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相似文献
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1.
用X射线光电子能谱(XPS)结合氩离子溅射深度剖析对一系列不同x值的AlxGa1-xAs/GaAs异质结材料中各主元素的分布及化学状态和相对含量的变化进行了分析,发现Al向表面偏析的现象及As和Al的择优溅射问题,并对此进行了讨论。同时用XPS法进行了Al的定量分析,并与光致发光法测得的X值进行了对比,发现二者有非常好的线性关系。  相似文献   

2.
王恩哥 《物理学报》1997,46(1):117-122
在紧束缚近似下,利用自洽总能计算给出了Zn/GaAs(110)系统的表面几何结构。证明了低覆盖下Zn/GaAs(110)表面驰豫是一普遍现象,它对准确地描述费密能级钉扎位置十分重要。进一步给出了与其它元素吸附和清洁GaAsd(110)表面的理论与实验结果之比较。  相似文献   

3.
王恩哥 《物理学报》1997,46(1):117-122
在紧束缚近似下,利用自洽总能计算给出了Zn/GaAs(110)系统的表面几何结构.证明了低覆盖下Zn/GaAs(110)表面弛豫是一普遍现象,它对准确地描述费密能级钉扎位置十分重要.由于吸附Zn原子的高局域s轨道与表面Ga原子sp悬挂键轨道的杂化,使成键态位于能隙中距价带顶0.73eV处.进一步给出了与其它元素吸附和清洁GaAs(110)表面的理论与实验结果之比较  相似文献   

4.
高功率808nm InGaAsP—GaAs分别限制结构的半导体激光器   总被引:1,自引:0,他引:1  
朱宝仁  张兴德 《光学学报》1997,17(12):614-1617
介绍了研究分别限制结构InGaAsP-GaAs半导体激光器所得到的最新成果。利用引进的俄国技术,基于量子阱结构的InGaAsP-GaAs激光器,可用短时间液相外延技术制造。在GaAs衬底上制成的InGaAsP-GaAs分别限制结构的激光器,主要参数如下:发射波入λ=808nm,阈值电流密度J=300A/cm^2,对于条宽ω=100μm的激光器,连续功率为1-2W。  相似文献   

5.
徐遵图  徐俊英 《物理学报》1998,47(6):945-951
用分子束外延生长了GaAs/AlGaAs双量子阱激光器结构样品,并对不同温度快速热退火导致量子阱组分无序即阱和垒中三族元素的扩散过程进行了实验和理论研究 。用光荧光技术测量退火样品的n=1量子阱能级跃迁峰值位置,结果表明退火前后样品量子阱能级位置发生蓝移,蓝移量随温度的提高而增大,对退火过程中GaAs/AlGaAs量子阱中三族元素的扩散过程中进行了理论分析,并与实验结果相比较,获得了不同退火温度下  相似文献   

6.
采用射频磁控溅射制备了非晶态结构的Hg1-xCdxTe薄膜,并利用台阶仪、XRD、原子力显微镜、EDS等分析手段对薄膜生长速率、物相、表面形貌、组分比例进行了研究。实验结果表明,溅射气压对薄膜生长速率、微观结构、表面形貌和化学组分有直接影响。随着溅射气压增大,其生长速率逐渐降低。当溅射气压高于1.1 Pa时,薄膜XRD图谱上没有出现任何特征衍射峰,只是在2θ=23°附近出现衍射波包,具有明显的非晶态特征;当溅射气压小于1.1 Pa时,XRD谱表现为多晶结构。另外,随着溅射气压的增加,薄膜表面粗糙度逐渐减小,而且溅射气压对薄膜组成的化学计量比有明显影响,当溅射气压为1.1 Pa时,薄膜中Hg的组分比最低,而Cd组分比最高。  相似文献   

7.
GaAs衬底的固态杂质源脉冲1.06μm激光诱导扩散   总被引:8,自引:0,他引:8  
叶玉堂  李忠东 《光学学报》1997,17(4):19-422
利用1.06αm脉冲Nd:YAG激光,以含Zn的固态杂原在化合物半导体GaAs基片上进行诱导扩散,作出了P-N结。获得了亚微米的的散结结深及1cm^-3量级的表面掺杂浓度,并利用二次离子质谱仪对扩散样品进行成发的逐层扫描分析,研究了结深和掺杂浓度与辐照激光脉冲数,单脉冲数激光能量密度的关系。  相似文献   

8.
单量子势阱激光器的三元衬底生长日本富士实验室已研制出一种液体密封式切克劳斯基晶体生长法(Czochralski),用来生长高质量InGaAs晶体,继之用来生长单量子势讲InGaAsP激光M极管。若能保证生长期间熔料的质量,就可改进块状晶体组份的均匀性...  相似文献   

9.
李明  孙凤国 《光学学报》1996,16(4):03-407
研究了超短光脉冲在GaAs表面激发相干亚毫米波振幅随入射角变化的规律,前后向辐射比值随入射角度变化的规律,实验测量了GaAs表面镀上极薄金属薄膜后产生的相干亚毫米波振幅对薄膜厚度的依赖关系,利用光生载子偶极辐射的理论模型成功地解释了实验得到的角度依赖关系和相干亚毫米波的偏振特性。  相似文献   

10.
GaAlAs/GaAs量子阱结构的实验研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
李学千  曲轶 《光学学报》1997,17(2):46-149
利用分子束外延生长法生长出了GaAlAs/GaAs梯度折射率分别限制单量子阱结构材料,对样品进行了光荧光谱、双晶X射线衍射和电化学电容-电压分布测量。实验结果表明,样品质量达到了设计要求,利用该材料制作的激光二极管获得了初步结果。  相似文献   

