栅干涉诊断等离子体

针对高温稠密激光等离子体临界密度附近电子密度的诊断需求,发展了基于软X射线激光的软X射线双频光栅干涉诊断技术。利用波长13.9nm的类镍银软X射线激光作为探针,掠入射式的双频光栅作为分光干涉元件,对激光辐照金平面靶产生的等离子体进行诊断尝试。实验获得了清晰的干涉条纹图像,充分表明该技术的实用性。但结果中存在靶面不清晰等问题,为此,提出了初步的解决方案。     

激光等离子体脉冲软X光标定源

 利用神光Ⅱ上激光与等离子体相互作用得到的软X光，建立了基于多层镜的四通道软X光单色器系统。研究了光源的性能，测量了光源强度、单色器系统稳定性、相应通道的一致性。研究表明，采用多层镜作为脉冲光源的分光元件，可以得到具有较好单色性的强脉冲软X 光标定源。光源的光子能量为253 eV和820 eV，两能道的光源强度分别为1.8×10¹⁹ photon/(s·cm²)和3.2×10¹⁹ photon/(s·cm²)。在该标定源上可以实现XRD、平面镜、多层镜、透射光栅和滤片的标定。