11.
GaAs被动调QMd:激光器激光行性的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
李平  孙连科 《光学学报》2000,20(6):44-749
报道了用半导体材料GaAs实现氙灯抽运Md:YAG激光器的被动调Q运转,测量了激光器的阀值、脉冲宽度和输出能量。从GaAs的能级结构出发,理论上研究了GaAs材料的饱和吸收原理,建立了调Q激光器速率方程并给出了数值解,对理论结果与实验结果进行了比较和讨论。  相似文献   

12.
汪兆平  邢益荣 《物理》1995,24(8):496-502
本文介绍利用分子束外延方法在GaAs的某些特殊表面上原位直接生长GaAs/AlAs量子线结构的几种方法,包括采用(311)等高指数面、(001)邻晶面以及(110)解理面二镒生长。着重讨论量子线结构的形成机理及其光学特性。这些方面能避开目前纳米尺度刻蚀生长的困难,可能成为制备低维结构的有希望的途径。  相似文献   

13.
在理论分析设计的基础上,进行了GaAs/GaAlAs定向耦合器型行波调制器实验。建立了器件行波电极微波特性的测试系统,由此系统进行实验确定器件最佳结构参数,完成器件的制作。器件采用共平面行波电极,击穿电压28V。用1.06μmYAG激光器进行测试,开关电压8.5V。由微波网络分析仪测试器件行波电极的微波特性,测得电极中微波与波导中光波间的速率失配小于3%,且在30GHz下,微波传输损耗小于30dB,表明器件的3dB调制带宽超过32GHz  相似文献   

14.
在理论分析设计的基础上,进行了GaAs/GaAlAs定向耦合器型波调制器试验,建立了器件行波电极微波特性的测试系统,由此系统进行实验确定器件最佳结构参数,完成器件的制作,器件采用共平面波电极,击穿电压28V。用1.06μmYAG激光器进行测试,开关电压8.5V。由微波网络分析仪测试器件行波电极的微波特性,测得电极中微波与波导中光波间的速率失配小于3%,且在30GHz下,微波传输损耗小于30dB表明  相似文献   

15.
用卢瑟福背散射/沟道技术研究了1MeVSi ̄+在衬底加温和室温下以不同剂量注入Al_(0.3)G_(0.7)As/GaAs超晶格和GaAs后的晶格损伤。在衬底加温下,观察到Al_(0.3)Ga_(0.7)As/GaAs超晶格和GaAs都存在一个动态退火速率与缺陷产生速率相平衡的剂量范围,以及两种速率失去平衡的临界剂量。超晶格比GaAs更难以损伤,并且它的两种速率失去平衡的临界剂量也大于GaAs中的相应临界剂量,用热尖峰与碰撞模型解释了晶格损伤积累与注入剂量和衬底温度的关系。用CNDO/2量子化学方法计算了GaAs和Al_xGa_(1-x)As中化学键的相对强度,并根据计算结果解释了注入过程中Al_(0.3)Ga_(0.7)As/GaAs超晶格和GaAs中晶格损伤程度的差别。  相似文献   

16.
本文首次报导了生长温度为550℃,以三甲基镓(TMGa)和三甲基铟(TMIn)为Ⅲ族源,用低压金属有机物气相沉积(LFMOCVD〕技术,高质量1.62um和1.3umInGaAsP及In0.57Ga0.43As0.98P0.04/In0.73Ga0.27As0.6P0.4量子阶结构的生长,并给出了1.55umGaAsP/InP分别限制应变量子阱结构激光器的生长条件,激光器于室温下脉冲激射,其阈值电流密度为2.4kA/cm2。  相似文献   

17.
薄报学  任大翠 《光学学报》1995,15(3):68-271
通过对描述半导体激光器基本光波导方程的数值求解,分析了AlGaAs/GaAs分别限制量子阱激光器的光学限制特性,比较了不同缓变结构及多量子阱结构的光学限制因子。  相似文献   

18.
用卢瑟福背散射/沟道技术研究了1MeVSi+在衬底加温和室温下以不同剂量注入Al0.30.7As/GaAs超晶格和GaAs后的晶格损伤。在衬底加温下,观察到Al0.3Ga0.7As/GaAs超晶格和GaAs都存在一个动态退火速率与缺陷产生速率相平衡的剂量范围,以及两种速率失去平衡的临界剂量。超晶格比GaAs更难以损伤,并且它的两种速率失去平衡的临界剂量也大于GaAs中的相应临界剂量,用热尖峰与碰撞模型解释了晶格损伤积累与注入剂量和衬底温度的关系。用CNDO/2量子化学方法计算了GaAs和AlxGa1-xAs中化学键的相对强度,并根据计算结果解释了注入过程中Al0.3Ga0.7As/GaAs超晶格和GaAs中晶格损伤程度的差别。 关键词:  相似文献   

19.
报导了InGaAs/GaAs和InGaAs/AlGaAs垂直耦合量子结在注入式激光器的制备工艺及其光致荧光谱,量热吸收谱和电致荧光谱的特性,该激光器的连续波波发光功率在室温下可达1W。  相似文献   

20.
本文中,发现在In_xGa_(1-x)As缓冲层上非故意掺杂的InyGa_(1-y)As/(Al)GaAs超晶格样品中存在着两个互相反向的自建电场区,一个位于样品表面,另一个位于In_xGa_(1-x)As缓冲层和超晶格界面.据此,合理地解释了样品的光伏测试结果,并对此类样品的MOCVD生长工艺给予指导.  相似文献   

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